一種具有清潔裝置的碳化硅拋光機制造方法及圖紙
【技術實現步驟摘要】
本技術涉及一種碳化硅拋光機，具體涉及一種具有清潔裝置的碳化硅拋光機。
技術介紹
在加工碳化硅的工序中需要對碳化硅的表面進行拋光處理，目前的拋光技術為單一面的加工，當加工一面完畢之后再對另一面進行拋光處理，加工工序繁瑣，工作效率低下，不利于生產，而且加工一般不具備化學拋光機，這樣使得拋光不徹底，而且進行打磨和拋光后產生的粉塵和廢液附著于拋光平臺形成污垢，對此我們提出一種具有清潔裝置和收集廢液裝置的碳化硅拋光機。
技術實現思路
針對上述問題，本技術提出一種具有清潔裝置的碳化硅拋光機，在對碳化硅打磨和拋光后使用噴頭進行清洗，將拋光平臺和底座上的粉塵和廢液沖到廢液收集槽內，并通過導管排出，本技術能夠保證拋光平臺的清潔，避免因粉塵或廢液導致拋光質量不佳，提高拋光的精度。為解決上述問題，本技術的技術方案為：一種具有清潔裝置的碳化硅拋光機，包括底座，所述底座的上側面設有固定板以及由電機帶動進行旋轉的第一拋光平臺和第二拋光平臺，所述第一拋光平臺的一側設有垂直安裝于底座的打磨裝置，所述打磨裝置包括位于第一拋光平臺正上方的打磨棒；所述的固定板上設置有儲液倉、儲水箱和拋光 裝置，所述的拋光裝置包括位于第二拋光平臺正上方的拋光片，所述的儲液倉、儲水箱底端分別連通拋光液輸送管一端、導水管一端，拋光液輸送管另一端連接有位于第二拋光平臺正上方的第一噴頭，導水管另一端連接有位于第一拋光平臺正上方的第二噴頭和位于第二拋光平臺正上方的第三噴頭；所述的底座周圍設有廢液收集槽。工作時，把需要加工的碳化硅放在第一拋光平臺上進行初步加工，啟動電機和打磨裝置，轉動第一拋光平臺利用打磨棒進行打磨，對碳化硅...
【技術保護點】
一種具有清潔裝置的碳化硅拋光機，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上側面設有固定板(12)以及由電機(11)帶動進行旋轉的第一拋光平臺(2)和第二拋光平臺(3)，所述第一拋光平臺(2)的一側設有垂直安裝于底座(1)的打磨裝置(5)，所述打磨裝置(5)包括位于第一拋光平臺(2)正上方的打磨棒(10)；所述的固定板(12)上設置有儲液倉(15)、儲水箱(13)和拋光裝置(6)，所述的拋光裝置(6)包括位于第二拋光平臺(3)正上方的拋光片(9)，所述的儲液倉(15)、儲水箱(13)底端分別連通拋光液輸送管(14)一端、導水管(7)一端，拋光液輸送管(14)另一端連接有位于第二拋光平臺(3)正上方的第一噴頭(4)，導水管(7)另一端連接有位于第一拋光平臺(2)正上方的第二噴頭(19)和位于第二拋光平臺(3)正上方的第三噴頭(8)；所述的底座(1)周圍設有廢液收集槽(17)。
【技術特征摘要】
1.一種具有清潔裝置的碳化硅拋光機，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上側面設有固定板(12)以及由電機(11)帶動進行旋轉的第一拋光平臺(2)和第二拋光平臺(3)，所述第一拋光平臺(2)的一側設有垂直安裝于底座(1)的打磨裝置(5)，所述打磨裝置(5)包括位于第一拋光平臺(2)正上方的打磨棒(10)；所述的固定板(12)上設置有儲液倉(15)、儲水箱(13)和拋光裝置(6)，所述的拋光裝置(6)包括位于第二拋光平臺(3)正上方的拋光片(9)，所述的儲液倉(15)、儲水箱(13)底端分別連通拋光液輸送管(14)一端、導水管(7)一端，拋光液輸送管(14)另一端連接有位于第二拋光平臺(3)正上方的第一噴頭(4)，導水管(7)另一端連接有位...
【專利技術屬性】
技術研發人員：宗艷民，
申請(專利權)人：山東天岳晶體材料有限公司，
類型：新型
國別省市：山東;37
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