一種干刻設備的噴灑結構及其噴嘴連接塊制造技術

本實用新型專利技術提供一種干刻設備的噴灑結構及其噴嘴連接塊。所述干刻設備的噴灑結構包括噴嘴連接塊、固定螺栓及噴嘴，所述噴嘴連接塊設有噴嘴連接孔及位于噴嘴連接孔兩側(cè)的兩個螺栓固定孔，所述固定螺栓擰入所述螺栓固定孔內(nèi)，將所述噴嘴連接塊固定于干刻設備的腔室內(nèi)部，所述噴嘴插設于所述噴嘴連接孔內(nèi)。本實用新型專利技術通過改變噴嘴連接塊的設計，將噴嘴連接塊由原來的單邊固定方式改為雙邊固定方式，可以有效避免由于保養(yǎng)時安裝不當，造成噴嘴連接塊單邊翹起，引起特氣外泄而導致的工藝不良問題。

【技術實現(xiàn)步驟摘要】

本技術涉及顯示面板的加工設備領域，尤其涉及一種干刻設備的噴灑結構及其噴嘴連接塊。
技術介紹
在干刻(干法蝕刻)設備的腔室內(nèi)部，特氣噴嘴(Gas Nozzle)通常通過一噴嘴連接塊(Gas Nozzle Block)安裝于腔室內(nèi)壁，該噴嘴連接塊的兩端分別設有一噴嘴連接孔和螺栓固定孔，通過擰入螺栓固定孔內(nèi)的固定螺栓將噴嘴連接塊固定至腔室內(nèi)壁，然后將噴嘴插入噴嘴連接孔內(nèi)即可連通腔室內(nèi)部與供氣通道，向腔室內(nèi)部供氣。在安裝上述噴嘴連接塊時，因為是通過單邊固定的方式來固定噴嘴連接塊，因此，在安裝時容易造成因噴嘴連接塊的噴嘴端翹起而引起的特氣外泄，給工藝造成嚴重影響。
技術實現(xiàn)思路
有鑒于此，本技術提供了一種可避免安裝時噴嘴連接塊單邊翹起的干刻設備的噴灑結構及其噴嘴連接塊。本技術提供的噴嘴連接塊包括設于其上的噴嘴連接孔以及位于噴嘴連接孔兩側(cè)的兩個螺栓固定孔。根據(jù)本技術的一個實施例，所述噴嘴連接孔位于所述噴嘴連接塊的中部，所述兩個螺栓固定孔分別位于所述噴嘴連接塊的兩端。根據(jù)本技術的一個實施例，所述螺栓固定孔為一臺階孔，其小孔徑部分用于連接固定螺栓的桿部，其大孔徑部分用于收容固定螺栓的頭部。根據(jù)本技術的一個實施例，所述噴嘴連接孔為一臺階孔，其小孔徑部分用于插設噴嘴的連接管，其大孔徑部分用于收容噴嘴的頭部頂端。根據(jù)本技術的一個實施例，所述噴嘴連接塊為腰形陶瓷塊。本技術提供的干刻設備的噴灑結構，包括噴嘴連接塊、固定螺栓及噴嘴，所述噴嘴連接塊設于干刻設備的腔室內(nèi)部，所述噴嘴連接塊上設有噴嘴連接孔以及位于噴嘴連接孔兩側(cè)的兩個螺栓固定孔，所述固定螺栓擰入所述螺栓固定孔內(nèi)，所述噴嘴插設于所述噴嘴連接孔內(nèi)。根據(jù)本技術的一個實施例，所述干刻設備的腔室內(nèi)壁設有凹槽，所述噴嘴連接塊通過所述固定螺栓固定至所述凹槽內(nèi)，且其表面與干刻設備的腔室內(nèi)表面平齊。根據(jù)本技術的一個實施例，所述螺栓固定孔為一臺階孔，其小孔徑部分用于連接固定螺栓的桿部，其大孔徑部分用于收容固定螺栓的頭部。根據(jù)本技術的一個實施例，所述固定螺栓為內(nèi)六角螺栓，其頂面與噴嘴連接塊的對應表面平齊。根據(jù)本技術的一個實施例，所述噴嘴連接孔與所述噴嘴緊配合，所述噴嘴連接孔為一臺階孔，其小孔徑部分用于插設噴嘴的連接管，其大孔徑部分用于收容噴嘴的頭部頂端。本技術通過改變噴嘴連接塊的設計，將噴嘴連接塊由原來的單邊固定方式改為雙邊固定方式，可以有效避免由于保養(yǎng)時安裝不當，造成噴嘴連接塊單邊翹起，引起特氣外泄而導致的工藝不良問題。上述說明僅是本技術技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本技術的技術手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為了讓本技術的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細說明如下。附圖說明圖1所示為本技術干刻設備的噴灑結構的立體分解示意圖。圖2所示為本技術干刻設備的噴灑結構的立體組裝示意圖。圖3所示為本技術噴嘴連接塊的正面立體示意圖。圖4所示為本技術噴嘴連接塊的背面立體示意圖。其中，10-噴嘴連接塊，11-噴嘴連接孔，12-螺栓固定孔，20-固定螺栓，30-凹槽。具體實施方式為更進一步闡述本技術為達成預定技術目的所采取的技術手段及功效，以下結合附圖及較佳實施例，對本技術詳細說明如下。圖1及圖2所示為本技術干刻設備的噴灑結構的立體示意圖。如圖1及圖2所示，本技術干刻設備的噴灑結構包括噴嘴連接塊10、固定螺栓20及噴嘴(圖未示)。其中，噴嘴連接塊10設于干刻設備的腔室內(nèi)部，具體地，干刻設備的腔室內(nèi)壁設有凹槽30，噴嘴連接塊10通過固定螺栓20固定至凹槽30內(nèi)。如圖3及圖4所示，在本實施例中，噴嘴連接塊10為腰形陶瓷塊。噴嘴連接塊10上設有位于其中部的噴嘴連接孔11以及位于噴嘴連接孔11兩側(cè)的兩個螺栓固定孔12，在本實施例中，螺栓固定孔12位于噴嘴連接塊10的兩端。在本實施例中，螺栓固定孔12為一橫截面為圓形的臺階孔，其小孔徑部分靠近噴嘴連接塊10的背面，用于連接固定螺栓20的桿部，其大孔徑部分靠近噴嘴連接塊10的正面，用于收容固定螺栓20的頭部。噴嘴連接孔11也為橫截面為圓形的臺階孔，其小孔徑部分靠近噴嘴連接塊10的背面，用于插設噴嘴的連接管，其大孔徑部分靠近噴嘴連接塊10的正面，用于收容噴嘴的頭部頂端。固定螺栓20擰入螺栓固定孔12內(nèi)，將噴嘴連接塊10固定至干刻設備腔室內(nèi)壁的凹槽30內(nèi)，當噴嘴連接塊10固定好之后，其表面與干刻設備的腔室內(nèi)表面平齊。在本實施例中，固定螺栓20為內(nèi)六角螺栓，當其擰入螺栓固定孔12內(nèi)之后，其頂面與噴嘴連接塊10的對應表面平齊。噴嘴插設于噴嘴連接孔11內(nèi)，與噴嘴連接孔11緊配合。在本實施例中，噴嘴為蘑菇狀噴嘴，當噴嘴插入噴嘴連接孔11后，噴嘴的連接管插于噴嘴連接孔11的小孔徑部分，噴嘴的頭部頂端插于噴嘴連接孔11的大孔徑部分。綜上，本技術通過改變噴嘴連接塊的設計，將噴嘴連接塊由原來的單邊固定方式改為雙邊固定方式，可以有效避免由于保養(yǎng)時安裝不當，造成噴嘴連接塊單邊翹起，引起特氣外泄而導致的工藝不良問題。以上所述，僅是本技術的較佳實施例而已，并非對本技術作任何形式上的限制，雖然本技術已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本技術，任何熟悉本專業(yè)的技術人員，在不脫離本技術技術方案范圍內(nèi)，當可利用上述揭示的
技術實現(xiàn)思路
作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本技術技術方案內(nèi)容，依據(jù)本技術的技術實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本技術技術方案的范圍內(nèi)。本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術保護點】
一種噴嘴連接塊，其特征在于，所述噴嘴連接塊包括設于其上的噴嘴連接孔以及位于噴嘴連接孔兩側(cè)的兩個螺栓固定孔。

【技術特征摘要】
1.一種噴嘴連接塊，其特征在于，所述噴嘴連接塊包括設于其上的噴嘴連接孔以及位于噴嘴連接孔兩側(cè)的兩個螺栓固定孔。2.根據(jù)權利要求1所述的噴嘴連接塊，其特征在于：所述噴嘴連接孔位于所述噴嘴連接塊的中部，所述兩個螺栓固定孔分別位于所述噴嘴連接塊的兩端。3.根據(jù)權利要求1所述的噴嘴連接塊，其特征在于：所述螺栓固定孔為一臺階孔，其小孔徑部分用于連接固定螺栓的桿部，其大孔徑部分用于收容固定螺栓的頭部。4.根據(jù)權利要求1所述的噴嘴連接塊，其特征在于：所述噴嘴連接孔為一臺階孔，其小孔徑部分用于插設噴嘴的連接管，其大孔徑部分用于收容噴嘴的頭部頂端。5.根據(jù)權利要求1所述的噴嘴連接塊，其特征在于：所述噴嘴連接塊為腰形陶瓷塊。6.一種干刻設備的噴灑結構，包括噴嘴連接塊、固定螺栓及噴嘴，所述噴嘴連接塊設于干刻設備的腔室內(nèi)部，其特征在于：所述噴嘴連接塊上設有...

【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：宋德偉，蔣文超，
申請(專利權)人：昆山國顯光電有限公司，
類型：新型
國別省市：江蘇;32