一種三氟化氮等離子清洗裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術公開了一種三氟化氮等離子清洗裝置，包括殼體、電解倉和熱觸點，所述殼體左側設有開口并與清洗倉外殼左端固定連接，所述清洗倉左側設有開口并與倉蓋通過螺紋連接，所述清洗倉腔體內側壁粘貼條形電極板，并且清洗倉底部內壁和倉蓋內壁粘貼圓形電極板，所述清洗倉外殼外部套裝螺旋線圈，所述粒子加速器通過特制弧形管道與清洗倉右端連接，所述清洗倉右端通過導管與真空泵連接，所述真空泵固定安裝在殼體內部并通過排氣管與尾氣處理裝置連接，所述熱觸點與清洗倉內部支架固定連接，所述熱觸點和標定塊均通過導線與電壓表連接，該裝置采用三氟化氮作為離子供給源，采用等離子腐蝕的方式清洗，有效避免電路板和元器件損傷。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及等離子清洗
，具體為一種三氟化氮等離子清洗裝置。
技術介紹
隨著電子業的迅猛發展，大量的電路板及其他元器件被使用，隨著設備的更新換代，大批量的電子廢品被回收利用，廢舊電路板和元器件的清洗問題就隨之而來，傳統的采用水洗難以清洗電路板和元器件表面的氧化層，而采用酸洗則會因為腐蝕程度難以控制而造成電路板和元器件的損壞，嚴重影響其二次使用，造成資源浪費。
技術實現思路
本專利技術的目的在于提供一種三氟化氮等離子清洗裝置，以解決上述
技術介紹
中提出的問題。為實現上述目的，本專利技術提供如下技術方案：一種三氟化氮等離子清洗裝置，包括殼體、電解倉和熱觸點，所述殼體左側設有開口并與清洗倉外殼左端固定連接，所述清洗倉左側設有開口并與倉蓋通過螺紋連接，所述清洗倉腔體內側壁粘貼條形電極板，并且清洗倉底部內壁和倉蓋內壁粘貼圓形電極板，所述清洗倉外殼外部套裝螺旋線圈，所述電解倉右端通過進氣管與外置氣源連接，并且電解倉左側加裝粒子加速器，所述電解倉內腔上下兩側對應安裝放電電極，所述放電電極與放電電源通過導線連接，所述粒子加速器通過特制弧形管道與清洗倉右端連接，所述清洗倉右端通過導管與真空泵連接，所述真空泵固定安裝在殼體內部并通過排氣管與尾氣處理裝置連接，所述熱觸點與清洗倉內部支架固定連接，所述熱觸點和標定塊均通過導線與電壓表連接，所述標定塊安裝在清洗倉外部并與殼體內部支架固定連接。優選的，所述清洗倉為圓柱形，且清洗倉與倉蓋之間加裝密封圈。優選的，所述條形電極板至少為七對且對應的兩塊條形電極板通過導線連接第一穩壓電源，所述圓形電極板為兩塊且通過導線與第二穩壓電源連接，第一穩壓電源和第二穩壓電源數量分別與條形電極板和圓形電極板數量的二分之一相同，且第一穩壓電源和第二穩壓電源均可單獨調壓。優選的，所述螺旋線圈為高頻抗磁線圈。優選的，所述標定塊外部包裹絕緣材料。與現有技術相比，本專利技術的有益效果是：該新型設備改變傳統設備采用的水洗和酸洗的方式，采用由電解三氟化氮氣體獲得的電子進行等離子腐蝕，通過嚴格控制腐蝕程度，達到清洗工件的目的，能夠有效的清理工件表面的污漬和氧化層，同時采用等離子腐蝕，其腐蝕處腐蝕產物較少且不粘附，易于清理。較現有的等離子刻蝕裝置，本專利技術結構加裝粒子加速器提高粒子進入清洗倉的初速度，提高氣息效率，而且清洗倉做成圓筒的形狀，內部安裝至少七對電極板，且每對電極板通過單獨的可調式穩壓電源供電，能夠準確引導離子轟擊位置，提高清洗位置的準確性，同時設備內部加裝熱觸點和標定塊，通過測量工件表面與標點塊的電勢差推算工件表面的離子數目，從而確定其清洗程度，嚴格控制清洗效果，避免工件損傷。附圖說明圖1為本專利技術結構示意圖；圖2為本專利技術結構清洗倉截面圖。圖中：1殼體、2螺旋線圈、3清洗倉、4條形電極板、5第一穩壓電源、6特制弧形管道、7粒子加速器、8放電電極、9電解倉、10進氣管、11放電電源、12標定塊、13電壓表、14真空泵、15排氣管、16圓形電極板、17倉蓋、18密封圈、19熱觸點、20第二穩壓電源。具體實施方式下面將結合本專利技術實施例中的附圖，對本專利技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本專利技術一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本專利技術中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其它實施例，都屬于本專利技術保護的范圍。請參閱圖1-2，本專利技術提供一種技術方案：一種三氟化氮等離子清洗裝置，包括殼體1、電解倉9和熱觸點19，殼體1左側設有開口并與清洗倉3外殼左端固定連接，清洗倉3左側設有開口并與倉蓋17通過螺紋連接，清洗倉3腔體內側壁粘貼條形電極板4，并且清洗倉3底部內壁和倉蓋17內壁粘貼圓形電極板16，清洗倉3外殼外部套裝螺旋線圈2，為高速移動的離子提供改變放行的力，電解倉9右端通過進氣管10與外置氣源連接，并且電解倉9左側加裝粒子加速器7，提高進入清洗倉3的離子的初速度，電解倉8內腔上下兩側對應安裝放電電極8，放電電極8與放電電源11通過導線連接，粒子加速器7通過特制弧形管道6與清洗倉3右端連接，清洗倉3右端通過導管與真空泵14連接，保證清洗倉3內為真空環境，真空泵14固定安裝在殼體1內部并通過排氣管15與尾氣處理裝置連接，熱觸點19與清洗倉3內部支架固定連接，熱觸點19和標定塊12均通過導線與電壓表13連接，標定塊12安裝在清洗倉3外部并與殼體1內部支架固定連接，檢測工件與標定塊12的電勢差，從而推算清洗效果，清洗倉3為圓柱形，且清洗倉3與倉蓋17之間加裝密封圈18，防止漏氣，條形電極板4至少為七對且對應的兩塊條形電極板4通過導線連接第一穩壓電源5，使清洗倉3內部離子能夠有多個運動方向，能夠準確的轟擊加工位置，圓形電極板16為兩塊且通過導線與第二穩壓電源20連接，第一穩壓電源5和第二穩壓電源20數量與條形電極板4和圓形電極板16數量的二分之一相同，且第一穩壓電源5和第二穩壓電源20均可單獨調壓，螺旋線圈2為高頻抗磁線圈，標定塊12外部包裹絕緣材料，防止因標定塊12表面吸附電子造成檢測結構失真。盡管已經示出和描述了本專利技術的實施例，對于本領域的普通技術人員而言，可以理解在不脫離本專利技術的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本專利技術的范圍由所附權利要求及其等同物限定。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種三氟化氮等離子清洗裝置，包括殼體（1）、電解倉（9）和熱觸點（19），所述殼體（1）左側設有開口并與清洗倉（3）外殼左端固定連接，所述清洗倉（3）左側設有開口并與倉蓋（17）通過螺紋連接，其特征在于：所述清洗倉（3）腔體內側壁粘貼條形電極板（4），并且清洗倉（3）底部內壁和倉蓋（17）內壁粘貼圓形電極板（16），所述清洗倉（3）外殼外部套裝螺旋線圈（2），所述電解倉（9）右端通過進氣管（10）與外置氣源連接，并且電解倉（9）左側加裝粒子加速器（7），所述電解倉（8）內腔上下兩側對應安裝放電電極（8），所述放電電極（8）與放電電源（11）通過導線連接，所述粒子加速器（7）通過特制弧形管道（6）與清洗倉（3）右端連接，所述清洗倉（3）右端通過導管與真空泵（14）連接，所述真空泵（14）固定安裝在殼體（1）內部并通過排氣管（15）與尾氣處理裝置連接，所述熱觸點（19）與清洗倉（3）內部支架固定連接，所述熱觸點（19）和標定塊（12）均通過導線與電壓表（13）連接，所述標定塊（12）安裝在清洗倉（3）外部并與殼體（1）內部支架固定連接。

【技術特征摘要】
1.一種三氟化氮等離子清洗裝置，包括殼體（1）、電解倉（9）和熱觸點（19），所述殼體（1）左側設有開口并與清洗倉（3）外殼左端固定連接，所述清洗倉（3）左側設有開口并與倉蓋（17）通過螺紋連接，其特征在于：所述清洗倉（3）腔體內側壁粘貼條形電極板（4），并且清洗倉（3）底部內壁和倉蓋（17）內壁粘貼圓形電極板（16），所述清洗倉（3）外殼外部套裝螺旋線圈（2），所述電解倉（9）右端通過進氣管（10）與外置氣源連接，并且電解倉（9）左側加裝粒子加速器（7），所述電解倉（8）內腔上下兩側對應安裝放電電極（8），所述放電電極（8）與放電電源（11）通過導線連接，所述粒子加速器（7）通過特制弧形管道（6）與清洗倉（3）右端連接，所述清洗倉（3）右端通過導管與真空泵（14）連接，所述真空泵（14）固定安裝在殼體（1）內部并通過排氣管（15）與尾氣處理裝置連接，所述熱觸點（19）與清洗倉（3）內部支架固定連接，所述熱觸點（19）和標定...

【專利技術屬性】
技術研發人員：周愛芬，
申請(專利權)人：洛陽高昌機電科技有限公司，
類型：發明
國別省市：河南;41