線圈單元及其制造方法以及電力電感器及其制造方法技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)涉及一種線圈單元及其制造方法以及電力電感器及其制造方法。該線圈單元包括絕緣基板和線圈圖案，其中，線圈圖案具有：第一鍍覆部，形成在絕緣基板的上表面和下表面中的至少一個表面上，其中，第一鍍覆部的上側(cè)呈錐形形狀；第二鍍覆部，形成為圍住第一鍍覆部，且與第一鍍覆部的形狀相對應(yīng)。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
通過引用要求并包含的國內(nèi)優(yōu)先權(quán)申請和國外優(yōu)先權(quán)申請如下：本申請要求于2014年9月5日提交的第10-2014-0118546號韓國專利申請的權(quán)益，其全部內(nèi)容通過引用包含于本申請中。
本專利技術(shù)涉及一種用于電力電感器的線圈單元，一種用于電力電感器的線圈單元的制造方法，一種電力電感器以及一種電力電感器的制造方法。
技術(shù)介紹
由于電感器器件是一種與電容器一起組成電子電路的主要無源器件之一，所以電感器器件主要用于如電子裝置中的DC-DC轉(zhuǎn)換器等的電源電路中或者被廣泛地用作消除噪聲的組件或形成LC諧振電路的組件。其中，具體地，根據(jù)如移動電話和平板電腦等中的通信、照相以及游戲的多驅(qū)動需要，電力電感器的使用已經(jīng)逐漸增加，用以減小電流損失并改善效率。電感器器件根據(jù)其結(jié)構(gòu)可分為如多層式、繞組式或者薄膜式等多種形式；并且由于近來的電子器件的小型化與纖薄化，薄膜式電感器器件被廣泛使用。更具體地，薄膜式電感器可使用具有高飽和磁化強(qiáng)度值的材料，并且在將其制造為小尺寸時的情況下，由于與多層式電感器或繞組式電感器相比，可容易地形成線圈圖案，所以薄膜式電感器被廣泛地使用。但是，在將薄膜式電感器制造為更小尺寸時的情況下，其在提高線寬和線圈圖案的尺寸方面仍受到限制。因此，為了提高線圈圖案的體積，已經(jīng)通過以下方式不斷地努力：在材料方面通過使用具有更高飽和磁化強(qiáng)度值的鐵氧體，在工藝方面通過使用能夠增大線圈圖案的寬度與厚度之間的比率(即，寬厚比)的工藝，或者使用能夠形成高的寬厚比的結(jié)構(gòu)工藝。
技術(shù)實現(xiàn)思路
為了解決以上描述的問題提出了本專利技術(shù)，因此，本專利技術(shù)的目的在于提供一種用于電力電感器的線圈單元、一種用于電力電感器的線圈單元的制造方法、一種電力電感器以及一種電力電感器的制造方法，其能夠在同樣的尺寸的條件下實現(xiàn)小型化并實現(xiàn)高的電感。并且，本專利技術(shù)的另一目的在于提供一種用于電力電感器的線圈單元、一種用于電力電感器的線圈單元的制造方法、一種電力電感器以及一種電力電感器的制造方法，其能夠通過容易地涂覆絕緣材料而確保可靠性。根據(jù)本專利技術(shù)的一方面，為了實現(xiàn)所述目標(biāo)，提供一種用于電力電感器的線圈單元以及一種使用所述用于電力電感器的線圈單元的電力電感器，所述用于電力電感器的線圈單元在第一鍍覆部的上側(cè)呈錐形形狀的情況下，形成圍住第一鍍覆部的第二鍍覆部，以便使其與第一鍍覆部的形狀相對應(yīng)。此外，可通過提供一種用于電力電感器的線圈單元的制造方法以及一種使用用于電力電感器的線圈單元的制造方法的電力電感器的制造方法來實現(xiàn)本專利技術(shù)的所述目的，所述制造方法采用在蝕刻第一鍍覆部的上邊緣之后，形成圍住第一鍍覆部的第二鍍覆部，以便使其與第一鍍覆部相對應(yīng)的工藝。附圖說明通過以下參照附圖對實施例的描述，本專利技術(shù)構(gòu)思的這些和/或其他方面及優(yōu)點將變得清晰且易于領(lǐng)會，附圖中：圖1是示出了根據(jù)本專利技術(shù)的實施例的用于電力電感器的線圈單元的截面圖；圖2是示出了根據(jù)本專利技術(shù)的實施例的用于電力電感器的線圈單元的制造方法的流程圖；圖3是示出了形成種子層的工藝的截面圖；圖4是示出了形成阻鍍層的工藝的截面圖；圖5是示出了形成第一鍍覆部的工藝的截面圖；圖6是示出了蝕刻第一鍍覆部的工藝的截面圖；圖7是示出了去除阻鍍層的工藝的截面圖；圖8是示出了去除種子層的工藝的截面圖；圖9是示出了形成第二鍍覆部的工藝的截面圖；圖10是示出了形成絕緣層的工藝的截面圖；以及圖11是示出了根據(jù)本專利技術(shù)的實施例的電力電感器的截面圖。具體實施方式在下文中，將詳細(xì)描述本專利技術(shù)的優(yōu)選實施例。以下實施例僅僅舉例說明了本專利技術(shù)，不應(yīng)被解釋為本專利技術(shù)的范圍局限于以下實施例。在闡釋本專利技術(shù)時，附圖示出了總體結(jié)構(gòu)形式，并且可能省去對公知特征和技術(shù)的細(xì)節(jié)及描述，以免不必要地使對本專利技術(shù)的描述的實施例的討論變得模糊。此外，附圖中的元件并不一定按比例繪制。例如，可將附圖中的一些元件的尺寸相對于其他元件夸大，以幫助提高對本專利技術(shù)的實施例的理解。在不同的附圖中，相同標(biāo)號指示相同的元件。在闡釋本專利技術(shù)時，除了元件被描述成被“直接連接”或“直接結(jié)合”到其他元件之外，當(dāng)所述元件被描述成被“連接”或“結(jié)合”到另一元件時，其可被“直接”連接或結(jié)合到其他元件，或者連接或結(jié)合到其他元件，且二者之間接有另一元件。提供在這里使用的術(shù)語用于解釋實施例，而不是限制本專利技術(shù)。在整個說明書中，除非上下文另外指出，否則單數(shù)形式包括復(fù)數(shù)形式的含義。除了所述組件、步驟、操作和/或裝置之外，這里使用的術(shù)語“包括”和/或“包括有”并不排除存在和添加另外的組件、步驟、操作和/或裝置。在下文中，將參照附圖詳細(xì)地描述本專利技術(shù)的實施例，以便本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠容易地實施本專利技術(shù)。<用于電力電感器的線圈單元>圖1是示出了根據(jù)本專利技術(shù)的實施例的用于電力電感器的線圈單元的截面圖。如圖1所示，根據(jù)本專利技術(shù)的實施例的用于電力電感器的線圈單元100包括用于薄膜電感器的絕緣基板110和線圈圖案120，線圈圖案120形成在絕緣基板110的上表面和下表面中的至少一個上。絕緣基板110可形成為具有預(yù)定厚度的板狀，以支撐形成的線圈圖案120。此外，絕緣基板110可由絕緣材料形成。例如，絕緣基板110可由環(huán)氧絕緣樹脂或者從丙烯酸聚合物、苯酚基聚合物、聚酰亞胺聚合物等中選擇的至少一種材料形成。但是本專利技術(shù)并不局限于此，并且將這些材料中至少兩種材料混合的多種應(yīng)用是可行的。線圈圖案120包括第一鍍覆部121和第二鍍覆部122。第一鍍覆部121可按照在絕緣基板110上纏繞至少一圈的線圈形狀形成。此外，第一鍍覆部121可由導(dǎo)電材料形成，盡管其可由從由Ni、Al、Fe、Cu、Ti、Cr、Au、Ag、Pd等組成的組中選擇的任何一種形成，但是其并不局限于此，并且可通過混合來自以上金屬中的至少兩種金屬來形成第一鍍覆部121。此外，第一鍍覆部121還可包括形成在其下部的種子層111。此時，種子層111可由與第一鍍覆部121相同的材料形成，其可通過化學(xué)鍍或者噴鍍按照薄膜形狀形成在絕緣基板110上。因此，如果通過使用形成在絕緣基板110上的種子層111作為種子來執(zhí)行電鍍，則可通過從種子層111鍍覆并生長金屬導(dǎo)電材料來形成第一鍍覆部121。另一方面，第一鍍覆部121的上側(cè)可按照錐形形狀形成。這里，在通過電鍍等使第一鍍覆部121的截面按照矩形形狀形成后，可通過對其上邊緣進(jìn)行蝕刻來形成第一鍍覆部121。此時，蝕刻后的第一鍍覆部121的上邊緣部分可按照具有預(yù)定斜率的傾斜的形狀或者彎曲的形狀形成。也就是說，在第一鍍覆部121的底部直至上側(cè)處的預(yù)定高度，所述截面一致地形成，并且隨著從上側(cè)處的預(yù)定高度向頂部行進(jìn)，所述截面逐漸減小地形成。如果第一鍍覆部121的上側(cè)并不按照錐形形狀形成，則當(dāng)通過電鍍形成第二鍍覆部122時，電流會集中在第一鍍覆部121的上邊緣。因此，電流集中的上邊緣部分的生長速度快，并且通過在上邊緣部分集中地生長并形成第二鍍覆部122會在相鄰的第二鍍覆部122之間產(chǎn)生間隔小的問題。此外，由于相鄰的第二鍍覆部122之間的間隔窄小，所以將難以形成絕緣層130。因此，由于本專利技術(shù)通過使第一鍍覆部121的上側(cè)按照錐形形狀形成而防止第二鍍覆部122集中地形成在第一鍍覆部121的某部分(上邊緣)，所以第一鍍覆部可防止相鄰的第二鍍覆部122之間產(chǎn)生間隔小的問題，并可容易地形成絕緣本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點】
一種用于電力電感器的線圈單元，包括：絕緣基板；線圈圖案，其中，所述線圈圖案包括：第一鍍覆部，形成在絕緣基板的上表面和下表面中的至少一個表面上，其中，第一鍍覆部的上側(cè)呈錐形形狀；第二鍍覆部，形成為圍住第一鍍覆部，且與第一鍍覆部的形狀相對應(yīng)。

【技術(shù)特征摘要】
2014.09.05 KR 10-2014-01185461.一種用于電力電感器的線圈單元，包括：絕緣基板；線圈圖案，其中，所述線圈圖案包括：第一鍍覆部，形成在絕緣基板的上表面和下表面中的至少一個表面上，其中，第一鍍覆部的上側(cè)呈錐形形狀；第二鍍覆部，形成為圍住第一鍍覆部，且與第一鍍覆部的形狀相對應(yīng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于電力電感器的線圈單元，其中，第二鍍覆部的圍住第一鍍覆部的頂表面的厚度比第二鍍覆部的圍住第一鍍覆部的側(cè)表面的厚度厚。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于電力電感器的線圈單元，其中，第一鍍覆部還包括形成在第一鍍覆部的底部上的種子層。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于電力電感器的線圈單元，還包括絕緣層，所述絕緣層形成為覆蓋絕緣基板的上表面和下表面中的形成有第二鍍覆部的表面以及第二鍍覆部。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于電力電感器的線圈單元，還包括沿著第二鍍覆部的表面形成的絕緣層。6.一種電力電感器，包括：根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于電力電感器的線圈單元；磁性材料，連接到用于電力電感器的線圈單元的上表面和下表面中的至少一個表面。7.一種用于電力電感器的線圈單元的制造方法，包括：(a)在絕緣基板的上表面和下表面中的至少一個表面上形成第一鍍覆部；(b)蝕刻第一鍍覆部的上邊緣；(c)形成第二鍍覆部，以使第二鍍覆部與蝕刻后...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：許文碩，李昌鎬，宋榮雄，
申請(專利權(quán))人：三星電機(jī)株式會社，
類型：發(fā)明
國別省市：韓國;KR