一種新型多晶鑄錠刷涂涂層結構坩堝制造技術
【技術實現步驟摘要】
本技術涉及一種新型多晶鑄錠刷涂涂層結構坩堝。
技術介紹
針對坩堝氮化硅涂層制備，目前行業里面幾乎全部采用的是噴涂處理技術，使用高壓噴槍在坩堝內側與多晶硅錠的接觸區域噴涂一層氮化硅涂層，用于降低多晶硅中的氧碳等雜質含量，同時保護石英坩堝，防止粘堝，方便脫模。但噴涂氮化硅涂層方式存在以下缺陷：首先，噴涂作業環境惡劣，會產生大量有害粉塵；其次，噴涂設備備件及維護成本高；最后，噴涂生產的晶錠表面易附著氮化硅粉顆粒，產生的循環料噴砂打磨處理損耗大，成本高。
技術實現思路
本技術其目的就在于提供一種新型多晶鑄錠刷涂涂層結構坩堝，解決了傳統坩堝噴涂涂層噴涂作業環境惡劣，會產生大量有害粉塵，且噴涂設備及維護成本高，噴砂打磨處理損耗大的問題。實現上述目的而采取的技術方案，包括一體成型的坩堝堝底和坩堝側壁，所述坩堝側壁內側表面上端設有毛刷涂層，毛刷涂層上端邊緣低于坩堝側壁上端邊緣，所述坩堝堝底內側表面和坩堝側壁內側表面均設有滾刷涂層，所述坩堝側壁內側表面上的滾刷涂層覆蓋毛刷涂層表面。有益效果與現有技術相比本技術具有以下優點。1.刷涂過程采用毛刷或滾刷，擯棄了噴涂裝置和加熱裝置等，減少了設備備件維護成本，涂刷過程幾乎不產生粉塵，降低了粉塵污染；2.氮化硅致密性及附著力更好，晶錠四周表面光滑平整，大大降低了循環料噴砂打磨處理成本和損耗。附圖說明以下結合附圖對本技術作進一步詳述。圖1為本技術的結構示意圖。具體實施方式本裝置包括一體成型的坩堝堝底2和坩堝側壁1，如圖1所示，所述坩堝側壁1內側表面上端設有毛刷涂層3，毛刷涂層3上端邊緣低于坩堝側壁1上端邊緣，所述坩堝堝底2內側表面和坩堝側壁1...
【技術保護點】
一種新型多晶鑄錠刷涂涂層結構坩堝，包括一體成型的坩堝堝底（2）和坩堝側壁（1），其特征在于，所述坩堝側壁（1）內側表面上端設有毛刷涂層（3），毛刷涂層（3）上端邊緣低于坩堝側壁（1）上端邊緣，所述坩堝堝底（2）內側表面和坩堝側壁（1）內側表面均設有滾刷涂層（4），所述坩堝側壁（1）內側表面上的滾刷涂層（4）覆蓋毛刷涂層（3）表面。
【技術特征摘要】
1.一種新型多晶鑄錠刷涂涂層結構坩堝，包括一體成型的坩堝堝底（2）和坩堝側壁（1），其特征在于，所述坩堝側壁（1）內側表面上端設有毛刷涂層（3），毛刷涂層（3）上端邊緣低于坩堝側壁（1）上端邊緣，所述坩堝堝底（2）內側表面和坩堝側壁（...
【專利技術屬性】
技術研發人員：呂亞洲，黃輝，吳斌，張珩琨，許楨，馮子甜，
申請(專利權)人：江西旭陽雷迪高科技股份有限公司，
類型：新型
國別省市：江西;36
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。