一種四(二甲胺)鋯升華提純裝置制造方法及圖紙

本實(shí)用新型專(zhuān)利技術(shù)公開(kāi)了一種四(二甲胺)鋯升華提純裝置，包括瓶體，所述瓶體由外層到內(nèi)層分別設(shè)有導(dǎo)熱油腔體、真空腔體和冷指腔體；所述導(dǎo)熱油腔體外部一側(cè)下部設(shè)有用于送入導(dǎo)熱油的閥門(mén)一，所述導(dǎo)熱油腔體外部另一側(cè)上部設(shè)有用于送出導(dǎo)熱油的閥門(mén)二；所述真空腔體上部設(shè)有用于連接真空泵的真空閥門(mén)；所述冷指腔體通過(guò)連接磨口與冷卻器連接，所述冷卻器頂部設(shè)有用于送入冷卻液的閥門(mén)三，所述冷卻器上還設(shè)有用于送出冷卻液的閥門(mén)四。本實(shí)用新型專(zhuān)利技術(shù)提供的一種四(二甲胺)鋯升華提純裝置，不僅實(shí)現(xiàn)了四(二甲胺)鋯的有效提純(純度超過(guò)99.99％)，過(guò)程中加熱溫度小于100℃，而且保持穩(wěn)定，有效減低了四(二甲胺)鋯的熱分解可能性。提高了收率，降低了成本。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及四(二甲胺)鋯的分離、提純領(lǐng)域，特別涉及一種四(二甲胺)鋯升華提純裝置。
技術(shù)介紹
隨著IC集成度的進(jìn)一步提高，器件尺寸不斷減小，四(二甲胺)鋯化合物是一類(lèi)越來(lái)越受到關(guān)注的材料，鋯氧化物薄膜是很可能用于COMS和下一代DRAM中的候選高介電常數(shù)(高K)絕緣層材料。四(二甲胺)鋯的分離、提純有報(bào)道用蒸餾的方法進(jìn)行提純，雖然能達(dá)到一定的提純目的，但由于蒸餾過(guò)程中較高的加熱底溫(大于120℃)，造成四(二甲胺)鋯的大量分解，收率較低，增加了工藝成本，同時(shí)由于其為低熔點(diǎn)固體，會(huì)造成管路系統(tǒng)堵塞，不利于工藝參數(shù)的控制，甚至出現(xiàn)安全事故。又如CN204676015U公開(kāi)了一種二甲胺回收裝置，包括臥式反應(yīng)蒸發(fā)釜、一級(jí)精餾塔、二級(jí)精餾塔、一級(jí)冷凝器、二級(jí)冷凝器、尾氣冷凝器、氣液分離器、吸收液中間罐、清水中間罐、回流中間罐、回流泵、進(jìn)料泵、吸收液泵，所述含二甲胺廢水和液堿在臥式反應(yīng)蒸發(fā)釜進(jìn)行反應(yīng)，產(chǎn)生的二甲胺氣體在一級(jí)精餾塔和二級(jí)精餾塔兩重精餾，本技術(shù)通過(guò)兩級(jí)精餾對(duì)二甲胺逐步提純，二甲胺提純濃度高，二甲胺的最終提純濃度高達(dá)45％，提純后的釜?dú)堃鹤鳛槲找海M(jìn)一步提高二甲胺的回收率；利用臥式反應(yīng)蒸發(fā)釜為二級(jí)精餾塔提供能源，節(jié)約能源；將半成品回流進(jìn)一級(jí)精餾塔循環(huán)提純使得二甲胺的提純濃度高。又如CN104402734A公開(kāi)了一種煙嘧磺隆廢水中回收二甲胺的方法，將含二甲胺鹽酸鹽的煙嘧磺隆廢水與氫氧化鈉水溶液混合，充分反應(yīng)后，加熱蒸餾出二甲胺，經(jīng)多次水洗吸附，得回收的二甲胺水溶液。回收的二甲胺水溶液的濃度可達(dá)到30％～50％，可用于煙嘧磺隆生產(chǎn)。本專(zhuān)利技術(shù)的二甲胺回收方法簡(jiǎn)單，操作方便，解決了從含二甲胺鹽酸鹽的煙嘧磺隆廢水中回收二甲胺的技術(shù)難題，能產(chǎn)生明顯的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益，本方法適用于工業(yè)化生產(chǎn)。又如CN203794732U公開(kāi)了一種用于廢水回收二甲胺的回收裝置，包括廢水池、二甲胺溶液存儲(chǔ)罐，還包括鼓泡池、熱驅(qū)動(dòng)膜蒸發(fā)器、蒸發(fā)室、降膜蒸發(fā)器、汽水分離器、膜分離器、冷凝器、冷卻器和回用水水池。本技術(shù)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)有降膜蒸發(fā)器，膜分離器，可以實(shí)現(xiàn)低溫?zé)嵩醇訜幔梢栽趶U水沸點(diǎn)以下汽化廢水回收二甲胺，提高了通用性，而且其使用方便快捷，運(yùn)行能耗較低，節(jié)能減排效果明顯，可以同時(shí)回收二甲胺和純水，并且一定程度上有效的提高二甲胺的回收效率，同時(shí)也降低了回收成本，又實(shí)現(xiàn)了無(wú)毒清潔生產(chǎn)回收利用，適用性強(qiáng)，實(shí)用性好。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
為克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本技術(shù)提供一種四(二甲胺)鋯升華提純裝置，包括瓶體，所述瓶體由外層到內(nèi)層分別設(shè)有導(dǎo)熱油腔體、真空腔體和冷指腔體；所述導(dǎo)熱油腔體一側(cè)下部設(shè)有用于送入導(dǎo)熱油的閥門(mén)一，所述導(dǎo)熱油腔體另一側(cè)上部設(shè)有用于送出導(dǎo)熱油的閥門(mén)二；所述真空腔體上部設(shè)有用于連接真空泵的真空閥門(mén)；所述冷指腔體通過(guò)連接磨口與冷卻器連接，所述冷卻器頂部設(shè)有用于送入冷卻液的閥門(mén)三，所述冷卻器上還設(shè)有用于送出冷卻液的閥門(mén)四。優(yōu)選地，所述導(dǎo)熱油腔體外側(cè)壁上設(shè)有把手。優(yōu)選地，所述導(dǎo)熱油腔體外側(cè)底部設(shè)有支架。優(yōu)選地，所述導(dǎo)熱油腔體上設(shè)有溫度計(jì)。優(yōu)選地，所述真空腔體上設(shè)有真空表。本技術(shù)提供一種四(二甲胺)鋯升華提純裝置，通過(guò)采用該裝置，不僅實(shí)現(xiàn)了四(二甲胺)鋯的有效提純；降低了四(二甲胺)鋯的熱分解，提高了收率；同時(shí)純化過(guò)程穩(wěn)定，利于工藝參數(shù)的控制。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)的有益效果是：通過(guò)本技術(shù)方案，其一是，保證了四(二甲胺)鋯的純度(大于99.99％)；其二是，提高了四(二甲胺)鋯的提純收率，(大于90％)；純化過(guò)程穩(wěn)定(溫度30-100℃，真空度1-10mmHg)。附圖說(shuō)明圖1為一種四(二甲胺)鋯升華提純裝置結(jié)構(gòu)示意圖；具體實(shí)施方式下面結(jié)合具體實(shí)施方式，進(jìn)一步闡明本技術(shù)，應(yīng)理解下述具體實(shí)施方式僅用于說(shuō)明本技術(shù)而不用于限制本技術(shù)的范圍。實(shí)施例1如圖所示，一種四(二甲胺)鋯升華提純裝置，包括瓶體，所述瓶體由外層到內(nèi)層分別設(shè)有導(dǎo)熱油腔體8、真空腔體9和冷指腔體10；所述導(dǎo)熱油腔體8外側(cè)壁上設(shè)有方便搬運(yùn)的把手13，所述導(dǎo)熱油腔體8外側(cè)底部設(shè)有用于固定安放的支架12，所述導(dǎo)熱油腔體8上設(shè)有溫度計(jì)7，所述導(dǎo)熱油腔體8外部一側(cè)下部設(shè)有用于送入導(dǎo)熱油的閥門(mén)一4，所述導(dǎo)熱油腔體8外部另一側(cè)上部設(shè)有用于送出導(dǎo)熱油的閥門(mén)二5；所述真空腔體9上部設(shè)有用于連接真空泵的真空閥門(mén)3，所述真空腔體9上設(shè)有真空表14；所述冷指腔體10通過(guò)連接磨口6與冷卻器11連接，所述冷卻器11頂部設(shè)有用于送入冷卻液的閥門(mén)三1，所述冷卻器11上還設(shè)有用于送出冷卻液的閥門(mén)四2。四(二甲胺)鋯通過(guò)連接磨口6加入到真空腔體9中；通過(guò)真空閥門(mén)3連接真空泵，
導(dǎo)熱油經(jīng)過(guò)閥門(mén)一4進(jìn)入導(dǎo)熱油腔體8，由閥門(mén)二5回到循環(huán)導(dǎo)熱油爐，并由溫度計(jì)7監(jiān)控溫度。冷卻液由閥門(mén)三1進(jìn)入冷卻器11，并經(jīng)閥門(mén)四2進(jìn)入冷卻循環(huán)泵。在加熱、抽真空過(guò)程中，四(二甲胺)鋯不斷蒸發(fā)，并在冷指腔體10處不斷累積，實(shí)現(xiàn)粗、純品的分離。除上述實(shí)施例外，本技術(shù)還可以有其他實(shí)施方式。凡采用等同替換或等效變換形成的技術(shù)方案，均落在本技術(shù)要求的保護(hù)范圍。本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種四(二甲胺)鋯升華提純裝置，包括瓶體，其特征在于：所述瓶體由外層到內(nèi)層分別設(shè)有導(dǎo)熱油腔體(8)、真空腔體(9)和冷指腔體(10)；所述導(dǎo)熱油腔體(8)外部一側(cè)下部設(shè)有用于送入導(dǎo)熱油的閥門(mén)一(4)，所述導(dǎo)熱油腔體(8)外部另一側(cè)上部設(shè)有用于送出導(dǎo)熱油的閥門(mén)二(5)；所述真空腔體(9)上部設(shè)有用于連接真空泵的真空閥門(mén)(3)；所述冷指腔體(10)通過(guò)連接磨口(6)與冷卻器(11)連接，所述冷卻器(11)頂部設(shè)有用于送入冷卻液的閥門(mén)三(1)，所述冷卻器(11)上還設(shè)有用于送出冷卻液的閥門(mén)四(2)。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種四(二甲胺)鋯升華提純裝置，包括瓶體，其特征在于：所述瓶體由外層到內(nèi)層分別設(shè)有導(dǎo)熱油腔體(8)、真空腔體(9)和冷指腔體(10)；所述導(dǎo)熱油腔體(8)外部一側(cè)下部設(shè)有用于送入導(dǎo)熱油的閥門(mén)一(4)，所述導(dǎo)熱油腔體(8)外部另一側(cè)上部設(shè)有用于送出導(dǎo)熱油的閥門(mén)二(5)；所述真空腔體(9)上部設(shè)有用于連接真空泵的真空閥門(mén)(3)；所述冷指腔體(10)通過(guò)連接磨口(6)與冷卻器(11)連接，所述冷卻器(11)頂部設(shè)有用于送入冷卻液的閥門(mén)三(1)，所述冷卻器(11)上還設(shè)有...

【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：不公告發(fā)明人，
申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人：蘇州復(fù)納電子科技有限公司，
類(lèi)型：新型
國(guó)別省市：江蘇;32