支撐頂針及承載腔室制造技術(shù)

本實(shí)用新型專利技術(shù)公開了一種支撐頂針及承載腔室，屬于顯示器制造領(lǐng)域。所述支撐頂針包括多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)，所述多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)通過連接機(jī)構(gòu)串接，每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)的高度方向與所述連接機(jī)構(gòu)的高度方向平行，所述連接機(jī)構(gòu)用于將所述多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)固定在承載腔室的內(nèi)壁上，每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)能夠在所述連接機(jī)構(gòu)上移動(dòng)至目標(biāo)位置以支撐基板，且能夠圍繞所述連接機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，所述支撐機(jī)構(gòu)的側(cè)面與所述基板線接觸。本實(shí)用新型專利技術(shù)解決了支撐頂針的使用壽命較短的問題，實(shí)現(xiàn)了提高支撐頂針的使用壽命的效果，用于支撐基板。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及顯示器制造領(lǐng)域，特別涉及一種支撐頂針及承載腔室。
技術(shù)介紹
在顯示器件制造過程中，通常需要采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(英文：Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition；簡(jiǎn)稱：PECVD)鍍膜工藝，使硅烷、氨氣和氫氣等氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并高溫沉積在基板上，使得基板上沉積出所需要的薄膜。隨后，再通過機(jī)械手將沉積有薄膜的基板傳輸至承載腔室，并將基板放置在用于支撐基板的支撐頂針上，以便于完成基板的冷卻，基板被冷卻之后，再通過機(jī)械手將基板從承載腔室取出。現(xiàn)有技術(shù)中有一種支撐頂針，該支撐頂針為圓柱結(jié)構(gòu)，該支撐頂針的一端通過螺絲固定在承載腔室的內(nèi)壁上，另一端的側(cè)面支撐基板，支撐頂針的側(cè)面與基板線接觸。當(dāng)機(jī)械手將基板傳輸至承載腔室時(shí)，以及當(dāng)機(jī)械手將基板從承載腔室取出時(shí)，基板與支撐頂針之間會(huì)不斷摩擦。隨著時(shí)間的推移，支撐頂針上與基板接觸的地方漸變?yōu)槠矫妫雾斸樑c基板之間變?yōu)槊娼佑|，基板與支撐頂針的接觸面的面積變大。而基板在被冷卻的過程中，會(huì)由高溫變?yōu)槌兀?dāng)基板與支撐頂針的接觸面的面積較大時(shí)，基板在與支撐頂針相接觸的地方易產(chǎn)生裂紋，形成碎片。為了防止基板產(chǎn)生裂紋，每次當(dāng)支撐頂針上與基板接觸處變?yōu)槠矫鏁r(shí)，就旋轉(zhuǎn)支撐頂針，使支撐頂針的側(cè)面與基板之間再次形成線接觸。通常在將支撐頂針旋轉(zhuǎn)3次后，用于支撐基板的支撐頂針一端的側(cè)面變?yōu)槠矫妫麄€(gè)支撐頂針便無法繼續(xù)使用，需要重新?lián)Q一個(gè)新的支撐頂針，因此，支撐頂針的使用壽命較短。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
為了解決支撐頂針的使用壽命較短的問題，本技術(shù)提供了一種支撐頂針及承載腔室。所述技術(shù)方案如下：第一方面，提供了一種支撐頂針，所述支撐頂針包括多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)，所述多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)通過連接機(jī)構(gòu)串接，每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)的高度方向與所述連接機(jī)構(gòu)的高度方向平行，所述連接機(jī)構(gòu)用于將所述多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)固定在承載腔室的內(nèi)壁上，每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)能夠在所述連接機(jī)構(gòu)上移動(dòng)至目標(biāo)位置以支撐基板，且能夠圍繞所述連接機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，所述支撐機(jī)構(gòu)的側(cè)面與所述基板線接觸。可選的，所述連接機(jī)構(gòu)為螺紋桿，每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)為圓柱結(jié)構(gòu)，且中心設(shè)置有螺孔，所述螺孔的長(zhǎng)度方向與所述支撐機(jī)構(gòu)的高度方向平行；所述螺紋桿穿過每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)的螺孔以串接所述多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)，所述螺紋桿的一端設(shè)置在所述承載腔室的內(nèi)壁上，所述螺紋桿的另一端設(shè)置有卡接螺帽。可選的，每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)的上底面設(shè)置有n個(gè)卡接槽，下底面設(shè)置有能夠與所述n個(gè)卡接槽相卡接的n個(gè)凸起結(jié)構(gòu)，所述n大于或等于2。可選的，所述連接機(jī)構(gòu)包括連接部件和固定部件，所述連接部件固定在所述承載腔室的內(nèi)壁上，所述連接部件的底部設(shè)置有至少兩個(gè)滑軌，每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)能夠在所述至少兩個(gè)滑軌上移動(dòng)至所述目標(biāo)位置，所述連接部件與所述固定部件的一端固定連接，所述固定部件用于固定每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)。可選的，每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)為圓柱結(jié)構(gòu)，每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)的側(cè)面貫穿設(shè)置有定位孔，每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)通過所述定位孔上的固定螺帽固定在所述固定部件上。可選的，每個(gè)所述滑軌遠(yuǎn)離所述連接部件的一端設(shè)置有限位螺帽。可選的所述卡接螺帽與所述螺紋桿之間設(shè)置有墊片。可選的每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)與所述至少兩個(gè)滑軌的接觸處設(shè)置有隔墊層，所述隔墊層上設(shè)置有與所述至少兩個(gè)滑軌中每個(gè)所述滑軌相對(duì)應(yīng)的滑塊。可選的所述連接部件為圓柱結(jié)構(gòu)，所述固定部件的橫截面為半圓弧形，所述連接部件的側(cè)面與所述固定部件的內(nèi)表面接觸。可選的所述卡接槽和所述凸起結(jié)構(gòu)均呈十字狀。可選的所述連接部件和所述固定部件為一體件。第二方面，提供了一種承載腔室，所述承載腔室的內(nèi)壁設(shè)置有多個(gè)支撐頂針，每個(gè)所述支撐頂針為第一方面所述的支撐頂針。本技術(shù)提供了一種支撐頂針及承載腔室，該支撐頂針包括多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)，每個(gè)支撐機(jī)構(gòu)能夠在連接機(jī)構(gòu)上移動(dòng)至目標(biāo)位置以支撐基板，且能夠圍繞連接機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，當(dāng)目標(biāo)位置上的支撐機(jī)構(gòu)無法被繼續(xù)使用時(shí)，只需更換另一支撐機(jī)構(gòu)，無需重新?lián)Q取一個(gè)新的支撐頂針，因此，延長(zhǎng)了支撐頂針的使用壽命。應(yīng)當(dāng)理解的是，以上的一般描述和后文的細(xì)節(jié)描述僅是示例性和解釋性的，并不能限制本技術(shù)。附圖說明為了更清楚地說明本技術(shù)實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本技術(shù)的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1是本技術(shù)實(shí)施例提供的一種支撐頂針的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本技術(shù)實(shí)施例提供的一種支撐機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本技術(shù)實(shí)施例提供的一種支撐機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本技術(shù)實(shí)施例提供的另一種支撐頂針的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是本技術(shù)實(shí)施例提供的一種支撐機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6是本技術(shù)實(shí)施例提供的一種支撐頂針支撐基板的示意圖；圖7是現(xiàn)有技術(shù)中的支撐頂針的結(jié)構(gòu)示意圖。通過上述附圖，已示出本技術(shù)明確的實(shí)施例，后文中將有更詳細(xì)的描述。這些附圖和文字描述并不是為了通過任何方式限制本技術(shù)構(gòu)思的范圍，而是通過參考特定實(shí)施例為本領(lǐng)域技術(shù)人員說明本技術(shù)的概念。具體實(shí)施方式為使本技術(shù)的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本技術(shù)實(shí)施方式作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。本技術(shù)實(shí)施例提供了一種支撐頂針100，如圖1所示，該支撐頂針100包括多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)110。多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)110通過連接機(jī)構(gòu)120串接，每個(gè)支撐機(jī)構(gòu)110的高度方向(如圖1中u所指示的方向)與連接機(jī)構(gòu)120的高度方向(如圖1中v所指示的方向)平行。連接機(jī)構(gòu)120用于將多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)110固定在承載腔室的內(nèi)壁(圖1中未畫出)上，每個(gè)支撐機(jī)構(gòu)110能夠在連接機(jī)構(gòu)120上移動(dòng)至目標(biāo)位置以支撐基板200，且能夠圍繞連接機(jī)構(gòu)120旋轉(zhuǎn)，支撐機(jī)構(gòu)110的側(cè)面與基板200線接觸。綜上所述，本技術(shù)實(shí)施例提供的支撐頂針，該支撐頂針包括多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)，每個(gè)支撐機(jī)構(gòu)能夠在連接機(jī)構(gòu)上移動(dòng)至目標(biāo)位置以支撐基板，且能夠圍繞連接機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，當(dāng)目標(biāo)位置上的支撐機(jī)構(gòu)無法被繼續(xù)使用時(shí)，只需更換另一支撐機(jī)構(gòu)，無需重新?lián)Q取一個(gè)新的支撐頂針，因此，延長(zhǎng)了支撐頂針的使用壽命。可選的，如圖2所示，連接機(jī)構(gòu)120為螺紋桿，每個(gè)支撐機(jī)構(gòu)110為圓柱結(jié)構(gòu)，且中心設(shè)置有螺孔111，螺孔111的長(zhǎng)度方向(如圖2中w所指示的方向)與支撐機(jī)構(gòu)110的高度方向(如圖2中u所指示的方向)平行。螺紋桿穿過每個(gè)支撐機(jī)構(gòu)110的螺孔111以串接多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)。螺紋桿的一端設(shè)置在承載腔室的內(nèi)壁上，螺紋桿的另一端設(shè)置有卡接螺帽121。支撐機(jī)構(gòu)旋進(jìn)螺紋桿，由于支撐機(jī)構(gòu)和螺紋桿之間的摩擦力較大，所以支撐機(jī)構(gòu)不易在螺紋桿上滑動(dòng)。另外，卡接螺帽能夠限定目標(biāo)位置處的支撐機(jī)構(gòu)的位置，鎖緊目標(biāo)位置處的支撐機(jī)構(gòu)，防止目標(biāo)位置處的支撐機(jī)構(gòu)脫落。需要說明的是，圖2是以一個(gè)支撐機(jī)構(gòu)為例進(jìn)行說明的。進(jìn)一步的，卡接螺帽與螺紋桿之間設(shè)置有墊片。卡接螺帽與螺紋桿通過墊片能夠更加緊密地連接在一起。如圖3所示，每個(gè)支撐機(jī)構(gòu)110的上底面A設(shè)置有n個(gè)卡接槽112，下底面B設(shè)置有能夠與n個(gè)卡接槽112相卡接的n個(gè)凸起結(jié)構(gòu)113，n大于或等于2。示例的，n等于4。示例的，如圖3所示，卡接槽和凸起結(jié)構(gòu)均呈十字狀。相鄰的兩個(gè)支撐機(jī)構(gòu)能夠通過卡接槽和凸起結(jié)構(gòu)卡接在一起本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種支撐頂針，其特征在于，所述支撐頂針包括多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)，所述多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)通過連接機(jī)構(gòu)串接，每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)的高度方向與所述連接機(jī)構(gòu)的高度方向平行，所述連接機(jī)構(gòu)用于將所述多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)固定在承載腔室的內(nèi)壁上，每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)能夠在所述連接機(jī)構(gòu)上移動(dòng)至目標(biāo)位置以支撐基板，且能夠圍繞所述連接機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，所述支撐機(jī)構(gòu)的側(cè)面與所述基板線接觸。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種支撐頂針，其特征在于，所述支撐頂針包括多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)，所述多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)通過連接機(jī)構(gòu)串接，每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)的高度方向與所述連接機(jī)構(gòu)的高度方向平行，所述連接機(jī)構(gòu)用于將所述多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)固定在承載腔室的內(nèi)壁上，每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)能夠在所述連接機(jī)構(gòu)上移動(dòng)至目標(biāo)位置以支撐基板，且能夠圍繞所述連接機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，所述支撐機(jī)構(gòu)的側(cè)面與所述基板線接觸。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的支撐頂針，其特征在于，所述連接機(jī)構(gòu)為螺紋桿，每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)為圓柱結(jié)構(gòu)，且中心設(shè)置有螺孔，所述螺孔的長(zhǎng)度方向與所述支撐機(jī)構(gòu)的高度方向平行；所述螺紋桿穿過每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)的螺孔以串接所述多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)，所述螺紋桿的一端設(shè)置在所述承載腔室的內(nèi)壁上，所述螺紋桿的另一端設(shè)置有卡接螺帽。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的支撐頂針，其特征在于，每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)的上底面設(shè)置有n個(gè)卡接槽，下底面設(shè)置有能夠與所述n個(gè)卡接槽相卡接的n個(gè)凸起結(jié)構(gòu)，所述n大于或等于2。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的支撐頂針，其特征在于，所述連接機(jī)構(gòu)包括連接部件和固定部件，所述連接部件固定在所述承載腔室的內(nèi)壁上，所述連接部件的底部設(shè)置有至少兩個(gè)滑軌，每個(gè)所述支撐機(jī)構(gòu)能夠在所述至少兩個(gè)滑軌上移動(dòng)至所述目標(biāo)位置，所述連接部件與...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：李惠，王丹名，張首龍，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：京東方科技集團(tuán)股份有限公司，成都京東方光電科技有限公司，
類型：新型
國(guó)別省市：北京;11