轉(zhuǎn)印微發(fā)光二極管的方法及顯示面板的制作方法技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)提供一種在曲面基板上轉(zhuǎn)印微發(fā)光二極管的方法及曲面微發(fā)光二極管顯示面板的制作方法。本發(fā)明專利技術(shù)的在曲面基板上轉(zhuǎn)印微發(fā)光二極管的方法，通過兩次微轉(zhuǎn)印制程將微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)印到曲面基板上，其中，在第二次微轉(zhuǎn)印制程中，具有柔性的第二傳送頭拾取中轉(zhuǎn)基板上的微發(fā)光二極管，然后隨曲面基板的形狀發(fā)生形變而貼附于所述曲面基板上，從而將所拾取的微發(fā)光二極管放置于曲面基板上，實現(xiàn)了微發(fā)光二極管在曲面基板的弧面、球面等曲面上的轉(zhuǎn)印，從而可進一步用于制作曲面微發(fā)光二極管顯示面板的顯示像素陣列，進而用于實現(xiàn)曲面顯示效果。

Method for transferring light emitting diode on curved substrate and method for manufacturing curved surface micro light emitting diode display panel

The invention provides a method for transferring a micro light emitting diode on a curved substrate and a method for manufacturing a surface micro light emitting diode display panel. The substrate transfer method to surface micro light emitting diode of the invention, the two micro transfer process will transfer to the substrate surface micro light emitting diode, which, in the second micro transfer process, with the second flexible transfer substrate feeding pickup micro light emitting diode, and then with the substrate surface shape deformed and attached to the surface of the substrate, which will be picked up by a micro light emitting diode placed on the surface of the substrate, the substrate surface transfer micro light emitting diode in the cambered surface, spherical surface, which can be further used for making surface micro light emitting diode display pixel array panel, which is used to realize the surface display effect.

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術(shù)涉及顯示
，尤其涉及一種在曲面基板上轉(zhuǎn)印微發(fā)光二極管的方法及曲面微發(fā)光二極管顯示面板的制作方法。
技術(shù)介紹
微發(fā)光二極管(Micro LED)是一種尺寸在幾微米到幾百微米之間的器件，由于其較普通LED的尺寸要小很多，從而使得單一的LED作為像素(Pixel)用于顯示成為可能，Micro LED顯示器便是一種以高密度的Micro LED陣列作為顯示像素陣列來實現(xiàn)圖像顯示的顯示器，同大尺寸的戶外LED顯示屏一樣，每一個像素可定址、單獨驅(qū)動點亮，可以看成是戶外LED顯示屏的縮小版，將像素點距離從毫米級降低至微米級，Micro LED顯示器和有機發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)顯示器一樣屬于自發(fā)光顯示器，但Micro LED顯示器相比于OLED顯示器還具有材料穩(wěn)定性更好、壽命更長、無影像烙印等優(yōu)點，被認為是OLED顯示器的最大競爭對手。由于晶格匹配的原因，Micro LED器件必須先在藍寶石類的供給基板上通過分子束外延的方法生長出來，隨后通過激光剝離(Laser lift-off，LLO)技術(shù)將微發(fā)光二極管裸芯片(bare chip)從供給基板上分離開，然后通過微轉(zhuǎn)印(Micro Transfer Print，NTP)技術(shù)將其轉(zhuǎn)移到已經(jīng)預先制備完成電路圖案的接收基板上，形成Micro LED陣列，進而做成Micro LED顯示面板。其中，微轉(zhuǎn)印的基本原理大致為：使用具有圖案化的傳送頭(Transfer head)，例如具有凸起結(jié)構(gòu)的聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane，PDMS)類傳送頭，通過具有粘性的PDMS傳送層(Transfer layer)將Micro LED bare chip從供給基板吸附起來，然后將PDMS傳送頭與接收基板進行對位，隨后將PDMS傳送頭所吸附的Micro LED bare chip貼附到接收基板預設(shè)的位置上，再將PDMS傳送頭從接收基板上剝離，即可完成Micro LED bare chip的轉(zhuǎn)移，形成Micro LED陣列。目前，來自愛爾蘭的X-celeprint、美國德州大學等都曾發(fā)表過有關(guān)Micro LED顯示器的研究成果。蘋果公司于2014年正式收購具有Micro LED技術(shù)的LuxVue后，引發(fā)業(yè)界開始關(guān)注于Micro LED的技術(shù)優(yōu)勢，作為一家掌握Micro LED Transfer Printing的高技術(shù)公司，LuxVue與X-Celeprint所使用的微轉(zhuǎn)移技術(shù)差別較大。X-Celeprint主要利用PDMS等膜層結(jié)構(gòu)的吸附力進行轉(zhuǎn)移動作，而LuxVue通過在傳送頭的凸起上通電，利用靜電力來吸附Micro LED等器件。另外，隨著顯示技術(shù)的發(fā)展，人們對消費性電子產(chǎn)品的要求已經(jīng)不單單局限于功能性，曲面顯示器相較于平面顯示器，設(shè)計新穎，視覺體驗效果更佳；如果將Micro LED顯示技術(shù)與曲面顯示技術(shù)進行結(jié)合，那么首先所要解決的問題便是如何將Micro LED轉(zhuǎn)移在接收基板的弧面或球面等其他曲面上而制備出顯示陣列。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本專利技術(shù)的目的在于提供一種在曲面基板上轉(zhuǎn)印微發(fā)光二極管的方法，通過兩次微轉(zhuǎn)印制程將微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)印到曲面基板上，可用于制作曲面微發(fā)光二極管顯示面板，從而達成曲面顯示效果。本專利技術(shù)的目的還在于提供一種曲面微發(fā)光二極管顯示面板的制作方法，采用上述的在曲面基板上轉(zhuǎn)印微發(fā)光二極管的方法形成微發(fā)光二極管顯示陣列，從而制得曲面微發(fā)光二極管顯示面板。為實現(xiàn)上述目的，本專利技術(shù)提供了一種在曲面基板上轉(zhuǎn)印微發(fā)光二極管的方法，包括如下步驟：步驟1、提供第一傳送頭、載體基板、及中轉(zhuǎn)基板，所述載體基板上具有數(shù)個微發(fā)光二極管，利用所述第一傳送頭進行第一次微轉(zhuǎn)印制程，在第一次微轉(zhuǎn)印制程中，所述第一傳送頭拾取所述載體基板上的微發(fā)光二極管，然后將所拾取的所述微發(fā)光二極管放置于中轉(zhuǎn)基板上，在中轉(zhuǎn)基板上形成第一微發(fā)光二極管陣列；步驟2、提供第二傳送頭、及曲面基板，所述第二傳送頭具有柔性，利用所述第二傳送頭進行第二次微轉(zhuǎn)印制程，在第二次微轉(zhuǎn)印制程中，所述第二傳送頭拾取所述中轉(zhuǎn)基板上的微發(fā)光二極管，然后載有微發(fā)光二極管的第二傳送頭隨所述曲面基板的形狀發(fā)生形變而貼附于所述曲面基板上，將所拾取的微發(fā)光二極管放置于曲面基板上，在曲面基板上形成第二微發(fā)光二極管陣列。所述第一傳送頭上設(shè)有電極，所述第一傳送頭通過靜電力對所述微發(fā)光二極管進行微轉(zhuǎn)印。所述第一傳送頭為PDMS傳送頭，具有PDMS層，所述第一傳送頭利用PDMS層對所述微發(fā)光二極管的吸附力進行微轉(zhuǎn)印。所述第二傳送頭包括柔性PDMS膜，所述柔性PDMS膜具有吸附面，所述第二傳送頭通過所述柔性PDMS膜的吸附面拾取所述微發(fā)光二極管，所述柔性PDMS膜的厚度為20μm-1000μm。所述柔性PDMS膜的吸附面為平面，所述第二微發(fā)光二極管陣列所構(gòu)成的圖案結(jié)構(gòu)與所述第一微發(fā)光二極管陣列所構(gòu)成的圖案結(jié)構(gòu)相同。所述柔性PDMS膜的吸附面具有凸起結(jié)構(gòu)，所述第二傳送頭通過柔性PDMS膜的凸起結(jié)構(gòu)拾取微發(fā)光二極管。所述第二傳送頭還包括用于承載所述柔性PDMS膜的柔性襯底。所述第一傳送頭為PDMS傳送頭，包括襯底基板、及形成于所述襯底基板上的PDMS膜；所述步驟2中提供的第二傳送頭由所述第一傳送頭制得，具體制作過程為：將所述第一傳送頭的襯底基板通過化學方法溶解掉，剩余的PDMS膜構(gòu)成第二傳送頭。所述中轉(zhuǎn)基板包括PMMA接收層；所述步驟1中，所述微發(fā)光二極管放置于所述中轉(zhuǎn)基板的PMMA接收層上。本專利技術(shù)還提供一種曲面微發(fā)光二極管顯示面板的制作方法，包括如下步驟：按照上述的在曲面基板上轉(zhuǎn)印微發(fā)光二極管的方法，在所述曲面基板上轉(zhuǎn)印出用于構(gòu)成顯示像素的微發(fā)光二極管顯示陣列，所述曲面基板為TFT陣列基板；然后對所述微發(fā)光二極管顯示陣列進行封裝，得到曲面微發(fā)光二極管顯示面板。本專利技術(shù)的有益效果：本專利技術(shù)提供的一種在曲面基板上轉(zhuǎn)印微發(fā)光二極管的方法，通過兩次微轉(zhuǎn)印制程將微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)印到曲面基板上，首先利用第一傳送頭進行第一次微轉(zhuǎn)印制程，在第一次微轉(zhuǎn)印制程中，第一傳送頭從載體基板上拾取微發(fā)光二極管并將所拾取的所述微發(fā)光二極管放置于中轉(zhuǎn)基板上，然后利用柔性的第二傳送頭進行第二次微轉(zhuǎn)印制程，在第二次微轉(zhuǎn)印制程中，第二傳送頭拾取所述中轉(zhuǎn)基板上的微發(fā)光二極管，然后隨曲面基板的形狀發(fā)生形變而貼附于所述曲面基板上，從而將所拾取的微發(fā)光二極管放置于曲面基板上，實現(xiàn)了微發(fā)光二極管在曲面基板的弧面、球面等曲面上的轉(zhuǎn)印，從而可以進一步用于制作曲面微發(fā)光二極管顯示面板的顯示像素陣列，進而用于實現(xiàn)曲面顯示效果。本專利技術(shù)的曲面微發(fā)光二極管顯示面板的制作方法，采用上述的在曲面基板上轉(zhuǎn)印微發(fā)光二極管的方法形成微發(fā)光二極管顯示陣列，從而制得了具有曲面顯示效果的曲面微發(fā)光二極管顯示面板。附圖說明為了能更進一步了解本專利技術(shù)的特征以及
技術(shù)實現(xiàn)思路
，請參閱以下有關(guān)本專利技術(shù)的詳細說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本專利技術(shù)加以限制。附圖中，圖1為本專利技術(shù)的在曲面基板上轉(zhuǎn)印微發(fā)光二極管的方法的流程示意圖；圖2-5為本專利技術(shù)的在曲面基板上轉(zhuǎn)印微發(fā)光二極管的方法的步驟1的示意圖；圖6-9為本專利技術(shù)的在曲面基板上轉(zhuǎn)印微發(fā)光二極管的方法的步驟2的示意本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護點】
一種在曲面基板上轉(zhuǎn)印微發(fā)光二極管的方法，其特征在于，包括如下步驟：步驟1、提供第一傳送頭(51)、載體基板(10)、及中轉(zhuǎn)基板(30)，所述載體基板(10)上具有數(shù)個微發(fā)光二極管(21)，利用所述第一傳送頭(51)進行第一次微轉(zhuǎn)印制程，在第一次微轉(zhuǎn)印制程中，所述第一傳送頭(51)拾取所述載體基板(10)上的微發(fā)光二極管(21)，然后將所拾取的所述微發(fā)光二極管(21)放置于中轉(zhuǎn)基板(30)上，在中轉(zhuǎn)基板(30)上形成第一微發(fā)光二極管陣列；步驟2、提供第二傳送頭(52)、及曲面基板(20)，所述第二傳送頭(52)具有柔性，利用所述第二傳送頭(52)進行第二次微轉(zhuǎn)印制程，在第二次微轉(zhuǎn)印制程中，所述第二傳送頭(52)拾取所述中轉(zhuǎn)基板(30)上的微發(fā)光二極管(21)，然后載有微發(fā)光二極管(21)的第二傳送頭(52)隨所述曲面基板(20)的形狀發(fā)生形變而貼附于所述曲面基板(20)上，將所拾取的微發(fā)光二極管(21)放置于曲面基板(20)上，在曲面基板(20)上形成第二微發(fā)光二極管陣列。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種在曲面基板上轉(zhuǎn)印微發(fā)光二極管的方法，其特征在于，包括如下步驟：步驟1、提供第一傳送頭(51)、載體基板(10)、及中轉(zhuǎn)基板(30)，所述載體基板(10)上具有數(shù)個微發(fā)光二極管(21)，利用所述第一傳送頭(51)進行第一次微轉(zhuǎn)印制程，在第一次微轉(zhuǎn)印制程中，所述第一傳送頭(51)拾取所述載體基板(10)上的微發(fā)光二極管(21)，然后將所拾取的所述微發(fā)光二極管(21)放置于中轉(zhuǎn)基板(30)上，在中轉(zhuǎn)基板(30)上形成第一微發(fā)光二極管陣列；步驟2、提供第二傳送頭(52)、及曲面基板(20)，所述第二傳送頭(52)具有柔性，利用所述第二傳送頭(52)進行第二次微轉(zhuǎn)印制程，在第二次微轉(zhuǎn)印制程中，所述第二傳送頭(52)拾取所述中轉(zhuǎn)基板(30)上的微發(fā)光二極管(21)，然后載有微發(fā)光二極管(21)的第二傳送頭(52)隨所述曲面基板(20)的形狀發(fā)生形變而貼附于所述曲面基板(20)上，將所拾取的微發(fā)光二極管(21)放置于曲面基板(20)上，在曲面基板(20)上形成第二微發(fā)光二極管陣列。2.如權(quán)利要求1所述的在曲面基板上轉(zhuǎn)印微發(fā)光二極管的方法，其特征在于，所述第一傳送頭(51)上設(shè)有電極，所述第一傳送頭(51)通過靜電力對所述微發(fā)光二極管(21)進行微轉(zhuǎn)印。3.如權(quán)利要求1所述的在曲面基板上轉(zhuǎn)印微發(fā)光二極管的方法，其特征在于，所述第一傳送頭(51)為PDMS傳送頭，具有PDMS層，所述第一傳送頭(51)利用PDMS層對所述微發(fā)光二極管(21)的吸附力進行微轉(zhuǎn)印。4.如權(quán)利要求1所述的在曲面基板上轉(zhuǎn)印微發(fā)光二極管的方法，其特征在于，所述第二傳送頭(52)包括柔性PDMS膜(521)，所述柔性PDMS膜(521)具有吸附面，所述第二傳送頭(52)通過所述柔性PDMS膜(521)的吸附面拾取所...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：陳黎暄，
申請(專利權(quán))人：深圳市華星光電技術(shù)有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：廣東;44