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    一種單晶硅生產用石墨加熱器吊具制造技術

    技術編號:14289381 閱讀:188 留言:0更新日期:2016-12-25 19:39
    本實用新型專利技術公開了一種單晶硅生產用石墨加熱器吊具,屬于單晶硅生產設備技術領域,吊具包括吊具本體,關鍵是:所述的吊具本體包括固定環、拉繩和連接塊,固定環下端面沿圓周方向設置有一組夾桿,夾桿上端與固定環鉸接,夾桿下端設置有拉緊桿,拉緊桿上端與夾桿鉸接,所有拉緊桿的下端都與連接塊鉸接,連接塊與固定環同軸設置,拉繩下端與連接塊固定連接形成夾緊結構。不需要等著石墨加熱器自然冷卻即可將石墨加熱器取出進行清理,省去了冷卻時間,大大提高了生產效率,結構簡單,操作方便快捷,省時省力。

    【技術實現步驟摘要】

    本技術屬于單晶硅生產設備
    ,涉及到一種單晶硅生產用石墨加熱器吊具
    技術介紹
    石墨加熱器位于石墨保溫桶內,將坩堝放到石墨加熱器內,利用石墨加熱器將多晶硅加熱到熔融狀態然后拉制成單晶硅,但是在單晶硅熔融后會揮發出氣態的硅,附著在石墨加熱器上,等下次進行加熱時,附著的硅渣有可能會掉落到坩堝里頭,導致拉制單晶硅失敗,所以需要經常清掃石墨加熱器。現在傳統的做法是把坩堝拿走使用后,需要等待石墨加熱器自然冷卻之后再拿出石墨加熱器進行清理,但是由于保溫碳氈、石墨保溫桶的保溫作用,石墨加熱器自然冷卻的速度很慢,需要的冷卻時間很長,影響生產效率。
    技術實現思路
    本技術為了克服現有技術的缺陷,設計了一種單晶硅生產用石墨加熱器吊具,不需要等著石墨加熱器自然冷卻即可將石墨加熱器取出進行清理,省去了冷卻時間,大大提高了生產效率。本技術所采取的具體技術方案是:一種單晶硅生產用石墨加熱器吊具,包括吊具本體,關鍵是:所述的吊具本體包括固定環、拉繩和連接塊,固定環下端面沿圓周方向設置有一組夾桿,夾桿上端與固定環鉸接,夾桿下端設置有拉緊桿,拉緊桿上端與夾桿鉸接,所有拉緊桿的下端都與連接塊鉸接,連接塊與固定環同軸設置,拉繩下端與連接塊固定連接形成夾緊結構。所述的固定環上端面沿圓周方向設置有一組吊桿,所有的吊桿都傾斜設置,吊桿下端與固定環固定連接,所有吊桿的上端固定連接于一點且該點位于固定環的軸線上。在所有吊桿的連接點處增設吊環。所述的吊環與該連接點固定連接且吊環的軸線水平設置。所述的吊環與該連接點鉸接。所述的夾桿下端面有水平設置的頂桿,頂桿的一端與夾桿下端面固定連接,頂桿的另一端朝向固定環外側且頂桿與夾桿處于同一豎直面上。所述的頂桿朝向固定環外側一端的端面上固定有向上凸出的頂板。所述的夾桿的數量為至少兩個,所有的夾桿沿固定環的圓周方向等間隔設置。本技術的有益效果是:吊裝石墨加熱器時,先使連接塊處于自然下垂狀態,此時吊具下端面的外徑小于石墨加熱器的內徑,將吊具放入石墨加熱器內,然后向上拉動拉繩,使拉緊桿向外推動夾桿,使得吊具下端與石墨加熱器卡緊,然后利用外部動力設備向上拉動吊具從而將石墨加熱器吊出,或者是使吊具向下運動將石墨加熱器放回原處即可。不需要等著石墨加熱器自然冷卻即可將石墨加熱器取出進行清理,省去了冷卻時間,大大提高了生產效率,結構簡單,操作方便快捷,省時省力。附圖說明圖1為本技術的結構示意圖。附圖中,1 代表固定環,2 代表拉繩,3 代表連接塊,4 代表夾桿,5 代表拉緊桿,6 代表吊桿,7 代表吊環,8 代表頂桿,9 代表頂板。具體實施方式下面結合附圖和具體實施例對本技術做詳細說明:具體實施例,如圖1所示,一種單晶硅生產用石墨加熱器吊具,包括吊具本體,吊具本體包括固定環1、拉繩2和連接塊3,固定環1下端面沿圓周方向設置有一組夾桿4,夾桿4的數量為至少兩個,所有的夾桿4沿固定環1的圓周方向等間隔設置,夾桿4上端與固定環1鉸接,夾桿4下端設置有拉緊桿5,拉緊桿5上端與夾桿4鉸接,所有拉緊桿5的下端都與連接塊3鉸接,連接塊3與固定環1同軸設置,拉繩2下端與連接塊3固定連接形成夾緊結構。作為對本技術的進一步改進,固定環1上端面沿圓周方向設置有一組吊桿6,所有的吊桿6都傾斜設置,吊桿6下端與固定環1固定連接,所有吊桿6的上端固定連接于一點且該點位于固定環1的軸線上。吊裝石墨加熱器時可以通過吊桿6的連接點處將吊具掛到外部的動力設備上,方便快捷,省時省力。作為對本技術的進一步改進,在所有吊桿6的連接點處增設吊環7,吊環7與該連接點固定連接且吊環7的軸線水平設置,或者是吊環7與該連接點鉸接。吊裝石墨加熱器時可以直接將吊環7掛到外部的動力設備上,更加方便快捷,省時省力,而且吊環7的存在使得吊具受到向上或向下的拉力都處于固定環1的軸線上,可以有效防止吊具在吊裝過程中發生偏移。作為對本技術的進一步改進,夾桿4下端面有水平設置的頂桿8,頂桿8的一端與夾桿4下端面固定連接,頂桿8的另一端朝向固定環1外側且頂桿8與夾桿4處于同一豎直面上,可以增大吊具與石墨加熱器之間的接觸面積,進而增大摩擦力,使得吊裝過程更加安全可靠。作為對本技術的進一步改進,頂桿8朝向固定環1外側一端的端面上固定有向上凸出的頂板9,可以進一步增大吊具與石墨加熱器之間的接觸面積,進而增大摩擦力,使得吊裝過程更加安全可靠。本技術在具體實施時:根據石墨加熱器的尺寸設置吊具的尺寸,使得固定環1的外徑小于石墨加熱器的內徑,吊具下端面的最大外徑大于石墨加熱器的內徑且最小內徑小于石墨加熱器的內徑。吊出石墨加熱器時,先使連接塊3處于自然下垂狀態,此時吊具下端面的外徑小于石墨加熱器的內徑,將吊具放入石墨加熱器內,然后向上拉動拉繩2,使連接塊3向上運動,拉緊桿5會推動夾桿4的下端向外側移動,使頂板9與石墨加熱器的內壁緊密接觸,使得吊具與石墨加熱器卡緊,然后利用外部動力設備向上拉動吊具即可將石墨加熱器吊出。同理,將石墨加熱器放回時,也是先將吊具放入石墨加熱器內并使吊具與石墨加熱器卡緊,然后利用外部動力設備使吊具向下運動直至將石墨加熱器放回原處即可。不需要等著石墨加熱器自然冷卻即可將石墨加熱器取出進行清理,省去了冷卻時間,大大提高了生產效率,結構簡單,操作方便快捷,省時省力。本文檔來自技高網...

    【技術保護點】
    一種單晶硅生產用石墨加熱器吊具,包括吊具本體,其特征在于:所述的吊具本體包括固定環(1)、拉繩(2)和連接塊(3),固定環(1)下端面沿圓周方向設置有一組夾桿(4),夾桿(4)上端與固定環(1)鉸接,夾桿(4)下端設置有拉緊桿(5),拉緊桿(5)上端與夾桿(4)鉸接,所有拉緊桿(5)的下端都與連接塊(3)鉸接,連接塊(3)與固定環(1)同軸設置,拉繩(2)下端與連接塊(3)固定連接形成夾緊結構。

    【技術特征摘要】
    1.一種單晶硅生產用石墨加熱器吊具,包括吊具本體,其特征在于:所述的吊具本體包括固定環(1)、拉繩(2)和連接塊(3),固定環(1)下端面沿圓周方向設置有一組夾桿(4),夾桿(4)上端與固定環(1)鉸接,夾桿(4)下端設置有拉緊桿(5),拉緊桿(5)上端與夾桿(4)鉸接,所有拉緊桿(5)的下端都與連接塊(3)鉸接,連接塊(3)與固定環(1)同軸設置,拉繩(2)下端與連接塊(3)固定連接形成夾緊結構。2.根據權利要求1所述的一種單晶硅生產用石墨加熱器吊具,其特征在于:所述的固定環(1)上端面沿圓周方向設置有一組吊桿(6),所有的吊桿(6)都傾斜設置,吊桿(6)下端與固定環(1)固定連接,所有吊桿(6)的上端固定連接于一點且該點位于固定環(1)的軸線上。3.根據權利要求2所述的一種單晶硅生產用石墨加熱器吊具,其特征在于:在所有吊桿(6)的連接點處增設吊環(7)...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:張曉朋趙會剛李德建李朝陽申朝倫
    申請(專利權)人:河北寧通電子材料有限公司
    類型:新型
    國別省市:河北;13

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