【技術實現步驟摘要】
本技術屬于單晶硅生產設備
,涉及到一種單晶硅生產用石墨加熱器吊具。
技術介紹
石墨加熱器位于石墨保溫桶內,將坩堝放到石墨加熱器內,利用石墨加熱器將多晶硅加熱到熔融狀態然后拉制成單晶硅,但是在單晶硅熔融后會揮發出氣態的硅,附著在石墨加熱器上,等下次進行加熱時,附著的硅渣有可能會掉落到坩堝里頭,導致拉制單晶硅失敗,所以需要經常清掃石墨加熱器。現在傳統的做法是把坩堝拿走使用后,需要等待石墨加熱器自然冷卻之后再拿出石墨加熱器進行清理,但是由于保溫碳氈、石墨保溫桶的保溫作用,石墨加熱器自然冷卻的速度很慢,需要的冷卻時間很長,影響生產效率。
技術實現思路
本技術為了克服現有技術的缺陷,設計了一種單晶硅生產用石墨加熱器吊具,不需要等著石墨加熱器自然冷卻即可將石墨加熱器取出進行清理,省去了冷卻時間,大大提高了生產效率。本技術所采取的具體技術方案是:一種單晶硅生產用石墨加熱器吊具,包括吊具本體,關鍵是:所述的吊具本體包括固定環、拉繩和連接塊,固定環下端面沿圓周方向設置有一組夾桿,夾桿上端與固定環鉸接,夾桿下端設置有拉緊桿,拉緊桿上端與夾桿鉸接,所有拉緊桿的下端都與連接塊鉸接,連接塊與固定環同軸設置,拉繩下端與連接塊固定連接形成夾緊結構。所述的固定環上端面沿圓周方向設置有一組吊桿,所有的吊桿都傾斜設置,吊桿下端與固定環固定連接,所有吊桿的上端固定連接于一點且該點位于固定環的軸線上。在所有吊桿的連接點處增設吊環。所述的吊環與該連接點固定連接且吊環的軸線水平設置。所述的吊環與該連接點鉸接。所述的夾桿下端面有水平設置的頂桿,頂桿的一端與夾桿下端面固定連接,頂桿的另一端朝向固定環 ...
【技術保護點】
一種單晶硅生產用石墨加熱器吊具,包括吊具本體,其特征在于:所述的吊具本體包括固定環(1)、拉繩(2)和連接塊(3),固定環(1)下端面沿圓周方向設置有一組夾桿(4),夾桿(4)上端與固定環(1)鉸接,夾桿(4)下端設置有拉緊桿(5),拉緊桿(5)上端與夾桿(4)鉸接,所有拉緊桿(5)的下端都與連接塊(3)鉸接,連接塊(3)與固定環(1)同軸設置,拉繩(2)下端與連接塊(3)固定連接形成夾緊結構。
【技術特征摘要】
1.一種單晶硅生產用石墨加熱器吊具,包括吊具本體,其特征在于:所述的吊具本體包括固定環(1)、拉繩(2)和連接塊(3),固定環(1)下端面沿圓周方向設置有一組夾桿(4),夾桿(4)上端與固定環(1)鉸接,夾桿(4)下端設置有拉緊桿(5),拉緊桿(5)上端與夾桿(4)鉸接,所有拉緊桿(5)的下端都與連接塊(3)鉸接,連接塊(3)與固定環(1)同軸設置,拉繩(2)下端與連接塊(3)固定連接形成夾緊結構。2.根據權利要求1所述的一種單晶硅生產用石墨加熱器吊具,其特征在于:所述的固定環(1)上端面沿圓周方向設置有一組吊桿(6),所有的吊桿(6)都傾斜設置,吊桿(6)下端與固定環(1)固定連接,所有吊桿(6)的上端固定連接于一點且該點位于固定環(1)的軸線上。3.根據權利要求2所述的一種單晶硅生產用石墨加熱器吊具,其特征在于:在所有吊桿(6)的連接點處增設吊環(7)...
【專利技術屬性】
技術研發人員:張曉朋,趙會剛,李德建,李朝陽,申朝倫,
申請(專利權)人:河北寧通電子材料有限公司,
類型:新型
國別省市:河北;13
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