【技術實現步驟摘要】
本技術涉及鍍膜領域，特別涉及一種多邊圓形鍍膜設備腔體。
技術介紹
目前，鍍膜技術一般分為干式鍍膜與濕式鍍膜兩種方法。干式鍍膜主要利用氣相沉積的方法，包括真空蒸鍍，真空濺鍍等。濕式鍍膜主要利用液相沉積的方法，是指將待鍍的基板置于電解質溶液中，通過電鍍法或化學鍍法，使其表面形成膜層。其中，濕式鍍膜制程具有制程設備簡單、便宜、沉積速率快、易控制沉積厚度、制程溫度低、不受限于形狀復雜之基板、適用于多樣性材料、更可在軟性基材上鍍膜等優點。但是現有鍍膜設備腔體多為圓形結構，空間大，使用效率低，空間大，抽空時間長。
技術實現思路
本技術所要解決的技術問題是提供一種多邊圓形鍍膜設備腔體，以解決現有技術中導致的上述多項缺陷。為實現上述目的，本技術提供以下的技術方案：一種多邊圓形鍍膜設備腔體，包括腔體本體，所述腔體的一側設有連接管道，另一側設有腔門，腔門與腔體鉸接，腔體的外側壁為多邊形結構，側壁處設有蒸發源過渡法蘭，其頂部設有方向校正過渡法蘭，腔體的內部設有壓力感應器，腔體的外壁設有數顯屏，數顯屏與壓力感應器相連接。優選的，所述多邊形結構的剖面為梯形結構。優選的，所述腔門與腔體鉸接處通過鉸接合頁相連接。優選的，所述腔體的頂部設有透氣孔。優選的，所述透氣孔處設有蓋板。采用以上技術方案的有益效果是：本技術結構的多邊圓形鍍膜設備腔體，改善設備結構，形狀為“多邊形圓形”，從而縮短抽空時間和空間利用率。腔體內設有壓力感應器，可以檢測出腔體內的壓力，并通過數顯屏顯示出來，可以將蓋板打開調節腔體內的氣壓。附圖說明圖1是本技術的結構示意圖。其中，1--腔體、2--連接管道、3--腔門、4--蒸發源...
【技術保護點】
一種多邊圓形鍍膜設備腔體，包括腔體本體，其特征在于，所述腔體的一側設有連接管道，另一側設有腔門，腔門與腔體鉸接，腔體的外側壁為多邊形結構，側壁處設有蒸發源過渡法蘭，其頂部設有方向校正過渡法蘭，腔體的內部設有壓力感應器，腔體的外壁設有數顯屏，數顯屏與壓力感應器相連接。
【技術特征摘要】
1.一種多邊圓形鍍膜設備腔體，包括腔體本體，其特征在于，所述腔體的一側設有連接管道，另一側設有腔門，腔門與腔體鉸接，腔體的外側壁為多邊形結構，側壁處設有蒸發源過渡法蘭，其頂部設有方向校正過渡法蘭，腔體的內部設有壓力感應器，腔體的外壁設有數顯屏，數顯屏與壓力感應器相連接。2.根據權利要求1所述的多邊圓形鍍膜設備...
【專利技術屬性】
技術研發人員：武文全，
申請(專利權)人：佛山市佛欣真空技術有限公司，
類型：新型
國別省市：廣東;44
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