一種光阻供應系統技術方案

本實用新型專利技術公開了一種光阻供應系統，其特征在于，所述光阻供應系統包括：光阻瓶，包括光阻內袋、進氣口、出液管；緩沖罐；輸入管道，所述輸入管道與所述光阻瓶的出液管相連；輸出管道，所述輸出管道位于所述緩沖罐下方；排氣管道，所述排氣管道位于所述緩沖罐上方；其中，所述輸入管道為U型，所述排氣管道與抽氣裝置相連，所述抽氣裝置在所述緩沖罐光阻液面上形成負壓，U型輸入管道，使光阻以更小的流速更穩定的狀態流入緩沖罐，利于光阻靜置排出氣泡，同時減小對已靜置光阻的沖擊影響，抽氣裝置在緩沖罐光阻液面上形成負壓，使光阻中的氣泡更快更全面從光阻中排出。

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及液體供應的
，具體涉及一種光阻供應系統。
技術介紹
液晶顯示器制造過程中，需要將光阻涂布到玻璃基板上顯影蝕刻進行圖案化。圖1是現有技術中光阻涂布供應裝置的結構示意圖，所述光阻涂布供應裝置包括光阻瓶100，緩沖罐200，所述光阻瓶100內安裝有盛放光阻的光阻內袋101，光阻瓶100上方有進氣口102、出液管103，通過進氣口102向光阻瓶100內通氣體，擠壓光阻內袋101，通過出液管103將光阻擠出。緩沖罐200包括輸入管道201，輸出管道202，輸入管道201與出液管103相連，使光阻進入200，輸出管道202與涂刻機床噴嘴相連，將光阻涂布到玻璃基板上。所述光阻內袋101在安裝時需要打開，不可避免空氣會混入到光阻內袋內，同時出液管103也暴露在空氣中，會造成空氣混合到出液管103的光阻內，導致光阻中產生氣泡。如圖2所示，當光阻內袋101使用到后期時，光阻和光阻內袋101內的氣體易大量混合被氮氣擠壓輸出。且現有緩沖罐200體積為100毫升，依據機臺涂布速度每2分鐘通過輸入管道201補液一次，補液時間間隔過短，不能將緩沖罐內的光阻的氣泡完全排出。含有氣泡的光阻經輸出管道202由噴嘴涂布到玻璃基板上，會造成圖案的缺失，導致產品的報廢或者返工，浪費大量的物力人力。并需要停機進行排泡，浪費光阻，且需工程師大量的時間及精力，造成生產成本的增加。
技術實現思路
有鑒于此，本技術提供一種光阻供應系統，在低成本的條件下，保證光阻中的氣泡完全排出，提高產品良率及光阻利用率。本技術實施例提供的一種光阻供應系統，其特征在于，所述光阻供應系統包括：光阻瓶，包括光阻內袋，進氣口、出液管；緩沖罐；輸入管道，所述輸入管道與所述光阻瓶的出液管相連；輸出管道，所述輸出管道位于所述緩沖罐下方；排氣管道，所述排氣管道位于所述緩沖罐上方；其中，所述輸入管道為U型，所述排氣管道與抽氣裝置相連，所述抽氣裝置在所述緩沖罐內形成負壓。進一步地，所述光阻瓶包括所述光阻內袋、所述進氣口、所述出液管，所述光阻內袋安裝在所述光阻瓶內，所述光阻瓶上方設置有所述進氣口、所述出液管，通過所述進氣口向所述光阻瓶內通惰性氣體，擠壓所述光阻內袋，所述出液管一端在所述光阻內袋內，通過所述出液管將光阻排出。進一步地，所述惰性氣體為氮氣。進一步地，所述輸入管道包括進液部分、彎折部分、出液部分，所述進液部分自上而下由所述緩沖罐上頂端通入所述緩沖罐內連接所述彎折部分，經所述彎折部分彎折后連接所述出液部分，所述出液部分自下而上設置在所述緩沖罐內。進一步地，所述進液部分、所述彎折部分、所述出液部分，至少其中之一包括多個彎折部。進一步地，所述進液部分、所述彎折部分、所述出液部分，至少其中之一呈螺旋形。進一步地，還包括檢測裝置、控制處理裝置，所述檢測裝置安裝在所述緩沖罐內上頂端面，檢測所述緩沖罐內壓強，將壓強信息反饋給所述控制處理裝置，所述控制處理裝置連接所述抽氣裝置，根據所述壓強信息控制所述抽氣裝置以保證負壓。進一步地，所述檢測裝置為氣壓感應器。進一步地，所述抽氣裝置為抽氣泵。進一步地，還包括液位計，所述液位計設置于所述緩沖罐內上頂端面。通過增大緩沖罐的體積，使光阻在緩沖罐中有足夠長的靜置時間以使氣泡排出，使用U型輸入管道，使光阻以更小的流速更穩定的狀態流入緩沖罐，利于光阻靜置排出氣泡，同時減小對已靜置光阻的沖擊影響，增加抽氣裝置在緩沖罐光阻液面上形成負壓，使光阻中的氣泡更快更全面從光阻中排出。附圖說明通過以下參照附圖對本技術實施例的描述，本技術的上述以及其它目的、特征和優點將更為清楚，在附圖中：圖1是現有技術中光阻涂布供應裝置的結構示意圖；圖2是現有技術中光阻涂布供應裝置的另一種狀態的結構示意圖；圖3是本技術的光阻供應系統的結構示意圖；圖4是本技術的另一種緩沖罐的結構示意圖；圖5是本技術的又一種緩沖罐的結構示意圖；具體實施方式以下基于實施例對本技術進行描述，但是本技術并不僅僅限于這些實施例。在下文對本技術的細節描述中，詳盡描述了一些特定的細節部分。對本領域技術人員來說沒有這些細節部分的描述也可以完全理解本技術。此外，本領域普通技術人員應當理解，在此提供的附圖都是為了說明的目的，并且附圖不一定是按比例繪制的。除非上下文明確要求，否則整個說明書和權利要求書中的“包括”、“包含”等類似詞語應當解釋為包含的含義而不是排他或窮舉的含義；也就是說，是“包括但不限于”的含義。在本技術的描述中，在本技術的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。圖3是本技術的光阻供應系統的結構示意圖。所述光阻供應系統包括光阻瓶100、緩沖罐300、輸入管道301、輸出管道302、排氣管道303。所述光阻瓶100包括光阻內袋101、進氣口102、出液管103，所述光阻內袋101安裝在所述光阻瓶100內，所述光阻瓶100上方設置有所述進氣口102、所述出液管103，所述出液管103一端在所述光阻內袋101內，通過所述進氣口102向所述光阻瓶100內通氣體，擠壓所述光阻內袋101，通過所述出液管103將光阻排出。所述氣體為惰性氣體。所述惰性氣體為氮氣。所述輸入管道301與所述光阻瓶100的出液管103相連，所述輸出管道302位于所述緩沖罐300下方，所述輸出管道302與涂刻機床噴嘴相連，將光阻涂布到玻璃基板上，所述排氣管道303位于所述緩沖罐300上方，所述排氣管303與抽氣裝置(圖中未示出)相連。所述輸入管道301為U型，包括進液部分311、彎折部分321、出液部分331，所述進液部分311自上而下由所述緩沖罐300上頂端通入所述緩沖罐300內連接所述彎折部分321，經所述彎折部分321彎折后連接所述出液部分331，所述出液部分331自下而上設置所述緩沖罐內。光阻通過所述輸入管道301自上而下進入所述緩沖罐300沿所述輸入管道301的U型路徑流動后，自下向上流入所述緩沖罐300。與圖2中的現有技術輸入管道201使光阻直接至下而上流入所述緩沖罐200的區別在于，光阻在所述輸入管道301內有更長的流動行程，其流動速度會逐漸減小，會以更小的流速更穩定的狀態流入所述緩沖罐300，減小對已靜置光阻的沖擊影響。所述排氣管303與抽氣裝置相連，所述抽氣裝置抽氣，在所述緩沖罐300光阻液面上形成負壓，使光阻中的氣泡更快更全面從光阻中排出。還可以包括檢測裝置(圖中未示出)、控制處理裝置(圖中未示出)，所述檢測裝置安裝在所述緩沖罐300內上頂端面，檢測所述緩沖罐300光阻液面壓強，將壓強信息反饋給所述控制處理裝置，所述控制處理裝置連接所述抽氣裝置，根據所述壓強信息控制所述抽氣裝置以保證負壓。所述抽氣裝置為抽氣泵。所述檢測裝置為氣壓感應器。還可以包括液位計(圖中未示出)，所述液位計設置于所述緩沖罐300內上頂端面，檢測所述光阻液面，使光阻液面與所述緩沖罐上頂端面存在空隙。所述緩沖罐300體積不小于1500毫升。緩沖罐300體積的增加，使光阻可以在所述緩沖罐300內靜置更長的時間，使光阻內的氣泡能夠充分的析出。圖4是本技術的另一種緩沖罐的結構示意圖，所述輸入管道301為U型，包括進液部分311、彎折部分321、出液部分331，所述進液部本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種光阻供應系統，其特征在于，所述光阻供應系統包括：光阻瓶(100)，包括光阻內袋(101)、進氣口(102)、出液管(103)；緩沖罐(300)；輸入管道(301)，所述輸入管道(301)與所述光阻瓶(100)的出液管(103)相連；輸出管道(302)，所述輸出管道(302)位于所述緩沖罐(300)下方；排氣管道(303)，所述排氣管道(303)位于所述緩沖罐(300)上方；其中，所述輸入管道為U型，所述排氣管道(303)與抽氣裝置相連，所述抽氣裝置在所述緩沖罐(300)內形成負壓。

【技術特征摘要】
1.一種光阻供應系統，其特征在于，所述光阻供應系統包括：光阻瓶(100)，包括光阻內袋(101)、進氣口(102)、出液管(103)；緩沖罐(300)；輸入管道(301)，所述輸入管道(301)與所述光阻瓶(100)的出液管(103)相連；輸出管道(302)，所述輸出管道(302)位于所述緩沖罐(300)下方；排氣管道(303)，所述排氣管道(303)位于所述緩沖罐(300)上方；其中，所述輸入管道為U型，所述排氣管道(303)與抽氣裝置相連，所述抽氣裝置在所述緩沖罐(300)內形成負壓。2.根據權利要求1所述的一種光阻供應系統，其特征在于，所述光阻瓶(100)包括所述光阻內袋(101)、所述進氣口(102)、所述出液管(103)，所述光阻內袋(101)安裝在所述光阻瓶(100)內，所述光阻瓶(100)上方設置有所述進氣口(102)、所述出液管(103)，通過所述進氣口(102)向所述光阻瓶(100)內通惰性氣體，擠壓所述光阻內袋(101)，所述出液管(103)一端在所述光阻內袋(101)內，通過所述出液管(103)將光阻排出。3.根據權利要求2所述的一種光阻供應系統，其特征在于，所述惰性氣體為氮氣。4.根據權利要求1所述的一種光阻供應系統，其特征在于，所述輸入管道(301)包括進液部分(311)、彎折...

【專利技術屬性】
技術研發人員：陶圓龍，
申請(專利權)人：昆山龍騰光電有限公司，
類型：新型
國別省市：江蘇;32