一種SF6開關柜的氦質譜檢漏的方法技術

本發明專利技術公開了一種SF6開關柜的氦質譜檢漏的方法，系統電氣控制通過PLC來實現，將SF6開關柜置于真空箱內，連接好SF6開關柜的抽空管道，系統自動的完成對真空箱體、SF6開關柜的抽空，待抽空完成，氦氣充注回收系統向SF6開關柜充注一定壓力的氦氣，SF6開關柜中的氦氣充注氦氣完成，開啟檢漏真空擋板閥，通過氦質譜檢漏儀顯示漏率變化，來判斷SF6開關柜密封情況，從而判斷被檢SF6開關柜密封性是否合格。同時，采用真空箱抽空與SF6開關柜抽空同時進行，并實時監測箱體與SF6開關柜的壓力，保證SF6內外壓差在一定的范圍內，從而確保了工件不會因為內外壓差過大而造成損壞。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及SF6開關柜氣密性檢測
，尤其涉及一種SF6開關柜的氦質譜檢漏的方法。
技術介紹
氣體絕緣開關柜體積小、可靠性高、運行不受外部環境影響的突出優點越來越被國內用戶所認同，但仍有許多影響產品長期運行可靠性的問題笈待解決，其中密封可靠性是充分發揮氣體絕緣開關柜優勢、保證氣體絕緣開關柜長期運行可靠性的關鍵因素。對通過出廠絕緣試驗的氣體絕緣開關柜而言，設備的絕緣性能主要由充氣單元內部氣體絕緣介質的分子密度提供保障，在正常工況條件下，氣體絕緣開關柜的內部氣壓要高于外部，在氣壓差的作用下，由于起絕緣作用的氣體介質會通過各泄漏點向外泄漏，則充氣隔室內氣體絕緣介質的密度會不斷降低，當降低到允許限值時就可能會引發絕緣事故。在SF6開關柜在出廠時，需要對開關柜的密封性進行檢測，過去一直采用SF6扣罩法檢漏，周期很長，準確率較低。特別是只有在充完SF6氣體后，才能發現是否有氣體泄漏的問題，這不僅導致返工和SF6氣體的嚴重浪費，且生產周期受到很大影響。
技術實現思路
本專利技術目的就是為了彌補已有技術的缺陷，提供一種SF6開關柜的氦質譜檢漏的方法。本專利技術是通過以下技術方案實現的：一種SF6開關柜的氦質譜檢漏的方法，包括有真空箱部分、箱體抽空部分、工件抽空部分、氦質譜檢漏部分、氦氣充注回收系統和SF6充注系統，所述的真空箱部分由真空箱體與皮拉尼真空計組成，所述的箱體抽空部分由箱體抽空泵組、箱體抽空閥及用于連接的箱體抽空管道組成，用于對真空箱體的抽空，所述的氦質譜檢漏部分由氦質譜檢漏儀、檢漏閥及用于連接管道組成，所述的工件抽空部分由工件抽空泵、工件抽空閥、用于監測工件內壓力的壓力傳感器及工件抽空管道組成；所述的皮拉尼真空計安裝在真空箱體上，SF6開關柜放在真空箱體的內部，真空箱體通過箱體抽空管道依次與箱體抽空閥和箱體抽空泵組連接，氦質譜檢漏儀通過檢漏閥和管道與箱體抽空管道連接，所述的真空箱體通過工件抽空管道依次與工件抽空閥和工件抽空泵連接，工件抽空閥連接在SF6開關柜的充氣端口，壓力傳感器連接在工件抽空管道上，氦氣充注回收系統通過氦氣充注回收閥連接在工件抽空管道上，SF6充注系統通過SF6充注閥連接在工件抽空管道上，在氦質譜檢漏儀的檢漏口連接有吸槍，在真空箱體上安裝有箱體放氣閥；將SF6開關柜置于真空箱體中，連接好SF6開關柜的抽空管道，真空箱體關門，打開工件抽空閥、箱體抽空閥，分別對SF6開關柜與真空箱體抽空，壓力傳感器、皮拉尼真空計實時監測SF6開關柜與真空箱的壓力，保證SF6開關柜的壓差在允許范圍內，確保SF6開關柜不至于壓差過大變形損壞，待真空箱體內達到檢漏壓力、SF6開關柜達到抽空壓力，關閉工件抽空閥，開啟檢漏閥，并同時開啟氦氣充注回收閥，對SF6開關柜充注氦氣，待SF6開關柜達到氦氣充注壓力，關閉氦氣充注回收閥，通過氦質譜檢漏儀顯示漏率情況來判斷SF6開關柜的密封性，若SF6開關柜的密封性合格，關閉檢漏閥、箱體抽空閥，開啟氦氣充注回收閥，對SF6開關柜中的氦氣進行回收，待SF6開關柜中氦氣達到回收壓力時，關閉氦氣充注回收閥，開啟SF6充注閥、箱體放氣閥，壓力傳感器、皮拉尼真空計實時監測SF6開關柜與真空箱的壓力，保證SF6開關柜內外壓差在允許范圍內，待SF6開關柜充注SF6達到設置壓力時，關閉SF6充注閥，真空箱體開門，取出已充注SF6的開關柜；若SF6開關柜的密封性不合格，關閉檢漏閥、箱體抽空閥，開啟氦氣充注回收閥、箱體放氣閥，分別對SF6開關柜中的氦氣進行繼續充注與真空箱體放氣，實時保證SF6開關柜內外壓差在允許范圍內，待SF6開關柜中的氦氣達到設定壓力時，關閉氦氣充注回收閥，開啟真空箱體的箱門，取出充注氦氣的SF6開關柜，使用吸槍尋找SF6開關柜的漏點。所述的箱體抽空閥、箱體抽空泵組、檢漏閥、氦質譜檢漏儀、SF6充注閥、SF6充注系統、氦氣充注回收閥、氦氣充注回收系統、壓力傳感器、工件抽空閥、工件抽空泵、皮拉尼真空計和吸搶均與PLC控制系統連接。本專利技術的優點是：本專利技術電氣控制通過PLC來實現，只要將SF6開關柜置于真空箱中，系統自動完成對SF6開關柜密封性定量性檢測，能快速、有效、準確檢測SF6開關柜氣密性。檢測合格系統即可對SF6開關柜進行SF6的充注。在檢測SF6的過程對使用的氦氣實施回收，可以再次或多次使用，節約了能源，降低設備的使用成本。在系統檢測運行時，箱體抽空與SF6開關柜抽空同時進行，并實時監測箱體與SF6開關柜的壓力，保證SF6內外壓差在一定的范圍內（如：30000Pa內、50000Pa內），避免SF6開關柜在檢測過程中出現超壓變形損壞，做到無損檢測。對于密封性不合格的SF6開關柜，使用吸槍進行查找并確定SF6開關柜的漏點。附圖說明圖1為本專利技術的工作原理圖。具體實施方式如圖1所示，一種SF6開關柜的氦質譜檢漏的方法，包括有真空箱部分、箱體抽空部分、工件抽空部分、氦質譜檢漏部分、氦氣充注回收系統6和SF6充注系統7，所述的真空箱部分由真空箱體1與皮拉尼真空計14組成，所述的箱體抽空部分由箱體抽空泵組4、箱體抽空閥9及用于連接的箱體抽空管道15組成，用于對真空箱體1的抽空，所述的氦質譜檢漏部分由氦質譜檢漏儀5、檢漏閥10及用于連接管道組成，所述的工件抽空部分由工件抽空泵3、工件抽空閥8、用于監測工件內壓力的壓力傳感器13及工件抽空管道16組成；所述的皮拉尼真空計14安裝在真空箱體1上，SF6開關柜2放在真空箱體1的內部，真空箱體1通過箱體抽空管道15依次與箱體抽空閥9和箱體抽空泵組4連接，氦質譜檢漏儀5通過檢漏閥10和管道與箱體抽空管道15連接，所述的真空箱體1通過工件抽空管道16依次與工件抽空閥8和工件抽空泵3連接，工件抽空閥8連接在SF6開關柜2的充氣端口，壓力傳感器13連接在工件抽空管道16上，氦氣充注回收系統6通過氦氣充注回收閥11連接在工件抽空管道16上，SF6充注系統7通過SF6充注閥12連接在工件抽空管道16上，在氦質譜檢漏儀5的檢漏口連接有吸槍17，在真空箱體1上安裝有箱體放氣閥18；將SF6開關柜2置于真空箱體1中，連接好SF6開關柜2的抽空管道，真空箱體1關門，打開工件抽空閥8、箱體抽空閥9，分別對SF6開關柜2與真空箱體1抽空，壓力傳感器13、皮拉尼真空計14實時監測SF6開關柜2與真空箱1的壓力，保證SF6開關柜2的壓差在允許范圍內，確保SF6開關柜2不至于壓差過大變形損壞，待真空箱體1內達到檢漏壓力、SF6開關柜2達到抽空壓力，關閉工件抽空閥8，開啟檢漏閥10，并同時開啟氦氣充注回收閥11，對SF6開關柜2充注氦氣，待SF6開關柜2達到氦氣充注壓力，關閉氦氣充注回收閥11，通過氦質譜檢漏儀5顯示漏率情況來判斷SF6開關柜2的密封性，若SF6開關柜的密封性合格，關閉檢漏閥、箱體抽空閥，開啟氦氣充注回收閥，對SF6開關柜2中的氦氣進行回收，待SF6開關柜2中氦氣達到回收壓力時，關閉氦氣充注回收閥11，開啟SF6充注閥12、箱體放氣閥18，壓力傳感器13、皮拉尼真空計14實時監測SF6開關柜2與真空箱1的壓力，保證SF6開關柜2內外壓差在允許范圍內，待SF6開關柜2充注SF6達到設置壓力時，關閉SF6充注閥12，真空箱體1開門，取出已充注SF6的開關柜；若S本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種SF6開關柜的氦質譜檢漏的方法，其特征在于：包括有真空箱部分、箱體抽空部分、工件抽空部分、氦質譜檢漏部分、氦氣充注回收系統和SF6充注系統，所述的真空箱部分由真空箱體與皮拉尼真空計組成，所述的箱體抽空部分由箱體抽空泵組、箱體抽空閥及用于連接的箱體抽空管道組成，用于對真空箱體的抽空，所述的氦質譜檢漏部分由氦質譜檢漏儀、檢漏閥及用于連接管道組成，所述的工件抽空部分由工件抽空泵、工件抽空閥、用于監測工件內壓力的壓力傳感器及工件抽空管道組成；所述的皮拉尼真空計安裝在真空箱體上，SF6開關柜放在真空箱體的內部，真空箱體通過箱體抽空管道依次與箱體抽空閥和箱體抽空泵組連接，氦質譜檢漏儀通過檢漏閥和管道與箱體抽空管道連接，所述的真空箱體通過工件抽空管道依次與工件抽空閥和工件抽空泵連接，工件抽空閥連接在SF6開關柜的充氣端口，壓力傳感器連接在工件抽空管道上，氦氣充注回收系統通過氦氣充注回收閥連接在工件抽空管道上，SF6充注系統通過SF6充注閥連接在工件抽空管道上，在氦質譜檢漏儀的檢漏口連接有吸槍，在真空箱體上安裝有箱體放氣閥；將SF6開關柜置于真空箱體中，連接好SF6開關柜的抽空管道，真空箱體關門，打開工件抽空閥、箱體抽空閥，分別對SF6開關柜與真空箱體抽空，壓力傳感器、皮拉尼真空計實時監測SF6開關柜與真空箱的壓力，保證SF6開關柜的壓差在允許范圍內，確保SF6開關柜不至于壓差過大變形損壞，待真空箱體內達到檢漏壓力、SF6開關柜達到抽空壓力，關閉工件抽空閥，開啟檢漏閥，并同時開啟氦氣充注回收閥，對SF6開關柜充注氦氣，待SF6開關柜達到氦氣充注壓力，關閉氦氣充注回收閥，通過氦質譜檢漏儀顯示漏率情況來判斷SF6開關柜的密封性，若SF6開關柜的密封性合格，關閉檢漏閥、箱體抽空閥，開啟氦氣充注回收閥，對SF6開關柜中的氦氣進行回收，待SF6開關柜中氦氣達到回收壓力時，關閉氦氣充注回收閥，開啟SF6充注閥、箱體放氣閥，壓力傳感器、皮拉尼真空計實時監測SF6開關柜與真空箱的壓力，保證SF6開關柜內外壓差在允許范圍內，待SF6開關柜充注SF6達到設置壓力時，關閉SF6充注閥，真空箱體開門，取出已充注SF6的開關柜；若SF6開關柜的密封性不合格，關閉檢漏閥、箱體抽空閥，開啟氦氣充注回收閥、箱體放氣閥，分別對SF6開關柜中的氦氣進行繼續充注與真空箱體放氣，實時保證SF6開關柜內外壓差在允許范圍內，待SF6開關柜中的氦氣達到設定壓力時，關閉氦氣充注回收閥，開啟真空箱體的箱門，取出充注氦氣的SF6開關柜，使用吸槍尋找SF6開關柜的漏點。...

【技術特征摘要】
1.一種SF6開關柜的氦質譜檢漏的方法，其特征在于：包括有真空箱部分、箱體抽空部分、工件抽空部分、氦質譜檢漏部分、氦氣充注回收系統和SF6充注系統，所述的真空箱部分由真空箱體與皮拉尼真空計組成，所述的箱體抽空部分由箱體抽空泵組、箱體抽空閥及用于連接的箱體抽空管道組成，用于對真空箱體的抽空，所述的氦質譜檢漏部分由氦質譜檢漏儀、檢漏閥及用于連接管道組成，所述的工件抽空部分由工件抽空泵、工件抽空閥、用于監測工件內壓力的壓力傳感器及工件抽空管道組成；所述的皮拉尼真空計安裝在真空箱體上，SF6開關柜放在真空箱體的內部，真空箱體通過箱體抽空管道依次與箱體抽空閥和箱體抽空泵組連接，氦質譜檢漏儀通過檢漏閥和管道與箱體抽空管道連接，所述的真空箱體通過工件抽空管道依次與工件抽空閥和工件抽空泵連接，工件抽空閥連接在SF6開關柜的充氣端口，壓力傳感器連接在工件抽空管道上，氦氣充注回收系統通過氦氣充注回收閥連接在工件抽空管道上，SF6充注系統通過SF6充注閥連接在工件抽空管道上，在氦質譜檢漏儀的檢漏口連接有吸槍，在真空箱體上安裝有箱體放氣閥；將SF6開關柜置于真空箱體中，連接好SF6開關柜的抽空管道，真空箱體關門，打開工件抽空閥、箱體抽空閥，分別對SF6開關柜與真空箱體抽空，壓力傳感器、皮拉尼真空計實時監測SF6開關柜與真空箱的壓力，保證SF6開關柜的壓差在允許范圍內，確保SF6開關柜不至于壓差過大變形損壞，待真...

【專利技術屬性】
技術研發人員：朱長平，
申請(專利權)人：安徽皖儀科技股份有限公司，
類型：發明
國別省市：安徽;34