一種真空鍍膜設備觀察窗制造技術

本實用新型專利技術提出的一種真空鍍膜設備觀察窗，包括窗框、由強化玻璃制成的透鏡和透鏡固定框，透鏡設置于窗框和透鏡固定框之間，窗框和透鏡固定框通過螺栓固接，窗框內設有循環冷卻結構和遮板結構，循環冷卻結構包括循環通道、冷水進口和冷水出口，遮板結構包括轉動桿、遮板和把手，冷水進口和冷水出口通過管接頭與冷卻水管理連接，對觀察窗整體進行不間斷的降溫，窗框與透鏡固定框連接穩固，密封良好，遮板設置于觀察窗靠內一側，可有效阻隔真空鍍膜設備內的離子外漏，在需要觀察時，拉動把手，即可實現遮板轉動，松下把手，遮板在重力作用下，自動歸位，把手外套合有硅橡膠隔熱套管，可阻隔熱量，具有耐高溫、密封好、使用壽命長的特點。

Observation window for vacuum coating equipment

A vacuum coating equipment, the observation window provided by the utility model comprises a window frame, by strengthening the lens and a lens fixing frame made of glass, the lens is arranged between the window frame and the lens fixing frame, the window frame and the lens fixing frame through a bolt is fixedly connected with the window frame, is arranged in the cooling structure and cover plate structure, cooling structure includes a circulation channel and the cold water inlet and outlet of cold water, cover plate structure comprises a rotating rod and a cover plate and a handle, a cold water inlet and water outlet through a pipe joint is connected with the cooling water management, the overall observation window to cool uninterrupted, the window frame and the lens fixing frame is firmly connected, good sealing cover plate is arranged on the inner side by the observation window. Can effectively prevent ion leakage in vacuum coating equipment, pulling the handle in the need to observe, and can realize the rotation of cover plate Panasonic handle cover plate under the action of gravity The utility model has the advantages of high temperature resistance, good sealing performance and long service life. The utility model has the advantages of high temperature resistance, good sealing performance and long service life.

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及一種真空鍍膜設備觀察窗。
技術介紹
真空鍍膜設備主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。其中，在進行真空離子蒸發時，真空鍍膜設備的觀察窗多會伴隨著高溫，導致觀察窗變模糊，影響外部人員觀察，同時由于真空鍍膜設備的工作特性，幾乎很長時間內，不會停機，觀察窗透鏡的使用壽命會由于高溫影響，急劇縮短，如發生碎裂，會嚴重影響設備內部的真空度，進而影響鍍膜效果。
技術實現思路
針對上述問題，本技術提出了一種真空鍍膜設備觀察窗。為解決以上技術問題，本技術提供的技術方案是:一種真空鍍膜設備觀察窗，其特征在于，包括窗框、由強化玻璃制成的透鏡和透鏡固定框，所述透鏡設置于窗框和透鏡固定框之間，窗框和透鏡固定框通過螺栓固接；所述窗框為中空結構，并呈圓環形，窗框內設有循環冷卻結構和遮板結構，所述循環冷卻結構包括循環通道、冷水進口和冷水出口，所述循環通道位于窗框內，呈圓環形，并與窗框同心設置，所述冷水進口和冷水出口分別對稱設置于窗框的上部和下部，并貫通循環通道，冷水進口和冷水出口處設有與窗框端面垂直的2個管接頭，所述遮板結構設置于窗框上部偏右側，包括轉動桿、遮板和把手，所述轉動桿水平自窗框上部偏右側貫穿窗框，包括固定部和轉動部，所述固定部位于窗框內，所述轉動部位于窗框外，所述把手與轉動部垂直固接，所述遮板通過螺栓與固定部固接；所述窗框一側的端面上設有截面呈方形、整體呈圓環形的凹槽，所述凹槽內設有呈圓環形的密封膠圈，所述透鏡固定框呈圓環形，通過螺栓與窗框固接，透鏡與密封膠圈緊密貼合，透鏡固定框中部開有觀察口，上部和下部對稱設有呈圓弧形的管接頭缺口，供管接頭安裝用，所述觀察口呈圓形；進一步的，所述轉動桿與窗框之間設有密封圈；進一步的，所述窗框的外徑為D1，所述透鏡固定框的外徑為D2，所述D1：D2=1:0.7；進一步的，所述透鏡呈圓形，其直徑為D3，所述透鏡固定框的內徑為D4，所述D3：D4=1:0.8；進一步的，所述把手外套合有硅橡膠隔熱套管。本技術的有益效果為：本技術提出的一種真空鍍膜設備觀察窗，其結構簡單，設計合理，具有耐高溫、密封好、使用壽命長的特點，冷水進口和冷水出口通過管接頭與冷卻水管理連接，對觀察窗整體進行不間斷的降溫，窗框與透鏡固定框連接穩固，密封良好，遮板設置于觀察窗靠內一側，可有效阻隔真空鍍膜設備內的離子外漏，在需要觀察時，拉動把手，即可實現遮板轉動，松下把手，遮板在重力作用下，自動歸位，把手外套合有硅橡膠隔熱套管，可阻隔熱量。附圖說明圖1本技術示意圖。圖2A-A向剖視圖。圖3B-B向剖視圖。圖4C-C向剖視圖。具體實施方式一種真空鍍膜設備觀察窗，其特征在于，包括窗框1、由強化玻璃制成的透鏡2和透鏡固定框3，所述透鏡2設置于窗框1和透鏡固定框3之間，窗框1和透鏡固定框3通過螺栓固接；所述窗框1為中空結構，并呈圓環形，窗框1內設有循環冷卻結構4和遮板結構5，所述循環冷卻結構4包括循環通道6、冷水進口7和冷水出口8，所述循環通道6位于窗框1內，呈圓環形，并與窗框1同心設置，所述冷水進口7和冷水出口8分別對稱設置于窗框1的上部和下部，并貫通循環通道6，冷水進口7和冷水出口8處設有與窗框端面垂直的2個管接頭9，所述遮板結構5設置于窗框1上部偏右側，包括轉動桿10、遮板11和把手12，所述轉動桿10水平自窗框1上部偏右側貫穿窗框1，包括固定部13和轉動部14，所述固定部13位于窗框1內，所述轉動部14位于窗框1外，所述把手12與轉動部14垂直固接，所述遮板11通過螺栓與固定部13固接；所述窗框1一側的端面上設有截面呈方形、整體呈圓環形的凹槽15，所述凹槽15內設有呈圓環形的密封膠圈16，所述透鏡固定框3呈圓環形，通過螺栓與窗框1固接，透鏡2與密封膠圈16緊密貼合，透鏡固定框3中部開有觀察口17，上部和下部對稱設有呈圓弧形的管接頭缺口18，供管接頭9安裝用，所述觀察口17呈圓形；其中，所述轉動桿10與窗框1之間設有密封圈19，所述窗框1的外徑為D1，所述透鏡固定框3的外徑為D2，所述D1：D2=1:0.7，所述透鏡2呈圓形，其直徑為D3，所述透鏡固定框3的內徑為D4，所述D3：D4=1:0.8，所述把手12外套合有硅橡膠隔熱套管20。本技術提出的一種真空鍍膜設備觀察窗，其結構簡單，設計合理，具有耐高溫、密封好、使用壽命長的特點，冷水進口和冷水出口通過管接頭與冷卻水管理連接，對觀察窗整體進行不間斷的降溫，窗框與透鏡固定框連接穩固，密封良好，遮板設置于觀察窗靠內一側，可有效阻隔真空鍍膜設備內的離子外漏，在需要觀察時，拉動把手，即可實現遮板轉動，松下把手，遮板在重力作用下，自動歸位，把手外套合有硅橡膠隔熱套管，可阻隔熱量。以上所述，僅為本技術較佳的具體實施方式，但本技術的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本
的技術人員在本技術揭露的技術范圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本技術的保護范圍內。因此，本技術的保護范圍應該以權利要求書的保護范圍為準。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種真空鍍膜設備觀察窗，其特征在于，包括窗框、由強化玻璃制成的透鏡和透鏡固定框，所述透鏡設置于窗框和透鏡固定框之間，窗框和透鏡固定框通過螺栓固接。

【技術特征摘要】
1.一種真空鍍膜設備觀察窗，其特征在于，包括窗框、由強化玻璃制成的透鏡和透鏡固定框，所述透鏡設置于窗框和透鏡固定框之間，窗框和透鏡固定框通過螺栓固接。
2.如權利要求1所述的一種真空鍍膜設備觀察窗，其特征在于，所述窗框為中空結構，并呈圓環形，窗框內設有循環冷卻結構和遮板結構，所述循環冷卻結構包括循環通道、冷水進口和冷水出口，所述循環通道位于窗框內，呈圓環形，并與窗框同心設置，所述冷水進口和冷水出口分別對稱設置于窗框的上部和下部，并貫通循環通道，冷水進口和冷水出口處設有與窗框端面垂直的2個管接頭，所述遮板結構設置于窗框上部偏右側，包括轉動桿、遮板和把手，所述轉動桿水平自窗框上部偏右側貫穿窗框，包括固定部和轉動部，所述固定部位于窗框內，所述轉動部位于窗框外，所述把手與轉動部垂直固接，所述遮板通過螺栓與固定部固接。
3.如權利要求1所述的一種真空鍍膜設備觀察窗，...

【專利技術屬性】
技術研發人員：李亞軍，
申請(專利權)人：鎮江超威納米科技有限公司，
類型：新型
國別省市：江蘇;32