一種可變電阻器及包含該可變電阻器的集成電路制造技術(shù)

一種可變電阻器，包括第一滑動觸頭和第一電阻，所述第一電阻兩端分別為第一端點和第二端點，所述第一滑動觸頭在所述第一端點和第二端點之間滑動，所述可變電阻器進(jìn)一步包括：第二電阻，所述第二電阻的兩端分別為第三端點和第四端點；第二滑動觸頭和第三滑動觸頭，所述第二滑動觸頭與所述第一端點連接，所述第三滑動觸頭與所述第二端點連接，所述第二滑動觸頭和第三滑動觸頭分別在所述第三端點和第四端點之間滑動；所述第二電阻兩端的電阻值遠(yuǎn)大于第三電阻兩端的電阻值。通過設(shè)置多個電阻和觸頭，電阻不必分割成極小單位，特性的一致性在工藝上易實現(xiàn)體現(xiàn)了可變電阻的高精度可調(diào)節(jié)性。

Variable resistor and integrated circuit including the same

A variable resistor comprises a first sliding contact and the first resistor, the two ends of the first resistor are respectively the first and second end points, the first sliding contact between the first and second end points of sliding, the variable resistor further comprises second resistors, two ends of the second resistance were third points and fourth endpoint; second sliding contact and sliding contact third, connecting the second sliding contact with the first end, the third sliding contact is connected to the second end, the second and third sliding contact sliding contact sliding respectively between the third and fourth end points; the two ends of the resistance of the second resistor the resistance is far greater than the third resistor value. By setting a plurality of resistors and contacts, the resistance does not have to be divided into a small unit, the characteristics of the consistency of the process is easy to achieve a high degree of accuracy of variable resistance.

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術(shù)涉及集成電路領(lǐng)域，進(jìn)一步的涉及一種可變電阻器以及包含該可變電阻器的集成電路。
技術(shù)介紹
可變電阻器通常稱為電位器，在電子技術(shù)的應(yīng)用中，主要用于調(diào)節(jié)電流和電壓。在集成電路制備工藝?yán)铮勺冸娮杵鞯姆直媛蕚涫荜P(guān)注，分辨率為滑動可變電阻器的滑動出頭所能引起的最小數(shù)值變化，采用刻蝕金屬電阻元件的電阻器往往存在分辨率低，調(diào)整精度不能保證的問題。如圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)的可變電阻器往往具有一個滑動觸頭c，兩個端點a和b，構(gòu)建圖1的電阻結(jié)構(gòu)，為達(dá)到高精度的可變量，需要在ab之間分割出極小的單位電阻，才能在c點實現(xiàn)微小變量，這在集成電路制造中加大了各單位電阻的特性一致的難度，增加了工藝成本。
技術(shù)實現(xiàn)思路
有鑒于此，本專利技術(shù)的目的在于提出一種可變電阻器及含該可變電阻器的集成電路，以克服現(xiàn)有技術(shù)可變電阻器精度低、電阻特性一致難度高等缺點。為達(dá)到上述目的，本專利技術(shù)提供一種可變電阻器，包括第一滑動觸頭和第一電阻，所述第一電阻兩端分別為第一端點和第二端點，所述第一滑動觸頭在所述第一端點和第二端點之間滑動，其中，所述可變電阻器進(jìn)一步包括：第二電阻，所述第二電阻的兩端分別為第三端點和第四端點；第二滑動觸頭和第三滑動觸頭，所述第二滑動觸頭與所述第一端點連接，所述第三滑動觸頭與所述第二端點連接，所述第二滑動觸頭和第三滑動觸頭分別在所述第三端點和第四端點之間滑動，所述第一電阻兩端的電阻值遠(yuǎn)大于所述第二電阻兩端的電阻值。根據(jù)本專利技術(shù)的一種具體實施方案，所述可變電阻器進(jìn)一步包括第三電阻，所述第三電阻的兩端分別為第五端點和第六端點；所述可變電阻器還包括第四滑動觸頭和第五滑動觸頭，所述第四滑動觸頭與所述第三端點連接，所述第五滑動觸頭與所述第四端點連接，所述第四滑動觸頭和第五滑動觸頭分別在所述第五端點和第六端點之間滑動。而且本專利技術(shù)提供一種可變電阻器，包括第一觸點、第一電阻和第二電阻，所述第一電阻兩端為第一端點和第二端點，所述第二電阻兩端為第三端點和第四端點，其中所述第一電阻通過內(nèi)部N-1個端點將其分為N段電阻，N為2以上的自然數(shù)，所述N-1個端點分別連接開關(guān)元件，各開關(guān)元件再連接第一觸點，；所述第二電阻通過內(nèi)部M-1個端點將其分為M段電阻，M為2以上的自然數(shù)，所述M-1個端點中，從離第二電阻的第三端點最近的端點彼此間隔一個端點的若干端點分別連接開關(guān)元件，各開關(guān)元件再連接第一端點，所述M-1個端點中的其它端點分別連接開關(guān)元件，各開關(guān)元件再連接第二端點；所述第一電阻電阻值遠(yuǎn)大于第二電阻電阻值。根據(jù)本專利技術(shù)的一種具體實施方案，所述N段電阻的電阻值相等。根據(jù)本專利技術(shù)的一種具體實施方案，所述M段電阻的阻值相等。根據(jù)本專利技術(shù)的一種具體實施方案，所述開關(guān)元件為選通MOS管。另外，本專利技術(shù)還提供一種集成電路，包括以上任意一項方案所述的可變電阻器。根據(jù)以上技術(shù)方案，本專利技術(shù)的可變電阻器以及包含該可變電阻器的集成電路的有益效果在于：(1)通過設(shè)置多個電阻和滑動觸頭，電阻不必分割成極小單位，特性的一致性在工藝上易實現(xiàn)，體現(xiàn)了可變電阻的高精度可調(diào)節(jié)性；(2)通過設(shè)置在半導(dǎo)體多層設(shè)置電阻，降低了半導(dǎo)體刻蝕工藝中對電阻精度的要求；(3)通過將電阻設(shè)置為多個等份，且第一電阻值遠(yuǎn)大于第二電阻值，第二電阻值遠(yuǎn)大于第三電阻值，實現(xiàn)了電阻值的高度可控性。附圖說明圖1是現(xiàn)有技術(shù)中可變電阻器的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本專利技術(shù)實施例1的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本專利技術(shù)實施例2的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4是本專利技術(shù)實施例3的電路圖。圖5是本專利技術(shù)實施例4的電路圖。具體實施方式本專利技術(shù)中的技術(shù)術(shù)語或符號具有如下含義：“遠(yuǎn)大于”或者“＞＞”表示數(shù)值差距20倍以上，舉例來說如A，B為正數(shù)，如果A/B大于20，則A遠(yuǎn)大于B或者A＞＞B；“連接”一詞是指電路端點或者元件相互之間的直接連接或者間接連接。例如，第二滑動觸頭與所述第一端點連接是指第二滑動觸頭直接與第一端點連接或者第二滑動觸頭連接其它元件后再連接第一端點。為使本專利技術(shù)的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合具體實施例，并參照附圖，對本專利技術(shù)作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。實施例1如圖2所示，本專利技術(shù)實施例1提供一種新型高精度可變電阻器結(jié)構(gòu)，可變觸點為cde三個觸點，第二電阻的兩端為a和b，1、設(shè)定Rcd遠(yuǎn)大于Rab，Rab均分成n份，Rcd均分成m份，m和n為正整數(shù)，設(shè)定觸點cd在Rab上的電阻僅是1份；2、觸點c位置變化，最小的變量是Rab/n；3、觸點cd位置變化，在Rab上的變量是固定量，是Rab/n；觸點e位置變化，在Rcd上的最小變量是Rcd/m，疊加到Rab上的最小變量就是Rab/mn，改變觸點e的位置能夠提高可變電阻器的最小精度。在半導(dǎo)體領(lǐng)域中，通過構(gòu)建雙層的可變電阻結(jié)構(gòu)，從結(jié)構(gòu)設(shè)計上大大降低電阻刻蝕的精度和一致性要求，并且獲得高精度的可變量。實施例21、如圖3所示，本專利技術(shù)實施例2提供一種新型高精度可變電阻器結(jié)構(gòu)，可變觸點為cde三個觸點，第二電阻的兩端為a和b，選用Ref＞＞Rcd＞＞Rab；設(shè)定Rab均分成n份，Rcd均分成m份，Ref均分成p份；設(shè)定觸點cd在Rab上的電阻僅是1份，觸點ef在Rcd上的電阻也僅是1份。2、圖3，觸點cd位置變化，在Rab上的變量是固定量，是Rab/n；觸點ef位置變化，在Rcd上的變量也是固定量，是Rcd/m；觸點g位置變化，在Ref上的最小變量是Ref/p，疊加到Rcd上的最小變量就是Rcd/mp，再疊加到Rab上的最小變量就是Rab/mnp。在半導(dǎo)體領(lǐng)域中，通過構(gòu)建三層的可變電阻結(jié)構(gòu)，從結(jié)構(gòu)設(shè)計上大大降低電阻刻蝕的精度和一致性要求，并且獲得高精度的可變量。實施例3圖4中，開關(guān)k1，一端接e，另一端接R1的一端和R2的一端，R1另一端接c；開關(guān)k2，一端接e，另一端接R2的另一端和R3的一端；開關(guān)k3，一端接e，另一端接R3的另一端和R4的一端，R4的另一端接d。開關(guān)k4，一端接c，另一端接R5的一端和R6的一端，R5另一端接a；開關(guān)接k5，一端接d，另一端接R6的另一端和R7的一端；開關(guān)k6，一端接c，另一端接R7的另一端和R8的一端；開關(guān)接k7，一端接d，另一端接R8的另一端和R9的一端；開關(guān)k8，一端接c，另一端接R9的另一端和R10的一端；開關(guān)k9，一端接d，另一端接R10的另一端和R11的一端；開關(guān)k10本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點】
一種可變電阻器，包括第一滑動觸頭和第一電阻，所述第一電阻兩端分別為第一端點和第二端點，所述第一滑動觸頭在所述第一端點和第二端點之間滑動，其特征在于，所述可變電阻器還包括：第二電阻，所述第二電阻的兩端分別為第三端點和第四端點；第二滑動觸頭和第三滑動觸頭，所述第二滑動觸頭與所述第一端點連接，所述第三滑動觸頭與所述第二端點連接，所述第二滑動觸頭和第三滑動觸頭分別在所述第三端點和第四端點之間滑動；所述第一電阻的電阻值遠(yuǎn)大于第二電阻的電阻值。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種可變電阻器，包括第一滑動觸頭和第一電阻，所述第一電阻
兩端分別為第一端點和第二端點，所述第一滑動觸頭在所述第一端點和第
二端點之間滑動，其特征在于，所述可變電阻器還包括：
第二電阻，所述第二電阻的兩端分別為第三端點和第四端點；
第二滑動觸頭和第三滑動觸頭，所述第二滑動觸頭與所述第一端點連
接，所述第三滑動觸頭與所述第二端點連接，所述第二滑動觸頭和第三滑
動觸頭分別在所述第三端點和第四端點之間滑動；
所述第一電阻的電阻值遠(yuǎn)大于第二電阻的電阻值。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可變電阻器，其特征在于，所述可變電阻
器進(jìn)一步包括第三電阻，所述第三電阻的兩端分別為第五端點和第六端點；
所述可變電阻器還包括第四滑動觸頭和第五滑動觸頭，所述第四滑動觸頭
與所述第三端點連接，所述第五滑動觸頭與所述第四端點連接，所述第四
滑動觸頭和第五滑動觸頭分別在所述第五端點和第六端點之間滑動；
所述第二電阻的電阻值遠(yuǎn)大于第三電阻的電阻值。
3.一種可變電阻器，包括第一觸點、第一電阻和第二電阻，所述第
一電阻兩端為第一端點和第二端點，所述第二電阻兩...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：李文昌，劉征，
申請(專利權(quán))人：中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所，
類型：發(fā)明
國別省市：北京;11