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    可熱處理的涂覆玻璃板制造技術

    技術編號:14558823 閱讀:177 留言:0更新日期:2017-02-05 13:44
    制造涂覆玻璃板的方法,依次包括以下步驟:a)提供玻璃基材,b)采用四異丙氧基鈦(TTIP)作為前體,通過化學氣相沉積(CVD)在該玻璃基材的表面上沉積至少一個CVD涂層,及c)通過物理氣相沉積(PVD)在所述至少一個CVD涂層上沉積至少一個PVD涂層。

    【技術實現步驟摘要】
    【國外來華專利技術】本專利技術涉及制造具有低發射率(low-e)和/或陽光控制涂層的可熱處理的涂覆玻璃板的方法。本專利技術還涉及通過所述方法生產的涂覆玻璃板。對于大量應用領域(例如對于建筑或機動車窗玻璃),需要被強化以賦予安全性質和/或被彎曲的經熱處理的玻璃板。已知對于熱強化和/或彎曲的玻璃板,有必要通過如下方式處理該玻璃板:在接近或高于所用玻璃的軟化點的溫度下熱處理,并隨后通過快速冷卻來強化該玻璃板或借助于彎曲裝置彎曲該玻璃板。鈉鈣硅類型的標準浮法玻璃的相關溫度范圍一般是約580-690℃,在開始實際強化和/或彎曲工藝之前,將該玻璃板保持在這一溫度范圍內幾分鐘。在以下說明書及權利要求書中的“熱處理”、“經熱處理的”、“可熱處理的”是指例如上述的熱彎曲和/或強化工藝,以及其它熱工藝,在該其它熱工藝期間,涂覆玻璃板達到在約580-690℃的范圍內的溫度持續幾分鐘的時間,例如持續長達約10分鐘。如果涂覆玻璃板經熱處理后沒有明顯損傷(由熱處理引起的典型損傷是高霧度值、小孔或斑點),則認為該涂覆玻璃板是可熱處理的。值得注意的是,當表征低發射率和/或陽光控制涂層的可熱處理性時通常提及的參數“霧度”經常不充分,因為其不完全反映在涂覆玻璃板的涂覆、熱處理、加工和/或處置過程中可產生的所有類型的缺陷。一些已知的可熱處理的涂覆玻璃板顯示了在熱處理過程中它們的光學性質并且特別是它們的反射顏色的顯著和清晰可見的改變。在熱處理期間保持該板的熱性質也是合適的,且這可以由保持類似的薄層電阻或在一些情況下獲得更低水平的薄層電阻來表征。可以通過物理氣相沉積(PVD)工藝(例如濺射)來沉積低發射率和/或陽光控制涂層。濺射的低發射率和陽光控制涂層堆疊體通常是由基材/基底介電層序列/(Ag/介電層序列)n的重復序列組成,其中各個n介電層序列不必具有同樣的厚度或組成。由于在可強化涂層中對于額外的層的需要和對于三重銀陽光控制堆疊體的潛在傾向,濺射涂層堆疊體在其屬性上變得更為復雜。因此,目前在工業中更常見的n等于2或3。因為與金屬層相比,介電層通常更厚且沉積更慢,所以在生產涂層的設備中,具有大量這種層的堆疊體需要大量的陰極。之前,復雜的涂層堆疊體具有涂覆設備的所需要的附加物以獲得足夠數量的陰極,從而以足夠的數量和順序制造不同材料。為了允許多重反應過程順序進行,在附加物中不得不包括額外的泵送部分。這樣做會有巨大開支和長時間的中斷,因為涂覆生產線需要為工程安裝而停止延長的時間段。每個新的陰極和泵送部分還需要配套電源、真空泵、傳送器部分、輔助裝置、儀器設備并且集成到控制系統中。這也可能帶來下游后勤(logistics)的重構與甚至可能是新的土建工作或建筑物擴充。由于三重銀堆疊體(n=3)和甚至四重銀堆疊體(n=4)變得越來越常見,這些問題可能產生。為了減輕現有技術中的這些問題已經存在一些嘗試。WO2012052749A1描述了一種用于生產涂覆玻璃的方法,其包括在玻璃基材的至少一個表面上沉積化學氣相沉積(CVD)涂層以生產CVD涂覆玻璃,及在該CVD涂覆玻璃的表面上濺射沉積另外的涂層,其中該另外的涂層包含至少三個反射性金屬層。該CVD底涂層優選是外涂覆有鈦氧化物層的硅氧化物層。然而,實施例在熱處理時呈現出高水平的霧度,且在熱處理之前和之后均呈現出低水平的可見光透光率(參見第7頁,表3)。WO00/32530A1描述了一種用于生產可熱處理的低發射率涂覆玻璃的方法,包括步驟:a)在玻璃基材上沉積底層,及b)隨后通過真空沉積方法沉積反射性金屬層,其特征在于:通過熱解沉積工藝沉積該底層。實施例采用氧碳化硅底層,且在熱處理(HT)之前呈現出從73.2至76.3%的可見光透光率值,且在HT之后呈現出從74.9至78.2%的可見光透光率值。實施例的發射率值在HT之前是從0.060至0.076,且在HT之后是從0.065至0.072。所需的是,提供用于制造涂覆窗玻璃的方法,其減輕上述問題且得到與現有技術工藝相比呈現出改進的光學性質的窗玻璃。根據本專利技術的第一方面,提供了制造涂覆玻璃板的方法,該方法依次包括以下步驟:a)提供玻璃基材,b)采用四異丙氧基鈦(TTIP)作為前體,通過化學氣相沉積(CVD)在該玻璃基材的表面上沉積至少一個CVD涂層,及c)通過物理氣相沉積(PVD)在所述至少一個CVD涂層上沉積至少一個PVD涂層。令人驚奇地發現,與通過上述現有技術工藝獲得的板相比,在本專利技術的方法中采用TTIP作為前體能生產出在熱處理之前和之后均呈現出改進的光學特性的涂覆板。此外,采用TTIP作為前體提供了可易于熱處理的CVD涂層,而如果通過PVD沉積基于鈦氧化物(TiOx)的層,則這會導致對于具有厚于約5nm的層的板在HT時不可接受的霧度。此外,由于足夠的堿阻擋性能,本專利技術可避免使用基于氮化物的層作為下減反射層的基底層的需求。這是有利的,因為氮化物層的沉積需要氮氣氛,且因此后續的基于氧化物的層的沉積會需要較長的涂覆器以保證氣體分離。此外,采用TTIP作為前體避免了與在玻璃上直接沉積氯化物(例如TiCl4)相關的缺點,其也是困難的,可導致NaCl的形成且因此導致可造成較差阻擋性能的針孔的形成。本專利技術的方法還具有以下益處:允許通過CVD而非PVD制造多層涂層堆疊體的基底涂層,這減少了所需的陰極數量。因此,本專利技術避免了對于與在低發射率和/或陽光控制涂層中使用的下介電層相關的至少大部分陰極的需求。這可釋放陰極,以用于以較高的速率沉積其它層或向堆疊體添加額外的層以提高其復雜性。在本專利技術以下的討論中,除非有相反說明,否則與所述值之一比另一個值更高度優選的指示結合的參數所允許的范圍的上限或下限的替代值的公開應視為隱含說明:位于較多優選和較少優選的所述替代物之間的所述參數的每個中間值本身相對于所述較少優選的值并且還相對于位于所述較少優選的值和所述中間值之間的每個值為優選的。在本專利技術的上下文中,在據說層為“基于”特定的一種材料或多種材料時,這意味著該層主要由相應的所述一種材料或多種材料組成,這通常意味著它包含至少50原子%的所述一種材料或多種材料。優選在一種或多種含氧物質的存在中沉積該CVD涂層。優選所述一種或多種含氧物質包含含有機氧的化合物、水或氣態氧中的一種或多種。優選該含有機氧的化合物是醇或羰基化合物(例如酯)。采用具有帶有β-氫的烷基基本文檔來自技高網...

    【技術保護點】
    制造涂覆玻璃板的方法,依次包括以下步驟:a)提供玻璃基材,b)采用四異丙氧基鈦(TTIP)作為前體,通過化學氣相沉積(CVD)在該玻璃基材的表面上沉積至少一個CVD涂層,及c)通過物理氣相沉積(PVD)在所述至少一個CVD涂層上沉積至少一個PVD涂層。

    【技術特征摘要】
    【國外來華專利技術】2013.08.16 GB 1314699.81.制造涂覆玻璃板的方法,依次包括以下步驟:
    a)提供玻璃基材,
    b)采用四異丙氧基鈦(TTIP)作為前體,通過化學氣相沉積(CVD)
    在該玻璃基材的表面上沉積至少一個CVD涂層,及
    c)通過物理氣相沉積(PVD)在所述至少一個CVD涂層上沉積至
    少一個PVD涂層。
    2.根據權利要求1所述的方法,其中該CVD涂層包含至少一個基
    于鈦氧化物(TiOx)(摻雜的或未摻雜的)的層。
    3.根據權利要求2的方法,其中該至少一個基于鈦氧化物的層具
    有至少5nm但至多60nm的厚度。
    4.根據權利要求2或權利要求3的方法,其中采用TTIP作為前
    體來沉積該至少一個基于鈦氧化物的層。
    5.根據權利要求4的方法,其中將采用TTIP作為前體沉積的該
    至少一個基于鈦氧化物的層設置為與該PVD涂層直接接觸。
    6.根據任一項前述權利要求的方法,其中該CVD涂層還包含至少
    一個層,該至少一個層基于硅氧化物(例如氧碳化硅、氧化硅或氧氮
    化硅)、錫氧化物(摻雜的或未摻雜的)、鋅氧化物(摻雜的或未摻
    雜的)或任何這些材料的混合物。
    7.根據權利要求1-5中任一項的方法,其中該CVD涂層包含至少
    一個層,其中各個該至少一個層基于鈦氧化物(TiOx)。
    8.根據任一項前述權利要求的方法,其中距離該玻璃基材最遠的
    CVD涂層的主表面具有至多3nm、優選至多1nm的算術平均表面高度
    值Sa。
    9.根據任一項前述權利要求的方法,其中當該玻璃基材處于
    450℃至800℃范圍、更優選550℃至700℃范圍的溫度時,在該玻璃
    基材上沉積該CVD涂層。
    10.根據任一項前述權利要求的方法,其中通過濺射沉積來沉積
    該PVD涂層。
    11.根據任一項前述權利要求的方法,其中該PVD涂層包含至少
    一個基于反射性金屬的功能層,優選所述功能層是銀基功能層。
    12.根據權利要求11的方法,其中該涂覆板還包含位于該玻璃基
    材和該至少一個功能層之間的下減反射層,且其中該PVD涂層還包含
    位于該功能層之上的上減反射層。
    13.根據權利要求11或權利要求12的方法,其中該PVD涂層還
    包含沉積在該CVD涂層和該至少一個功能層之間的至少一個基于介電
    材料的層。
    14.根據權利要求11至13中任一項的方法,其中該PVD涂層還
    包含至少一個層,該至少一個層是基于摻雜的或未摻雜的NiCr、Ti、
    Zn、Zr、Sn、Nb、ITO、TiOx、ZnxSnyOz、ZnO、SnOx、ZnxAlxOz、AlNX、
    SiNx、SixAlyNz或其混合物。
    15.根據權利要求12或者直接或間接從屬于權利要求12時的權
    利要求13和14中任一項的方法,其中包含至少一個功能層的涂層的

    ...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:C·J·古德溫K·J·奇塔姆J·A·里德爾戈A·N·愛德華茲
    申請(專利權)人:皮爾金頓集團有限公司
    類型:發明
    國別省市:英國;GB

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