【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及真空泵隔振領(lǐng)域，尤其涉及一種設(shè)于真空腔與真空泵之間的阻尼塊配重隔振裝置。
技術(shù)介紹
真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點(diǎn)幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。隨著真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來越寬。其中真空泵在應(yīng)用于靈敏儀器時，如掃描電子顯微鏡，泵轉(zhuǎn)動產(chǎn)生的振動會影響儀器的正常運(yùn)行，于是，在真空泵與真空腔之間多設(shè)置阻振機(jī)構(gòu)，常規(guī)的阻尼機(jī)構(gòu)的示意圖如圖2，其中真空泵(1A)通過密封機(jī)構(gòu)連接到真空室(圖中未示出)，密封機(jī)構(gòu)包括連接真空泵和真空腔的金屬波紋管(2A)及圍繞金屬波紋管設(shè)置的橡膠環(huán)(3A)，而該阻尼機(jī)構(gòu)能夠吸收較大部分的振動，但是金屬波紋管傳輸?shù)恼駝樱宰阋杂绊戩`敏的儀器的正常運(yùn)作。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)所要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種有效提高隔振效果的設(shè)于真空腔與真空泵之間的阻尼塊配重隔振裝置。本技術(shù)是通過以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)：一種設(shè)于真空腔與真空泵之間的阻尼塊配重隔振裝置，包括設(shè)于真空泵頂端的基座，一端設(shè)于基座的雙層彈性隔膜，固定雙層彈性隔膜的另一端的穩(wěn)定凸緣，設(shè)于穩(wěn)定凸緣下部真空泵上的支撐托桿及設(shè)于支撐托桿與穩(wěn)定凸緣之間的...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種設(shè)于真空腔與真空泵之間的阻尼塊配重隔振裝置，其特征在于，包括設(shè)于真空泵頂端的基座，一端設(shè)于基座的雙層彈性隔膜，固定雙層彈性隔膜的另一端的穩(wěn)定凸緣，設(shè)于穩(wěn)定凸緣下部真空泵上的支撐托桿及設(shè)于支撐托桿與穩(wěn)定凸緣之間的阻尼器，所述穩(wěn)定凸緣通過標(biāo)準(zhǔn)法蘭與真空腔連接，所述雙層彈性隔膜的一側(cè)通過穿過基座的導(dǎo)管連接真空泵出口，所述阻尼器包括兩個分別與阻尼支撐托和穩(wěn)定凸緣貼合的彈性阻尼塊及設(shè)于兩個彈性阻尼塊之間的阻尼塊配重。
【技術(shù)特征摘要】
1.一種設(shè)于真空腔與真空泵之間的阻尼塊配重隔振裝置，其特征在
于，包括設(shè)于真空泵頂端的基座，一端設(shè)于基座的雙層彈性隔膜，固定雙
層彈性隔膜的另一端的穩(wěn)定凸緣，設(shè)于穩(wěn)定凸緣下部真空泵上的支撐托桿
及設(shè)于支撐托桿與穩(wěn)定凸緣...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：于少鵬，邸士強(qiáng)，湯萍，趙東君，王新鵬，趙沙沙，
申請(專利權(quán))人：綠菱電子材料天津有限公司，
類型：新型
國別省市：天津;12
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