一種探針卡研磨機制造技術

本實用新型專利技術公開了一種探針卡研磨機，包括基座、探針卡固定機構和研磨機構；所述的研磨機構包括安裝支架、傳動機構、調節機構和研磨臺；所述的調節機構包括刻度圓盤和升降絲杠，所述的傳動機構為手動偏心輪傳動機構。由于本實用新型專利技術采用刻度圓盤和升降精密絲杠作為調節機構，可以將探針研磨的平面度控制在±5μm規格內。由于本實用新型專利技術的傳動機構中的偏心輪是可更換的，不同規格的偏心輪的中心軸到到偏心軸的距離是不同的，通過更換偏心輪的規格，可以方便地對直徑在150μm以下的探針針尖進行研磨。由于本實用新型專利技術的調節機構和傳動機構均為手動，使得結構更加簡單，便于作業人員邊研磨邊調整，大大提高了工作效率。

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及一種研磨裝置，特別涉及一種探針卡研磨機。
技術介紹
近年來半導體制程技術突飛猛進，現階段已向16奈米以下挺進。目前產品講求輕薄短小，IC體積越來越小、功能越來越強、腳數越來越多，為了降低芯片封裝所占的面積與改善IC效能，現階段覆晶(FlipChip)方式封裝普遍被應用于繪圖芯片、芯片組、存儲器及CPU等。上述高階封裝方式單價高昂，如果能在封裝前進行芯片測試，發現有不良品存在晶圓當中，即進行標記，直到后段封裝制程前將這些標記的不良品舍棄，可省下不必要的封裝成本。探針卡作為一種測試接口，已廣泛應用于芯片在封裝前的測試。測試時將探針卡上的探針直接與芯片上的焊墊或凸塊直接接觸，引出芯片訊號，再配合周邊測試儀器與軟件控制達到自動化量測的目的。探針卡應用在IC尚未封裝前，針對裸晶系以探針做功能測試，篩選出不良品、再進行之后的封裝工程。因此，探針卡是IC制造中對制造成本影響相當大的重要制程之一。探針卡一般包括與晶片上的電極接觸的探針和向該探針發送檢測信號的電路板，在探針與電極接觸的狀態下通過電路板向探針發送電信號進而檢測晶圓上的集成電路。通過探針卡檢測出不合格的產品之后再對合格產品進行后續的封裝工藝，避免了對不良產品的繼續加工而造成的浪費。探針研磨裝置用于在制作探針卡的過程中研磨探針的針尖。中國專利CN201120131606.0公開了一種功率芯片探針研磨裝置，該裝置包括固定機構、研磨機構、第一控制機構、第二控制機構和水砂紙，固定機構用于固定功率芯片探針，固定機構包括基板和環氧樹脂模塊，環氧樹脂模塊位于基板靠近研磨機構的一側；研磨機構包括移動載臺、電機和驅動塊，電機設置于移動載臺上，驅動塊由電機驅動，水砂紙固定在驅動塊上；第一控制機構與研磨機構連接且用于控制研磨機構沿第一方向運動；第二控制機構與研磨機構相連接且用于控制研磨機構沿第二方向運動。該裝置縮短了磨針時間并且提高了產品加工質量的穩定性及可靠性。但該裝置使用的水砂紙，只能研磨探針直徑在250μm以上的較大端面針尖，無法對直徑在150μm以下、平面度要求±5μm以下的極細端面的針尖的研磨。
技術實現思路
為解決現有技術存在的上述問題，本技術要設計一種能對直徑在150μm以下且平面度要求±5μm以下的極細端面的針尖進行研磨的探針卡研磨機。為了實現上述目的，本技術的技術方案如下：一種探針卡研磨機，包括基座、探針卡固定機構和研磨機構；所述的基座包括底板、面板和四個支柱，所述的面板通過四個支柱固定在底板上，所述的面板上有矩形通孔；所述的探針固定機構固定安裝在基座的面板上，用于固定待研磨的探針卡；所述的研磨機構包括安裝支架、傳動機構、調節機構和研磨臺；所述的安裝支架包括兩塊立板、豎向導軌和門形框架，所述的兩塊立板安裝在底板上，所述的門形框架通過豎向導軌安裝在兩塊立板之間、并與豎向導軌滑動連接；所述的調節機構包括刻度圓盤和升降絲杠，所述的刻度圓盤安裝在底板上、通過升降絲杠連接到門形框架上；所述的研磨臺位于面板的矩形通孔中，研磨臺上放置金剛石砂紙，研磨臺底部通過XY滑臺機構安裝在安裝支架上；所述的傳動機構為手動偏心輪傳動機構，固定在安裝支架上，通過轉動連接桿連接到研磨臺上。進一步地，所述的面板與四個支柱之間均設置調節螺母和鎖緊螺母。進一步地，所述的升降絲杠的下端固定在刻度圓盤的中心。進一步地，所述的刻度圓盤上沿周向均布刻度棱，旋轉刻度圓盤與升降絲杠轉動連接。進一步地，所述的刻度圓盤上均布30條刻度棱，每條刻度棱對應升降絲杠上升或下降2μm。進一步地，所述的傳動機構包括把手、轉動連接桿、偏心輪、軸承和軸承底座；所述的偏心輪的上部通過偏心軸和軸承連接到轉動連接桿上、下部通過中心軸和軸承安裝到軸承底座上；所述的轉動連接桿的一端用螺栓固定在研磨臺底部、另一端連接把手；所述的軸承底座用螺栓固定在安裝支架上。進一步地，所述的面板為大理石板，所述的研磨臺為大理石研磨臺。與現有技術相比，本技術具有以下有益效果：1、由于本技術采用刻度圓盤和升降精密絲杠作為調節機構，可以將探針研磨的平面度控制在±5μm規格內。2、由于本技術的傳動機構中的偏心輪是可更換的，不同規格的偏心輪的中心軸到到偏心軸的距離是不同的，通過更換偏心輪的規格，可以方便地對直徑在150μm以下的探針針尖進行研磨。3、由于本技術的調節機構和傳動機構均為手動，使得結構更加簡單，便于作業人員邊研磨邊調整，大大提高了工作效率。4、由于本技術的面板采用大理石材料，提高了整體的可靠性和產品的研磨精度。5、由于本技術在四個支柱上設置了調節螺母和鎖緊螺母，可以簡單方便的對面板的水平度進行調整，確保研磨精度。附圖說明圖1是本技術的結構示意圖。圖2是圖1的A-A剖視圖。圖3是圖1的俯側視圖。圖中：1、探針卡固定機構，2、底板，3、面板，4、支柱，5、安裝支架，6、研磨臺，7、刻度圓盤，8、升降絲杠，9、轉動連接桿，10、把手，11、偏心輪，12、軸承底座。具體實施方式下面結合附圖對本技術進行進一步地描述。如圖1-3所示，一種探針卡研磨機，包括基座、探針卡固定機構1和研磨機構；所述的基座包括底板2、面板3和四個支柱4，所述的面板3通過四個支柱4固定在底板2上，所述的面板3上有矩形通孔；所述的探針固定機構固定安裝在基座的面板3上，用于固定待研磨的探針卡；所述的研磨機構包括安裝支架5、傳動機構、調節機構和研磨臺6；所述的安裝支架5包括兩塊立板、豎向導軌和門形框架，所述的兩塊立板安裝在底板2上，所述的門形框架通過豎向導軌安裝在兩塊立板之間、并與豎向導軌滑動連接；所述的調節機構包括刻度圓盤7和升降絲杠8，所述的刻度圓盤7安裝在底板2上、通過升降絲杠8連接到門形框架上；所述的研磨臺6位于面板3的矩形通孔中，研磨臺6上放置金剛石砂紙，研磨臺6底部通過XY滑臺機構安裝在安裝支架5上；所述的傳動機構為手動偏心輪11傳動機構，固定在安裝支架5上，通過轉動連接桿9連接到研磨臺6上。進一步地，所述的面板3與四個支柱4之間均設置調節螺母和鎖緊螺母。進一步地，所述的升降絲杠8的下端固定在刻度圓盤7的中心。進一步地，所述的刻度圓盤7上沿周向均布刻度棱，旋轉刻度圓盤7與升降絲杠8轉動連接。進一步地，所述的刻度圓盤7上均布30條刻度棱，每條刻度棱對應升降絲杠8上升或下降2μm。進一步地，所述的傳動機構包括把手10、轉動連接桿9、偏心輪11、軸承和軸承底座12；所述的偏心輪11的上部通過偏心軸和軸承連接到轉動連接桿9上、下部通過中心軸和軸承安裝到軸承底座12上；所述的轉動連接桿9的一端用螺栓固定在研磨臺6底部、另一端連接把手10；所述的軸承底座12用螺栓固定在安裝支架5上。進一步地，所述的面板3為大理石板，所述的研磨臺6為大理石研磨臺。本技術的工作方法包括以下步驟：A、通過四個支柱4上的調節螺母和鎖緊螺母調節好基座面板3的高度和平面度并鎖緊；B、將探針卡安裝到面板3上，通過固定機構1鎖死；C、在研磨臺6上鋪設好金剛石砂紙；D、根據研磨直徑要求，選擇傳動機構中偏心輪11的規格；E、通過順時針或逆時針旋轉刻度圓盤7來調節研磨臺6的高度，通過轉動把手10開始對探針進行研磨；并不斷調節研磨臺6的高度，直至探針研磨合格。刻本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種探針卡研磨機，其特征在于：包括基座、探針卡固定機構(1)和研磨機構；所述的基座包括底板(2)、面板(3)和四個支柱(4)，所述的面板(3)通過四個支柱(4)固定在底板(2)上，所述的面板(3)上有矩形通孔；所述的探針固定機構固定安裝在基座的面板(3)上，用于固定待研磨的探針卡；所述的研磨機構包括安裝支架(5)、傳動機構、調節機構和研磨臺(6)；所述的安裝支架(5)包括兩塊立板、豎向導軌和門形框架，所述的兩塊立板安裝在底板(2)上，所述的門形框架通過豎向導軌安裝在兩塊立板之間、并與豎向導軌滑動連接；所述的調節機構包括刻度圓盤(7)和升降絲杠(8)，所述的刻度圓盤(7)安裝在底板(2)上、通過升降絲杠(8)連接到門形框架上；所述的研磨臺(6)位于面板(3)的矩形通孔中，研磨臺(6)上放置金剛石砂紙，研磨臺(6)底部通過XY滑臺機構安裝在安裝支架(5)上；所述的傳動機構為手動偏心輪(11)傳動機構，固定在安裝支架(5)上，通過轉動連接桿(9)連接到研磨臺(6)上。

【技術特征摘要】
1.一種探針卡研磨機，其特征在于：包括基座、探針卡固定機構(1)和研磨機構；所述的基座包括底板(2)、面板(3)和四個支柱(4)，所述的面板(3)通過四個支柱(4)固定在底板(2)上，所述的面板(3)上有矩形通孔；所述的探針固定機構固定安裝在基座的面板(3)上，用于固定待研磨的探針卡；所述的研磨機構包括安裝支架(5)、傳動機構、調節機構和研磨臺(6)；所述的安裝支架(5)包括兩塊立板、豎向導軌和門形框架，所述的兩塊立板安裝在底板(2)上，所述的門形框架通過豎向導軌安裝在兩塊立板之間、并與豎向導軌滑動連接；所述的調節機構包括刻度圓盤(7)和升降絲杠(8)，所述的刻度圓盤(7)安裝在底板(2)上、通過升降絲杠(8)連接到門形框架上；所述的研磨臺(6)位于面板(3)的矩形通孔中，研磨臺(6)上放置金剛石砂紙，研磨臺(6)底部通過XY滑臺機構安裝在安裝支架(5)上；所述的傳動機構為手動偏心輪(11)傳動機構，固定在安裝支架(5)上，通過轉動連接桿(9)連接到研磨臺(6)上。2.根據權利要求1所述的一種探針卡研磨機，其特征在于：所述的面板(...

【專利技術屬性】
技術研發人員：張繼，李祥峰，
申請(專利權)人：大連火藍電子科技有限公司，
類型：新型
國別省市：遼寧;21