一種真空鍍膜設備制造技術

本實用新型專利技術提出的一種真空鍍膜設備，包括設備主體，設備主體上設有觀察窗，觀察窗包括窗框、透鏡和透鏡固定框，透鏡設置于窗框和透鏡固定框之間，窗框和透鏡固定框固接，窗框內設有循環冷卻結構和遮板結構，循環冷卻結構包括循環通道、冷水進口和冷水出口，遮板結構包括轉動桿、遮板和把手，冷水進口和冷水出口通過管接頭與冷卻水管理連接，對觀察窗整體進行降溫，窗框與透鏡固定框連接穩固，密封良好，遮板設置于觀察窗一側，可有效阻隔真空鍍膜設備內的離子外漏，在需要觀察時，拉動把手，即可實現遮板轉動，松下把手，遮板在重力作用下，自動歸位，把手外套合有硅橡膠隔熱套管，可阻隔熱量，具有耐高溫、密封好、使用壽命長的特點。

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及一種真空鍍膜設備。
技術介紹
真空鍍膜設備主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。其中，在進行真空離子蒸發時，真空鍍膜設備的觀察窗多會伴隨著高溫，導致觀察窗變模糊，影響外部人員觀察，同時由于真空鍍膜設備的工作特性，幾乎很長時間內，不會停機，觀察窗透鏡的使用壽命會由于高溫影響，急劇縮短，如發生碎裂，會嚴重影響設備內部的真空度，進而影響鍍膜效果。
技術實現思路
針對上述問題，本技術提出了一種真空鍍膜設備。為解決以上技術問題，本技術提供的技術方案是:一種真空鍍膜設備，其特征在于，包括設備主體，所述設備主體上設有觀察窗，所述觀察窗包括窗框、由強化玻璃制成的透鏡和透鏡固定框，所述透鏡設置于窗框和透鏡固定框之間，窗框和透鏡固定框通過螺栓固接；所述窗框為中空結構，并呈圓環形，窗框內設有循環冷卻結構和遮板結構，所述循環冷卻結構包括循環通道、冷水進口和冷水出口，所述循環通道位于窗框內，呈圓環形，并與窗框同心設置，所述冷水進口和冷水出口分別對稱設置于窗框的上部和下部，并貫通循環通道，冷水進口和冷水出口處設有與窗框端面垂直的2個管接頭，所述遮板結構設置于窗框上部偏右側，包括轉動桿、遮板和把手，所述轉動桿水平自窗框上部偏右側貫穿窗框，包括固定部和轉動部，所述固定部位于窗框內，所述轉動部位于窗框外，所述把手與轉動部垂直固接，所述遮板通過螺栓與固定部固接；所述窗框一側的端面上設有截面呈方形、整體呈圓環形的凹槽，所述凹槽內設有呈圓環形的密封膠圈，所述透鏡固定框呈圓環形，通過螺栓與窗框固接，透鏡與密封膠圈緊密貼合，透鏡固定框中部開有觀察口，上部和下部對稱設有呈圓弧形的管接頭缺口，供管接頭安裝用，所述觀察口呈圓形；進一步的，所述轉動桿與窗框之間設有密封圈；進一步的，所述窗框的外徑為D1，所述透鏡固定框的外徑為D2，所述D1：D2=1:0.7；進一步的，所述透鏡呈圓形，其直徑為D3，所述透鏡固定框的內徑為D4，所述D3：D4=1:0.8；進一步的，所述把手外套合有硅橡膠隔熱套管。本技術的有益效果為：本技術提出的一種真空鍍膜設備，其結構簡單，設計合理，其上設置的觀察窗具有耐高溫、密封好、使用壽命長的特點，冷水進口和冷水出口通過管接頭與冷卻水管理連接，對觀察窗整體進行不間斷的降溫，窗框與透鏡固定框連接穩固，密封良好，遮板設置于觀察窗靠內一側，可有效阻隔真空鍍膜設備內的離子外漏，在需要觀察時，拉動把手，即可實現遮板轉動，松下把手，遮板在重力作用下，自動歸位，把手外套合有硅橡膠隔熱套管，可阻隔熱量。附圖說明圖1本技術示意圖。圖2觀察窗示意圖。圖3A-A向剖視圖。圖4B-B向剖視圖。圖5C-C向剖視圖。具體實施方式一種真空鍍膜設備，其特征在于，包括設備主體21，所述設備主體21上設有觀察窗22，所述觀察窗22包括窗框1、由強化玻璃制成的透鏡2和透鏡固定框3，所述透鏡2設置于窗框1和透鏡固定框3之間，窗框1和透鏡固定框3通過螺栓固接；所述窗框1為中空結構，并呈圓環形，窗框1內設有循環冷卻結構4和遮板結構5，所述循環冷卻結構4包括循環通道6、冷水進口7和冷水出口8，所述循環通道6位于窗框1內，呈圓環形，并與窗框1同心設置，所述冷水進口7和冷水出口8分別對稱設置于窗框1的上部和下部，并貫通循環通道6，冷水進口7和冷水出口8處設有與窗框端面垂直的2個管接頭9，所述遮板結構5設置于窗框1上部偏右側，包括轉動桿10、遮板11和把手12，所述轉動桿10水平自窗框1上部偏右側貫穿窗框1，包括固定部13和轉動部14，所述固定部13位于窗框1內，所述轉動部14位于窗框1外，所述把手12與轉動部14垂直固接，所述遮板11通過螺栓與固定部13固接；所述窗框1一側的端面上設有截面呈方形、整體呈圓環形的凹槽15，所述凹槽15內設有呈圓環形的密封膠圈16，所述透鏡固定框3呈圓環形，通過螺栓與窗框1固接，透鏡2與密封膠圈16緊密貼合，透鏡固定框3中部開有觀察口17，上部和下部對稱設有呈圓弧形的管接頭缺口18，供管接頭9安裝用，所述觀察口17呈圓形；其中，所述轉動桿10與窗框1之間設有密封圈19，所述窗框1的外徑為D1，所述透鏡固定框3的外徑為D2，所述D1：D2=1:0.7，所述透鏡2呈圓形，其直徑為D3，所述透鏡固定框3的內徑為D4，所述D3：D4=1:0.8，所述把手12外套合有硅橡膠隔熱套管20。本技術提出的一種真空鍍膜設備，其結構簡單，設計合理，其上設置的觀察窗具有耐高溫、密封好、使用壽命長的特點，冷水進口和冷水出口通過管接頭與冷卻水管理連接，對觀察窗整體進行不間斷的降溫，窗框與透鏡固定框連接穩固，密封良好，遮板設置于觀察窗靠內一側，可有效阻隔真空鍍膜設備內的離子外漏，在需要觀察時，拉動把手，即可實現遮板轉動，松下把手，遮板在重力作用下，自動歸位，把手外套合有硅橡膠隔熱套管，可阻隔熱量。以上所述，僅為本技術較佳的具體實施方式，但本技術的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本
的技術人員在本技術揭露的技術范圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本技術的保護范圍內。因此，本技術的保護范圍應該以權利要求書的保護范圍為準。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種真空鍍膜設備，其特征在于，包括設備主體，所述設備主體上設有觀察窗，所述觀察窗包括窗框、由強化玻璃制成的透鏡和透鏡固定框，所述透鏡設置于窗框和透鏡固定框之間，窗框和透鏡固定框通過螺栓固接。

【技術特征摘要】
1.一種真空鍍膜設備，其特征在于，包括設備主體，所述設備主體上設有觀察窗，所述觀察窗包括窗框、由強化玻璃制成的透鏡和透鏡固定框，所述透鏡設置于窗框和透鏡固定框之間，窗框和透鏡固定框通過螺栓固接。
2.如權利要求1所述的一種真空鍍膜設備，其特征在于，所述窗框為中空結構，并呈圓環形，窗框內設有循環冷卻結構和遮板結構，所述循環冷卻結構包括循環通道、冷水進口和冷水出口，所述循環通道位于窗框內，呈圓環形，并與窗框同心設置，所述冷水進口和冷水出口分別對稱設置于窗框的上部和下部，并貫通循環通道，冷水進口和冷水出口處設有與窗框端面垂直的2個管接頭，所述遮板結構設置于窗框上部偏右側，包括轉動桿、遮板和把手，所述轉動桿水平自窗框上部偏右側貫穿窗框，包括固定部和轉動部，所述固定部位于窗框內，所述轉動部位于窗框外，所述把手與轉動部垂直固接，所述遮板通過螺栓與固定部固接。
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【專利技術屬性】
技術研發人員：李亞軍，
申請(專利權)人：鎮江超威納米科技有限公司，
類型：新型
國別省市：江蘇;32