一種拋光機(jī)壓頭純水沖洗裝置制造方法及圖紙

一種拋光機(jī)壓頭純水沖洗裝置，三通接頭Ⅰ的三個接口分別與原純水管路、原水拋管路和三通接頭Ⅱ連接，三通接頭Ⅱ的另外兩個接口分別通過前支管和后支管與上述兩條噴頭支路連接，每條噴頭支路包括一個三通接頭Ⅲ和兩只噴頭，以實現(xiàn)每個噴頭單獨清洗一個壓頭。本實用新型專利技術(shù)具有結(jié)構(gòu)簡單、安裝方便的優(yōu)點，而且沖洗過程和水拋過程同步，不額外占用生產(chǎn)時間，并且完全自動化；沖洗過程可根據(jù)需要適時調(diào)整噴嘴的角度和水量大小，調(diào)好后不需要人工參與，實用性和安全性能好，可以有效避免SPM?19型拋光機(jī)壓頭表面拋光液結(jié)晶的形成，降低了設(shè)備停機(jī)率和生產(chǎn)成本，提高了工藝穩(wěn)定性。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及到單晶硅拋光片生產(chǎn)
，具體的說是一種拋光機(jī)壓頭純水沖洗裝置。
技術(shù)介紹
單晶硅拋光片是IC行業(yè)的基礎(chǔ)材料，而拋光機(jī)是生產(chǎn)拋光片不可或缺的主要設(shè)備之一。其中由日本FUJIKOSHI公司生產(chǎn)的SPM-19型拋光機(jī)在目前國內(nèi)的單晶硅拋光片制造廠商中得到廣泛使用。該型拋光機(jī)采用化學(xué)機(jī)械拋光方式實現(xiàn)對單晶硅片表面的拋光處理，拋光生產(chǎn)過程主要分為兩個階段：拋光液拋光階段和純水拋光階段。拋光時，拋光液或者純水通過主轉(zhuǎn)盤中心供液口向旋轉(zhuǎn)的主轉(zhuǎn)盤持續(xù)供應(yīng)拋光液或者純水，四個壓頭把裝有硅片的陶瓷盤壓在貼有拋光布的主轉(zhuǎn)盤上轉(zhuǎn)動，由于是機(jī)械拋光，大盤上掉入的任何顆粒等都會對硅片表面造成劃傷，對產(chǎn)品的質(zhì)量造成影響。目前行業(yè)使用的拋光液都溶于水，少量拋光液暴露在空氣中不久就會形成結(jié)晶。在拋光的過程中拋光液不可避免地會濺到壓頭上，如不及時處理就會在壓頭上形成結(jié)晶，而壓頭上的結(jié)晶又特別容易掉落到大盤上，對硅片的品質(zhì)造成影響。對于以上問題，傳統(tǒng)的處理方法是：1）拋完一車或幾車硅片后用無塵紙或無塵布蘸純水，對壓頭上濺落的拋光液或者剛剛形成的結(jié)晶進(jìn)行清潔；2）在壓頭上粘一層進(jìn)口的雙面膠（此雙面膠價格昂貴），等雙面膠上結(jié)晶多時更換雙面膠，并對壓頭進(jìn)行清潔。以上兩種方法的缺點是：1）無塵紙和無塵布的使用提高了生產(chǎn)成本；2）定時清潔或更換雙面膠不但增加了員工勞動量，而且增加了停機(jī)時間；3）壓頭上的結(jié)晶容易在拋光過程中由于震動等原因會掉落到大盤上，影響硅片的品質(zhì)；4）換雙面膠和清潔時，結(jié)晶容易掉到拋光布上，污染拋光布。
技術(shù)實現(xiàn)思路
為解決現(xiàn)有技術(shù)中壓頭清潔方法存在的諸多問題，本技術(shù)提供了一種拋光機(jī)壓頭純水沖洗裝置，該裝置在不改變現(xiàn)有生產(chǎn)工藝的前提下，根據(jù)壓頭上殘留的拋光液在拋完一車的時間內(nèi)不會形成結(jié)晶和拋光液溶于水的特點，通過使用純水沖洗拋光機(jī)壓頭，清除濺到壓頭上的拋光液，避免結(jié)晶生成，來解決壓頭上的結(jié)晶而引發(fā)的一系列問題。本技術(shù)為解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為：一種拋光機(jī)壓頭純水沖洗裝置，包括三通接頭Ⅰ、三通接頭Ⅱ和兩條噴頭支路，其中，三通接頭Ⅰ的三個接口分別與原純水管路、原水拋管路和三通接頭Ⅱ連接，三通接頭Ⅱ的另外兩個接口分別通過前支管和后支管與上述兩條噴頭支路連接，每條噴頭支路包括一個三通接頭Ⅲ和兩只噴頭，且三通接頭Ⅲ的一個接頭與前支管或后支管連接，另外兩個接頭均通過管路與兩個噴頭連接，所述兩條噴頭支路中的四個噴頭分別延伸到拋光機(jī)的四個壓頭處，以實現(xiàn)每個噴頭單獨清洗一個壓頭。所述原純水管路上設(shè)置有控制其通斷和流量的純水閥。所述每條噴頭支路中，在三通接頭Ⅲ和兩個噴頭之間的管路上分別設(shè)置有旋塞閥門，以對每個噴頭進(jìn)行獨立控制。本技術(shù)中，三通接頭Ⅰ連接的原純水管路和原水拋管路是現(xiàn)有拋光設(shè)備中的純水管路和水拋管路。有益效果：本技術(shù)通過兩個三通接頭將原純水管路和原水拋管路與四個噴頭連接，這四個噴頭對應(yīng)拋光機(jī)的四個壓頭，從而實現(xiàn)了對四個壓頭的單獨沖洗，避免了現(xiàn)有的清潔方法所造成的一系列問題，具有結(jié)構(gòu)簡單、安裝方便的優(yōu)點，而且沖洗過程和水拋過程同步，不額外占用生產(chǎn)時間，并且完全自動化；沖洗過程可根據(jù)需要適時調(diào)整噴嘴的角度和水量大小，調(diào)好后不需要人工參與，實用性和安全性能好，可以有效避免SPM-19型拋光機(jī)壓頭表面拋光液結(jié)晶的形成，降低了設(shè)備停機(jī)率和生產(chǎn)成本，提高了工藝穩(wěn)定性。附圖說明圖1為本技術(shù)的管路連接圖；圖2為本技術(shù)中噴頭支路的管路圖；附圖標(biāo)記：1、三通接頭Ⅰ，2、三通接頭Ⅱ，3、噴頭支路，301、三通接頭Ⅲ，302、噴頭，303、旋塞閥門，4、原純水管路，5、原水拋管路，6、前支管，7、后支管，8、壓頭，9、純水閥。具體實施方式如圖所示，一種拋光機(jī)壓頭純水沖洗裝置，包括三通接頭Ⅰ1、三通接頭Ⅱ2和兩條噴頭支路3，其中，三通接頭Ⅰ1的三個接口分別與原純水管路4、原水拋管路5和三通接頭Ⅱ2連接，三通接頭Ⅱ2的另外兩個接口分別通過前支管6和后支管7與上述兩條噴頭支路3連接，每條噴頭支路3包括一個三通接頭Ⅲ301和兩只噴頭302，且三通接頭Ⅲ301的一個接頭與前支管6或后支管7連接，另外兩個接頭均通過管路與兩個噴頭302連接，所述兩條噴頭支路3中的四個噴頭302分別延伸到拋光機(jī)的四個壓頭8處，以實現(xiàn)每個噴頭302單獨清洗一個壓頭8。以上為本技術(shù)的基本實施方式，可在以上基礎(chǔ)上做進(jìn)一步的優(yōu)化、限定和改進(jìn)：如，所述原純水管路4上設(shè)置有控制其通斷和流量的純水閥9；又如，所述每條噴頭支路3中，在三通接頭Ⅲ301和兩個噴頭302之間的管路上分別設(shè)置有旋塞閥門303，以對每個噴頭302進(jìn)行獨立控制。圖1中，虛線部分為拋光機(jī)中原有裝置，三通接頭Ⅰ1的主要作用是把本技術(shù)裝置并聯(lián)在水拋管路中；三通接頭Ⅱ2對沖洗裝置的管路進(jìn)行分支；后支路6將管路通向兩個壓頭；前支路7將管路通向另兩個壓頭；噴頭支路3部分如圖2所示，三通接頭Ⅲ301將管路分成兩部分，分別指向兩個壓頭8；旋塞閥門303有兩個，可以調(diào)整噴向兩個壓頭8的水量；噴頭302將純水噴向壓頭8相應(yīng)位置。壓頭8沖洗的具體步驟如下：拋光機(jī)進(jìn)入純水拋光階段時，圖中虛線部分水拋純水閥9自動打開，一路純水通過三通接頭Ⅰ1進(jìn)入原拋光機(jī)水拋管路5，另一路通過三通接頭Ⅰ1進(jìn)入三通接頭Ⅱ2；之后一路純水通過前支路7、一條噴頭支路3，分別噴向兩個壓頭8，水量大小可根據(jù)需要調(diào)整對應(yīng)旋塞閥門303；另一路通過后支路6、另一條噴頭支路3，分別噴向剩下的兩個壓頭8，水量大小可根據(jù)需要調(diào)整對應(yīng)的旋塞閥門303。本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點】
一種拋光機(jī)壓頭純水沖洗裝置，其特征在于：包括三通接頭Ⅰ（1）、三通接頭Ⅱ（2）和兩條噴頭支路（3），其中，三通接頭Ⅰ（1）的三個接口分別與原純水管路（4）、原水拋管路（5）和三通接頭Ⅱ（2）連接，三通接頭Ⅱ（2）的另外兩個接口分別通過前支管（6）和后支管（7）與上述兩條噴頭支路（3）連接，每條噴頭支路（3）包括一個三通接頭Ⅲ（301）和兩只噴頭（302），且三通接頭Ⅲ（301）的一個接頭與前支管（6）或后支管（7）連接，另外兩個接頭均通過管路與兩個噴頭（302）連接，所述兩條噴頭支路（3）中的四個噴頭（302）分別延伸到拋光機(jī)的四個壓頭（8）處，以實現(xiàn)每個噴頭（302）單獨清洗一個壓頭（8）。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種拋光機(jī)壓頭純水沖洗裝置，其特征在于：包括三通接頭Ⅰ（1）、三通接頭Ⅱ（2）和兩條噴頭支路（3），其中，三通接頭Ⅰ（1）的三個接口分別與原純水管路（4）、原水拋管路（5）和三通接頭Ⅱ（2）連接，三通接頭Ⅱ（2）的另外兩個接口分別通過前支管（6）和后支管（7）與上述兩條噴頭支路（3）連接，每條噴頭支路（3）包括一個三通接頭Ⅲ（301）和兩只噴頭（302），且三通接頭Ⅲ（301）的一個接頭與前支管（6）或后支管（7）連接，另外兩個接頭均通過管路與兩個噴頭（302...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：郭光燦，范強(qiáng)，高戰(zhàn)鋒，苗亞龍，
申請(專利權(quán))人：麥斯克電子材料有限公司，
類型：新型
國別省市：河南;41