一種單晶硅片倒片器用石英舟工裝制造技術

一種單晶硅片倒片器用石英舟工裝，包括底座及設置在底座上的石英舟，石英舟包括兩塊矩形板和與兩塊矩形板的三個角垂直連接的三根連接柱，且三根連接柱和兩塊矩形板圍成V形的儲片空間；底座包括底板以及分別設置在底板兩側的矩形擋板和V形擋板，底板上開設有卡槽和凸起，以使底座通過卡槽卡設在倒片器石英舟工位上時，凸起關閉倒片器石英舟工位的氣動開關。本實用新型專利技術通過在倒片器的石英舟工位上設置一個與其配合的底座，然后利用該底座與新設計的石英舟配合，從而實現了現有倒片器設備與石英舟的完美匹配，最終實現了倒片器全自動上下料的功能。

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及到單晶硅片生產領域用到的倒片器，具體的說是一種單晶硅片倒片器用石英舟工裝。
技術介紹
背封工藝是硅拋光片加工工序中非常重要的一個環節。主要是采用低壓化學氣相淀積(LPCVD)設備在硅基片上淀積SiO2薄膜、Poly-Si多晶硅、Si3N4薄膜的一種重要工藝。我們在重摻硅片背面生長一層SiO2薄膜是和背損傷工藝同時作用，主要是起到封閉雜質的作用。在整個工藝過程中需要把由四氟片盒裝載的潔凈硅基片搬運到石英舟內，然后再進爐進行背面長膜。在這個過程中為了避免人為的操作出現硅基片的沾污、擦傷和邊緣崩邊等缺陷，需要使用到倒片器。我公司主要使用的是MACTRONIX公司的倒片器，該倒片器全氣動控制，使用穩定。但是，我公司使用的倒片器石英舟工位與現有工藝新設計使用的石英舟不匹配，需要對該倒片器設備的石英舟工位進行重新設計。
技術實現思路
為解決本公司現有石英舟與倒片器石英舟工位不匹配的問題，本技術提供了一種單晶硅片倒片器用石英舟工裝，該石英舟工裝能夠與現有的倒片器完全匹配，從而實現了倒片器全自動上下料的功能。本技術為解決上述技術問題所采用的技術方案為：一種單晶硅片倒片器用石英舟工裝，包括底座及設置在底座上的石英舟，所述的石英舟包括兩塊矩形板和與兩塊矩形板的三個角垂直連接的三根連接柱，且三根連接柱和兩塊矩形板圍成V形的儲片空間，三根連接柱朝向儲片空間的側面上對稱設置有若干刻槽，以使單晶硅片的邊緣卡設在三根連接柱上的刻槽內；所述兩塊矩形板的其中一塊上設置有與叉取石英舟的叉子配合的通槽；所述底座包括底板以及分別設置在底板兩側的矩形擋板和V形擋板，其中，底板上開設有卡槽和凸起，以使底座通過卡槽卡設在倒片器石英舟工位上時，凸起關閉倒片器石英舟工位的氣動開關；所述矩形擋板和V形擋板上分別設置有V型槽Ⅰ和V型槽Ⅱ，以使石英舟的兩塊矩形板分別卡設在V型槽Ⅰ和V型槽Ⅱ內時，儲片空間的開口朝上。所述兩塊矩形板的四個角均為弧形倒角，每根連接柱為半圓柱狀結構，且連接柱的半圓柱弧形輪廓線與矩形板的弧形倒角輪廓線重合。所述矩形擋板上V型槽Ⅰ頂部的兩端與矩形擋板頂部平面的兩端之間具有承載面。所述V形擋板上V型槽Ⅱ頂部的兩端與V形擋板頂部平面的兩端重合，且在V型槽Ⅱ內設置有厚度小于V形擋板厚度的三角形擋板，三角形擋板卡設在V型槽Ⅱ的V形尖端位置，且其外側面與V形擋板的外側面重合。有益效果：本技術通過在倒片器的石英舟工位上設置一個與其配合的底座，然后利用該底座與新設計的石英舟配合，從而實現了現有倒片器設備與石英舟的完美匹配，最終實現了倒片器全自動上下料的功能。附圖說明圖1為本技術石英舟的結構示意圖；圖2為本技術底座的結構示意圖；附圖標記：1、矩形板，101、通槽，2、連接柱，201、刻槽，3、儲片空間，4、底板，401、卡槽，402、凸起，5、矩形擋板，501、V型槽Ⅰ，502、承載面，6、V形擋板，601、V型槽Ⅱ，7、三角形擋板。具體實施方式如圖所示，一種單晶硅片倒片器用石英舟工裝，包括底座及設置在底座上的石英舟，所述的石英舟包括兩塊矩形板1和與兩塊矩形板1的三個角垂直連接的三根連接柱2，且三根連接柱2和兩塊矩形板1圍成V形的儲片空間3，三根連接柱2朝向儲片空間3的側面上對稱設置有若干刻槽201，以使單晶硅片的邊緣卡設在三根連接柱2上的刻槽201內；所述兩塊矩形板1的其中一塊上設置有與叉取石英舟的叉子配合的通槽101；所述底座包括底板4以及分別設置在底板4兩側的矩形擋板5和V形擋板6，其中，底板4上開設有卡槽401和凸起402，以使底座通過卡槽401卡設在倒片器石英舟工位上時，凸起402關閉倒片器石英舟工位的氣動開關；所述矩形擋板5和V形擋板6上分別設置有V型槽Ⅰ501和V型槽Ⅱ601，以使石英舟的兩塊矩形板1分別卡設在V型槽Ⅰ501和V型槽Ⅱ601內時，儲片空間3的開口朝上。以上為本技術的基本實施方式，可在以上基礎上做進一步的改進、優化和限定：如，所述兩塊矩形板1的四個角均為弧形倒角，每根連接柱2為半圓柱狀結構，且連接柱2的半圓柱弧形輪廓線與矩形板1的弧形倒角輪廓線重合；進一步的，每根連接柱2上的刻槽201的數量為25條；又如，所述矩形擋板5上V型槽Ⅰ501頂部的兩端與矩形擋板5頂部平面的兩端之間具有承載面502；再如，所述V形擋板6上V型槽Ⅱ601頂部的兩端與V形擋板6頂部平面的兩端重合，且在V型槽Ⅱ601內設置有厚度小于V形擋板6厚度的三角形擋板7，三角形擋板7卡設在V型槽Ⅱ601的V形尖端位置，且其外側面與V形擋板6的外側面重合。本技術在使用時，首先將附圖2中的底座放置到倒片器上的石英舟工位處，使構成底座的底板4上的卡槽401卡設在倒片器石英舟工位上，此時，凸起402關閉倒片器石英舟工位的氣動開關；然后將附圖1中的石英舟放置到V型槽Ⅰ501和V型槽Ⅱ601內，放置時，構成石英舟的兩塊矩形板1的一個角分別放置在V型槽Ⅰ501和V型槽Ⅱ601內，從而使三根連接柱2和兩塊矩形板1圍成得V形儲片空間3的開口向上。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種單晶硅片倒片器用石英舟工裝，包括底座及設置在底座上的石英舟，其特征在于：所述的石英舟包括兩塊矩形板（1）和與兩塊矩形板（1）的三個角垂直連接的三根連接柱（2），且三根連接柱（2）和兩塊矩形板（1）圍成V形的儲片空間（3），三根連接柱（2）朝向儲片空間（3）的側面上對稱設置有若干刻槽（201），以使單晶硅片的邊緣卡設在三根連接柱（2）上的刻槽（201）內；所述兩塊矩形板（1）的其中一塊上設置有與叉取石英舟的叉子配合的通槽（101）；所述底座包括底板（4）以及分別設置在底板（4）兩側的矩形擋板（5）和V形擋板（6），其中，底板（4）上開設有卡槽（401）和凸起（402），以使底座通過卡槽（401）卡設在倒片器石英舟工位上時，凸起（402）關閉倒片器石英舟工位的氣動開關；所述矩形擋板（5）和V形擋板（6）上分別設置有V型槽Ⅰ（501）和V型槽Ⅱ（601），以使石英舟的兩塊矩形板（1）分別卡設在V型槽Ⅰ（501）和V型槽Ⅱ（601）內時，儲片空間（3）的開口朝上。

【技術特征摘要】
1.一種單晶硅片倒片器用石英舟工裝，包括底座及設置在底座上的石英舟，其特征在于：所述的石英舟包括兩塊矩形板（1）和與兩塊矩形板（1）的三個角垂直連接的三根連接柱（2），且三根連接柱（2）和兩塊矩形板（1）圍成V形的儲片空間（3），三根連接柱（2）朝向儲片空間（3）的側面上對稱設置有若干刻槽（201），以使單晶硅片的邊緣卡設在三根連接柱（2）上的刻槽（201）內；所述兩塊矩形板（1）的其中一塊上設置有與叉取石英舟的叉子配合的通槽（101）；所述底座包括底板（4）以及分別設置在底板（4）兩側的矩形擋板（5）和V形擋板（6），其中，底板（4）上開設有卡槽（401）和凸起（402），以使底座通過卡槽（401）卡設在倒片器石英舟工位上時，凸起（402）關閉倒片器石英舟工位的氣動開關；所述矩形擋板（5）和V形擋板（6）上分別設置有V型槽Ⅰ（501）和V型槽Ⅱ（601），以使石英舟的兩塊矩形板...

【專利技術屬性】
技術研發人員：李海濤，王曉飛，李建剛，苗利剛，
申請(專利權)人：麥斯克電子材料有限公司，
類型：新型
國別省市：河南;41