一種帶有冷卻裝置的硅片清洗機制造方法及圖紙
【技術實現步驟摘要】
本技術屬于硅片切割
，特別是涉及一種帶有冷卻裝置的硅片清洗機。
技術介紹
硅片在切割完成后需要經過脫膠、清洗。硅片在清洗機內清洗過后還有通過熱風進行烘干。目前硅片清洗機烘干出來的硅片溫度在60~70℃，溫度過高會影響分選機對硅片的檢測準確性。原有的解決方案是通過放置一段時間待硅片溫度降低到30℃左右的時候，再上分選機進行分選。這樣就造成了加工時間的延長，影響了生產效率。
技術實現思路
本技術目的在于針對現有硅片清洗機的缺陷，提供一種能夠快速冷卻硅片的帶有冷卻裝置的硅片清洗機。本技術為實現上述目的，采用如下技術方案：一種帶有冷卻裝置的硅片清洗機，包括硅片清洗機本體，其特征在于：在清洗機本體的下料臺上方設置有冷風通道，所述冷風通道通過風管與冷氣機相連，由冷氣機向冷風通道輸送冷風。其進一步特征在于：所述冷風通道出風口位于下料臺始端。進一步的：所述出風口內設置有導向板，所述導向板向下料臺尾端方向傾斜。優選的：所述冷風通道尾部設置有回風管，所述回風管與冷氣機進氣口相連。所述回風管內設置有回風風機。所述回風風機為軸流風機。所述冷風通道高度為250-350mm。本技術使烘干后的硅片在下料臺輸送過程中在冷風通道內快速冷卻，從60~70℃快速冷卻到30℃左右，就可以直接上分選機進行分選，大大減少了冷卻時間，提高了工作效率。附圖說明圖1為本技術結構示意圖。具體實施方式如圖1所示一種帶有冷卻裝置的硅片清洗機，包括硅片清洗機本體1，在清洗機本體1的下料臺2上方設置有冷風通道9，所述冷風通道9通過風管3與冷氣機4相連，由冷氣機4向冷風通道9輸送冷風。所述冷風通道9的出風口5位于...
【技術保護點】
一種帶有冷卻裝置的硅片清洗機，包括硅片清洗機本體，其特征在于：在清洗機本體的下料臺上方設置有冷風通道，所述冷風通道通過風管與冷氣機相連，由冷氣機向冷風通道輸送冷風。
【技術特征摘要】
1.一種帶有冷卻裝置的硅片清洗機，包括硅片清洗機本體，其特征在于：在清洗機本體的下料臺上方設置有冷風通道，所述冷風通道通過風管與冷氣機相連，由冷氣機向冷風通道輸送冷風。2.根據權利要求1所述的帶有冷卻裝置的硅片清洗機，其特征在于：所述冷風通道出風口位于下料臺始端。3.根據權利要求2所述的帶有冷卻裝置的硅片清洗機，其特征在于：所述出風口內設置有導向板，所述導向板向下料臺尾端方向傾斜。4.根據權利要...
【專利技術屬性】
技術研發人員：劉鋒，劉愛軍，陳新軍，
申請(專利權)人：無錫隆基硅材料有限公司，
類型：新型
國別省市：江蘇;32
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