多功能硅料清洗機制造技術

本實用新型專利技術提供一種多功能硅料清洗機，它從進料口方向往出料口方向依次設置有第一堿槽、第二堿槽、沖淋漂洗槽、酸洗槽、純水潛送槽、第一超聲清洗槽、第二超聲清洗槽、氮氣切水槽和第一烘干槽；酸洗槽上設置有第一機械臂，第二超聲清洗槽上設置有第二機械臂；本實用新型專利技術通過合理布局硅料清洗機槽體布局，優化了機械手臂運行流程，滿足了硅料清洗中酸洗和堿洗工藝的集成，大大節約了購買不同種類清洗設備的成本。

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及半導硅材料清洗領域，具體地指一種多功能硅料清洗機。
技術介紹
隨著鑄錠技術的發展，回收硅料表面致密度由全部致密向部分致密轉變，所需硅料清洗工藝類型由單一向復合轉變。現有市場和各用戶使用的硅料清洗機多為單種工藝類型，單體堿洗機或者酸洗機。要實現清洗場所同時具備的酸洗和堿洗工藝，必須購買2臺及以上的不同種類清洗設備。以現有市場11槽酸洗或堿洗硅料清洗設備計算，若同時配置1臺酸洗機和1臺堿洗機，綜合售價約在200萬左右。鑄錠回收硅料清洗一般采用混酸清洗或者堿腐蝕辦法進行，一臺設備只滿足一種工藝條件，由于硅料表面潔凈度和致密程度不同，不同種類回收硅料需采用不同清洗工藝。以半熔硅錠尾部硅料為例，由于在切割過程種滲入大量切割液和沉積硅粉。在選擇酸洗設備進行清洗時，硅料按酸腐蝕、漂洗沖淋、潛送、超聲、切水、烘干流程進行清洗，使用氫氟酸和硝酸混合溶液清洗效果不理想。其切割液不與混酸溶液發生反應，無去除效果；混酸溶液受溫度限制，硅料浸泡時間一般在10-30秒之間，沉積硅粉無法完全反應。
技術實現思路
本技術的目的在于提供一種多功能硅料清洗機，合理布局硅料清洗機槽體布局，優化機械手臂運行流程，滿足硅料清洗中酸洗和堿洗工藝的集成。本技術為解決上述技術問題，所采用的技術方案是：一種多功能硅料清洗機，它從進料口方向往出料口方向依次設置有第一堿槽、第二堿槽、沖淋漂洗槽、酸洗槽、純水潛送槽、第一超聲清洗槽、第二超聲清洗槽、氮氣切水槽和第一烘干槽；所述酸洗槽上設置有第一機械臂，所述第二超聲清洗槽上設置有第二機械臂。進一步地，所述第二堿槽相對一側設有堿液排放口，所述酸洗槽相對一側設有強酸排放口，所述純水潛送槽相對一側設有第一廢水排放口，所述氮氣切水槽相對一側設有第二廢水排放口。進一步地，第一烘干槽往出料口位置方向還設置有第二烘干槽和第三烘干槽。進一步地，所述第一堿槽相對一側設有第一漏液排放口，所述氮氣切水槽和第一烘干槽相鄰位置一側設有第二漏液排放口。進一步地，所述多功能硅料清洗機進料口一側還設置有控制系統運行的觸摸板操作面板。本技術通過合理布局硅料清洗機槽體布局，優化了機械手臂運行流程，滿足了硅料清洗中酸洗和堿洗工藝的集成，大大節約了購買不同種類清洗設備的成本。附圖說明圖1為一種多功能硅料清洗機的結構示意圖；圖中，第一堿槽1、第一漏液排放口1a、第二堿槽2、堿液排放口2a、沖淋漂洗槽3、第一機械臂4、酸洗槽5、強酸排放口5a、純水潛送槽6、第一廢水排放口6a、第一超聲清洗槽7、第二機械臂8、第二超聲清洗槽9、氮氣切水槽10、第二廢水排放口10a、第一烘干槽11、第二漏液排放口11a、第二烘干槽12、第三烘干槽13、觸摸板操作面板14。具體實施方式下面結合附圖和具體實施例對本技術作進一步的詳細描述。如圖1所示，一種多功能硅料清洗機，它從進料口方向往出料口方向依次設置有第一堿槽1、第二堿槽2、沖淋漂洗槽3、酸洗槽5、純水潛送槽6、第一超聲清洗槽7、第二超聲清洗槽9、氮氣切水槽10和第一烘干槽11、第二烘干槽12和第三烘干槽13；所述多功能硅料清洗機進料口一側還設置有控制系統運行的觸摸板操作面板14，這樣工作人員可以很方便地直接通過觸摸板操作面板14來控制第一機械臂4和第二機械臂8的搬運過程，并且控制各物料的添加與排放；所述酸洗槽5上設置有第一機械臂4，所述第二超聲清洗槽9上設置有第二機械臂8。所述第二堿槽2相對一側設有堿液排放口2a，所述酸洗槽5相對一側設有強酸排放口5a，所述純水潛送槽6相對一側設有第一廢水排放口6a，所述氮氣切水槽10相對一側設有第二廢水排放口10a。這樣使用過的堿液或強酸可以很快的進行排放以回收利用。所述第一堿槽1相對一側設有第一漏液排放口1a，所述氮氣切水槽10和第一烘干槽11相鄰位置一側設有第二漏液排放口11a。整個清洗機系統中存在的漏液可以通過這些排放口排出收集，以回收利用。本實施例工作過程如下：本實施例的堿洗工藝流程為：硅料由花籃裝料后由進料口進料，通過第一機械手臂4提拉放第一堿槽1或第二堿槽2中，第一堿槽1或第二堿槽2為并行排列，持續進料時，第一機械手臂4放籃按待料槽位順序放籃，腐蝕完成后按工藝完成時間優先順序提籃；堿腐蝕完成后，料籃按工藝時間順序放入沖淋漂洗槽3，沖淋結束后料籃進酸洗槽5，沖淋漂洗槽3排空沖淋后廢水，重新加高純水；料籃進酸洗槽5后，完成硅表面酸中和，由第一機械手臂4提料放入沖淋漂洗槽3，進行沖淋漂洗；漂洗結束第一機械手臂4提拉放入純水潛送槽6，漂洗結束沖淋漂洗槽3不排水，第一機械手臂4完成前段行程。第二機械臂8待料籃由純水潛送槽6一側移動至另一側限位后，提拉放入第一超聲清洗槽7，工藝時間完成后入第二超聲清洗槽9，第二級超聲結束后放入氮氣切水槽10，切水完成后按待料優先原則放入第一烘干槽11、第二烘干槽12和第三烘干槽13，烘干結束后提料下料。本實施例酸洗工藝流程為：硅料由花籃裝料后由進料口進料，第一機械手臂4提拉放入酸洗槽5，第一堿槽1、第二堿槽2為屏蔽狀態，混合酸洗完成后，由第一機械手臂4提料放入沖淋漂洗槽3，漂洗結束后沖淋漂洗槽3排水，重新加高純水；第一機械手臂4提拉放入純水潛送槽6，第一機械手臂4完成前段行程。第二機械臂8待料籃由純水潛送槽6一側移動至另一側限位后，提拉放入第一超聲清洗槽7，工藝時間完成后入第二超聲清洗槽9，第二級超聲結束后放入氮氣切水槽10，切水完成后按待料優先原則放入第一烘干槽11、第二烘干槽12和第三烘干槽13，烘干結束后提料下料。在上述第一堿槽1或第二堿槽2中，配比體積比為1:12堿水溶液；酸洗槽5中，配比體積比為1:5的氫氟酸和硝酸溶液。本實施例通過合理布局硅料清洗機槽體布局，通過兩個機械手臂完成硅料的搬運，優化了機械手臂運行流程，同時增加的氮氣切水槽10可以有效將硅料上的水吹掃干凈，有利于后續烘干步驟，最終本實施例可以實現硅料清洗中酸洗和堿洗工藝的集成。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種多功能硅料清洗機，其特征在于：它從進料口方向往出料口方向依次設置有第一堿槽（1）、第二堿槽（2）、沖淋漂洗槽（3）、酸洗槽（5）、純水潛送槽（6）、第一超聲清洗槽（7）、第二超聲清洗槽（9）、氮氣切水槽（10）和第一烘干槽（11）；所述酸洗槽（5）上設置有第一機械臂（4），所述第二超聲清洗槽（9）上設置有第二機械臂（8）。

【技術特征摘要】
1.一種多功能硅料清洗機，其特征在于：它從進料口方向往出料口方向依次設置有第一堿槽（1）、第二堿槽（2）、沖淋漂洗槽（3）、酸洗槽（5）、純水潛送槽（6）、第一超聲清洗槽（7）、第二超聲清洗槽（9）、氮氣切水槽（10）和第一烘干槽（11）；所述酸洗槽（5）上設置有第一機械臂（4），所述第二超聲清洗槽（9）上設置有第二機械臂（8）。2.根據權利要求1所述的多功能硅料清洗機，其特征在于：所述第二堿槽（2）相對一側設有堿液排放口（2a），所述酸洗槽（5）相對一側設有強酸排放口（5a），所述純水潛送槽（6）相對一側設有第一廢水排放...

【專利技術屬性】
技術研發人員：胡彭，周曉康，蔣紅元，肖宗衛，
申請(專利權)人：宜昌南玻硅材料有限公司，
類型：新型
國別省市：湖北;42