【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及硅片清洗工裝領域,具體為一種硅片連接結構。
技術介紹
硅片清洗是硅棒在經過切割機切割后,將切割好的硅片與尚粘連的連接件一起運至清洗工位上進行清洗,現有一般采用硅棒夾具,其配置有傳動機構及輸送架,一旦生產流水線上需要多個硅片輸送時,則對匹配輸送架的數量要求高,相對來說增加了成本。
技術實現思路
針對上述問題,本專利技術提供了一種硅片連接結構,其結構簡單,能可靠固定住硅片連接件便于清洗,針對多個硅片輸送時,無需增設輸送架。其技術方案是這樣的,其包括硅片連接件、支撐桿,硅片粘連于所述硅片連接件上,所述支撐桿的一端設置有限位環,其特征在于:所述硅片連接件的中部設置有螺紋孔,所述支撐桿的另一端設置有螺紋,兩根所述支撐桿的螺紋端連接所述螺紋孔。本專利技術的有益效果在于:硅片連接件的中部設置螺紋孔,兩根一端設有螺紋的支撐桿的螺紋端連接螺紋孔,這樣在運送硅片時,只要將兩根支撐桿擰入硅片連接件,支撐桿架在輸送機構上,再由限位環限位,即可很方便地進行運送,不需要配設更多的輸送架等設備,成本相對降低。附圖說明圖1為本專利技術的結構示意圖。具體實施方式見圖1,本專利技術包括硅片連接件1、支撐桿2,硅片3粘連于硅片連接件1上,支撐桿2的一端設置有限位環4,硅片連接件1的中部設置螺紋孔5,支撐桿2的另一端設置螺紋,兩根支撐桿2的螺紋端連接螺紋孔5。
【技術保護點】
一種硅片連接結構,其包括硅片連接件、支撐桿,硅片粘連于所述硅片連接件上,所述支撐桿的一端設置有限位環,其特征在于:所述硅片連接件的中部設置有螺紋孔,所述支撐桿的另一端設置有螺紋,兩根所述支撐桿的螺紋端連接所述螺紋孔。
【技術特征摘要】
1.一種硅片連接結構,其包括硅片連接件、支撐桿,硅片粘連于所述硅片連接件上,所述支撐桿的一端設置有限位環,其特征在于:...
【專利技術屬性】
技術研發人員:田蕓,
申請(專利權)人:無錫市福曼科技有限公司,
類型:發明
國別省市:江蘇;32
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