全自動硅片裂片機制造技術

本實用新型專利技術公開了一種全自動硅片裂片機，包括：底板，底板的一端設置有導軌，導軌一端設置有麥拉紙吸放機械手，另一端設置有硅片吸放機械手，硅片吸放機械手的一側設置有硅片定位臺；于麥拉紙吸放機械手與硅片吸放機械手之間，底板上設置有疊料旋轉平臺；對應疊料旋轉平臺，底板上設置有噴嘴；底板的一側設置有碾壓運料機構，碾壓運料機構包括與底板固定的支撐板，支撐板上設置有導軌絲桿，導軌絲桿上設置有升降絲桿，升降絲桿連接運料氣缸與壓輪，運料氣缸的伸縮軸與吸盤連接，于壓輪下方，底板上設置有裂片滾壓平臺，滾壓平臺的側邊設置有下料輸送帶。該硅片裂片機降低工作人員的勞動強度，具有穩定的可靠性，提高產品的良率與品質。

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及硅片加工設備，特別地，涉及一種全自動硅片裂片機。
技術介紹
國內甚至國際市場，大功率橋式整流器的生產工序中都會有硅片分離為晶粒、晶粒收集排布于封裝器件中的工序。目前，硅片分離為晶粒采用手工裂片、手工扒除邊角料，硅片在裂片過程中，因為其產品特性，裂片角度要求甚高，手工加工因操作力度，加工熟練程度等客觀因素的影響使硅片裂片的產品良率不高且不穩定，同時長時間、高速度的作業，人力已愈發不能滿足其生產需求。技術的進步助推了自動化替代人工、解放人工的進程，現在有許多形式的自動化設備涌現，但現有的自動化生產設備，具有結構復雜，產品裂片的不良率和品質風險較高的缺點。
技術實現思路
本技術目的在于提供一種全自動硅片裂片機，以解決技術中，硅片裂片的自動化生產設備結構復雜，產品裂片的不良率和品質風險較高的技術問題。為實現上述目的，本技術提供一種全自動硅片裂片機，包括：底板，所述底板的一端設置有導軌，所述導軌一端設置有麥拉紙吸放機械手，另一端設置有硅片吸放機械手，所述硅片吸放機械手的一側設置有硅片定位臺；于所述麥拉紙吸放機械手與所述硅片吸放機械手之間，所述底板上設置有疊料旋轉平臺；對應所述疊料旋轉平臺，所述底板上設置有噴嘴；所述底板的一側設置有碾壓運料機構，所述碾壓運料機構包括與所述底板固定的支撐板，所述支撐板上設置有導軌絲桿，所述導軌絲桿上設置有升降絲杠，所述升降絲杠與運料氣缸及壓輪連接，所述運料氣缸的伸縮軸與吸盤連接，于所述壓輪下方，所述底板上設置有裂片滾壓平臺，所述滾壓平臺的側邊設置有下料輸送帶。進一步地，所述壓輪為棱邊設置有R角的聚四氟乙烯方形壓輪；或者，為直徑6mm-18mm的聚四氟乙烯圓柱形壓輪。進一步地，所述硅片定位臺包括硅片托板，所述硅片托板上設置有硅片定位支架；于所述硅片定位支架與所述硅片托板的連接處，所述硅片托板上開設有定位凹槽，所述定位凹槽處設置有與所述定位凹槽相適配的定位塊，所述定位塊固定在所述底板上。進一步地，所述硅片托板放置在硅片盒內，所述硅片盒的底部設置有開口。進一步地，所述硅片盒呈圓柱形，所述硅片托板呈圓形。進一步地，所述硅片盒的口部邊緣設置有開口。進一步地，所述硅片定位支架呈倒U形，其兩端分別固定在所述定位凹槽的兩側。進一步地，所述硅片托板上的所述定位凹槽呈梯形，所述定位塊為梯形塊。本技術具有以下有益效果：該硅片裂片機結構簡單，成本低，能夠全自動的完成硅片的裂片工序，大大降低工作人員的勞動強度，具有穩定的可靠性，提高產品的良率與品質。附圖說明下面將參照圖，對本技術作進一步詳細的說明。構成本申請的一部分的附圖用來提供對本技術的進一步理解，本技術的示意性實施例及其說明用于解釋本技術，并不構成對本技術的不當限定。在附圖中：圖1是本技術全自動硅片裂片機優選實施例的結構示意圖；圖2是本技術全自動硅片裂片機優選實施例中硅片定位臺的結構示意圖。具體實施方式以下結合附圖對本技術的實施例進行詳細說明。請參閱圖1，本技術優選實施例提供一種全自動硅片裂片機，包括：底板20，所述底板20的一端設置有導軌21，所述導軌21一端設置有麥拉紙吸放機械手22，另一端設置有硅片吸放機械手23，所述硅片吸放機械手23的一側設置有硅片定位臺25；于所述麥拉紙吸放機械手22與所述硅片吸放機械手23之間，所述底板20上設置有疊料旋轉平臺24；對應所述疊料旋轉平臺24，所述底板20上設置有噴嘴26；所述底板20的一側設置有碾壓運料機構，所述碾壓運料機構包括與所述底板20固定的支撐板27，所述支撐板27上設置有導軌絲桿28，所述導軌絲桿28上設置有升降絲桿29，所述升降絲桿29與運料氣缸（圖未示）及壓輪32連接，所述運料氣缸的伸縮軸與吸盤31連接，于所述壓輪32下方，所述底板20上設置有裂片滾壓平臺33，所述滾壓平臺33的側邊設置有下料輸送帶34。工作時，硅片放置在硅片定位臺25內進行位置和角度定位，底板20可以設置負離子風發生器（圖未示），負離子風發生器向硅片定位臺25內吹入負離子風對硅片進行除靜電處理。然后，麥拉紙吸放機械手22沿導軌21移動，吸一層麥拉紙放置在疊料旋轉平臺24上，噴嘴26在麥拉紙上噴灑酒精和水的混合液，麥拉紙可以采用厚度5um-25um的聚酯絕緣薄膜。然后，硅片吸放機械手23沿導軌21移動在硅片定位臺25內吸一片硅片放置在麥拉紙上；然后，噴嘴26在麥拉紙及硅片上噴灑酒精和水的混合液，疊料旋轉平臺24同步旋轉45°；噴嘴26固定在底板20上，以一定角度將酒精和水的混合液噴灑到麥拉紙及硅片上，酒精和水的混合液比例在5:1-1:5的范圍內。此后，麥拉紙吸放機械手22沿導軌21移動，再吸一層麥拉紙放置在硅片上，將硅片覆蓋住。然后，碾壓運料機構中的升降絲桿29與吸盤31開始運作，升降絲桿29與吸盤31沿導軌絲桿28水平移動，吸盤31移動至疊料旋轉平臺24的位置，升降絲桿29與運料氣缸同時控制吸盤31上下升降，吸盤31將貼覆了麥拉紙的硅片吸住并運送到裂片滾壓平臺33上；然后，升降絲桿29與壓輪32沿導軌絲桿28移動，升降絲桿29帶動壓輪32上下升降，使壓輪32與裂片滾壓平臺33上的硅片接觸，壓輪32沿導軌絲桿28往復移動，壓輪32在硅片上滾動實現硅片的晶粒分離，裂片滾壓平臺33在每單次或往復滾壓后旋轉90°，最后一次壓輪滾壓不旋轉。完成滾壓后，運料氣缸與吸盤31沿導軌絲桿28移動至裂片滾壓平臺33的位置，吸盤31將硅片吸起運送至下料輸送帶34上，下料輸送帶34將硅片輸送至下個工序。該硅片裂片機結構簡單，成本低，能夠全自動的完成硅片的裂片工序，大大降低工作人員的勞動強度，具有穩定的可靠性，提高產品的良率與品質。優選地，為提高硅片的晶粒分離效果，所述壓輪32為棱邊設置有R角的聚四氟乙烯方形壓輪；或者，為直徑6mm-18mm的聚四氟乙烯圓柱形壓輪。請參閱圖2，優選地，所述硅片定位臺25包括硅片托板2，所述硅片托板2上設置有硅片定位支架4；于所述硅片定位支架4與所述硅片托板2的連接處，所述硅片托板2上開設有定位凹槽5，所述定位凹槽5處設置有與所述定位凹槽5相適配的定位塊6，所述定位塊6固定在所述底板20上。工作時，將硅片10整齊疊放在硅片托板2上，使硅片10的邊緊靠硅片定位支架4，將硅片托板2移動至固定在自動化生產設備上的定位塊6處，并使定位塊6適配入定位凹槽5內，通過定位塊6與定位凹槽5的相互配合，將硅片10定位在加工所需的位置與角度。該硅片定位臺25結構簡單，利用定位塊6與硅片托板2上的定位凹槽5相配合，實現硅片在加工過程中的位置與角度定位，使用方便，定位精準，大大提高產品的加工良率。優選地，所述硅片托板2放置在硅片盒1內，所述硅片盒1的底部設置有開口3。硅片托板2與硅片10整體放置在硅片盒1內后，硅片托板2上的定位凹槽5對準硅片盒1底部的開口3，然后，定位塊6可以從開口3插入定位凹槽5，同時，開口3處還可以使用風槍或風扇吹風，對硅片10起到去靜電的作用。在硅片盒1的限制下，硅片托板2上的硅片10的位置不會發生較大偏移，提高定位的準確性。優選地，所述硅片盒1呈圓柱形，所述硅片托板2呈圓形。優選地，所述硅片盒1的口部邊緣設置有開口，硅片盒1比硅片定位支架4本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種全自動硅片裂片機，其特征在于，包括：底板，所述底板的一端設置有導軌，所述導軌一端設置有麥拉紙吸放機械手，另一端設置有硅片吸放機械手，所述硅片吸放機械手的一側設置有硅片定位臺；于所述麥拉紙吸放機械手與所述硅片吸放機械手之間，所述底板上設置有疊料旋轉平臺；對應所述疊料旋轉平臺，所述底板上設置有噴嘴；所述底板的一側設置有碾壓運料機構，所述碾壓運料機構包括與所述底板固定的支撐板，所述支撐板上設置有導軌絲桿，所述導軌絲桿上設置有升降絲杠，所述升降絲杠與運料氣缸及壓輪連接，所述運料氣缸的伸縮軸與吸盤連接，于所述壓輪下方，所述底板上設置有裂片滾壓平臺，所述滾壓平臺的側邊設置有下料輸送帶。

【技術特征摘要】
1.一種全自動硅片裂片機，其特征在于，包括：底板，所述底板的一端設置有導軌，所述導軌一端設置有麥拉紙吸放機械手，另一端設置有硅片吸放機械手，所述硅片吸放機械手的一側設置有硅片定位臺；于所述麥拉紙吸放機械手與所述硅片吸放機械手之間，所述底板上設置有疊料旋轉平臺；對應所述疊料旋轉平臺，所述底板上設置有噴嘴；所述底板的一側設置有碾壓運料機構，所述碾壓運料機構包括與所述底板固定的支撐板，所述支撐板上設置有導軌絲桿，所述導軌絲桿上設置有升降絲杠，所述升降絲杠與運料氣缸及壓輪連接，所述運料氣缸的伸縮軸與吸盤連接，于所述壓輪下方，所述底板上設置有裂片滾壓平臺，所述滾壓平臺的側邊設置有下料輸送帶。2.根據權利要求1所述的全自動硅片裂片機，其特征在于：所述壓輪為棱邊設置有R角的聚四氟乙烯方形壓輪；或者，為直徑6mm-18mm的聚四氟乙烯圓柱形壓輪。3.根據權利要求1所...

【專利技術屬性】
技術研發人員：周孟秋，
申請(專利權)人：華朔工業自動化設備無錫有限公司，
類型：新型
國別省市：江蘇;32