一種射頻二氧化碳激光器用平板電極制造技術(shù)

本實(shí)用新型專利技術(shù)公開了一種射頻二氧化碳激光器用平板電極，其特征在于：鋁合金制成的平板電極表面設(shè)有防護(hù)層，防護(hù)層由氧化鋁或者鎳構(gòu)成。本實(shí)用新型專利技術(shù)通過在鋁合金制成的平板電極表面設(shè)置由氧化鋁或者鎳構(gòu)成的防護(hù)層，使得激光器運(yùn)行時(shí)，高速運(yùn)動(dòng)的帶電粒子對(duì)其轟擊也不會(huì)使鋁原子或其他粒子從平板電極表面濺射出來形成游離粒子，減少游離粒子對(duì)激光工作氣體的吸附，減少游離粒子吸附到鏡片上，從而使得游離粒子對(duì)激光器的使用壽命和性能產(chǎn)生的不利影響降低，故適宜推廣使用。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及激光器
，尤其是一種能夠減少鋁原子的濺射、降低游離鋁原子對(duì)激光器的不利影響且延長激光器使用壽命的射頻二氧化碳激光器用平板電極。
技術(shù)介紹
射頻二氧化碳激光器可廣泛應(yīng)用于工業(yè)加工和醫(yī)療等領(lǐng)域，是激光打標(biāo)機(jī)、雕刻機(jī)和激光治療儀的核心部件。射頻二氧化碳激光器利用高頻電源激勵(lì)諧振腔內(nèi)氣體，使其電離形成激光等離子體，產(chǎn)生輝光放電完成激光輸出。高頻電源激勵(lì)諧振腔內(nèi)氣體放電是通過平板電極實(shí)現(xiàn)電壓的加載，處于兩塊平板電極之間的激光工作氣體，在強(qiáng)電場(chǎng)作用下電離為等離子體，等離子體中的帶電粒子，在方向交替變化的強(qiáng)電場(chǎng)作用下，在兩塊電極板之間高速往返運(yùn)動(dòng)?，F(xiàn)有技術(shù)中的平板電極一般由鋁合金制成，激光器運(yùn)行過程中高速運(yùn)動(dòng)的帶電粒子會(huì)不斷的轟擊鋁合金電極表面，鋁原子被轟擊時(shí)易發(fā)生濺射從電極表面逸出，混入激光工作氣體中，隨著激光器運(yùn)行時(shí)間的延長，濺射出來的鋁原子會(huì)越來越多，因鋁原子表面積較大，濺射出的鋁原子會(huì)吸附激光工作氣體，使激光工作氣體的總量下降，同時(shí)氣體比例也會(huì)發(fā)生變化，不利于激光器的穩(wěn)定運(yùn)行，縮短激光器的使用壽命。而且電極表面因鋁原子的濺射會(huì)形成孔洞，這些孔洞也會(huì)吸附激光工作氣體，加劇上述過程。另外，濺射出的鋁原子還會(huì)吸附到諧振腔內(nèi)側(cè)的鏡片表面，降低鏡片對(duì)激光的反射率，從而降低激光的輸出功率，影響激光器性能。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，提供一種能夠減少鋁原子的濺射、降低游離鋁原子對(duì)激光器的不利影響且延長激光器使用壽命的射頻二氧化碳激光器用平板電極。本技術(shù)的目的是通過以下技術(shù)方案解決的：一種射頻二氧化碳激光器用平板電極，其特征在于：鋁合金制成的平板電極表面設(shè)有防護(hù)層，防護(hù)層由氧化鋁或者鎳構(gòu)成。所述平板電極的表面通過導(dǎo)電陽極化處理使得電極表面構(gòu)成10-20微米厚度的氧化鋁防護(hù)層。所述平板電極的表面通過鍍鎳處理使得電極表面構(gòu)成8-10微米厚度的鎳防護(hù)層。本技術(shù)相比現(xiàn)有技術(shù)有如下優(yōu)點(diǎn)：本技術(shù)通過在鋁合金制成的平板電極表面設(shè)置由氧化鋁或者鎳構(gòu)成的防護(hù)層，使得激光器運(yùn)行時(shí)，高速運(yùn)動(dòng)的帶電粒子對(duì)其轟擊也不會(huì)使鋁原子或其他粒子從平板電極表面濺射出來形成游離粒子，減少游離粒子對(duì)激光工作氣體的吸附，減少游離粒子吸附到鏡片上，從而使得游離粒子對(duì)激光器的使用壽命和性能產(chǎn)生的不利影響降低，故適宜推廣使用。附圖說明附圖1為本技術(shù)的射頻二氧化碳激光器用平板電極的結(jié)構(gòu)示意圖。其中：1—平板電極；2—防護(hù)層。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖與實(shí)施例對(duì)本技術(shù)作進(jìn)一步的說明。如圖1所示：一種射頻二氧化碳激光器用平板電極，鋁合金制成的平板電極1表面設(shè)有防護(hù)層2，防護(hù)層2由氧化鋁或者鎳構(gòu)成；平板電極1的表面通過導(dǎo)電陽極化處理使得電極表面構(gòu)成10-20微米厚度的氧化鋁防護(hù)層2，因氧化鋁的結(jié)構(gòu)較鋁合金致密，激光器運(yùn)行時(shí)，高速運(yùn)動(dòng)的帶電粒子對(duì)其轟擊也不會(huì)使鋁原子或其他粒子從平板電極1表面濺射出來形成游離粒子，減少游離粒子對(duì)激光工作氣體的吸附，減少游離粒子吸附到鏡片上，從而使得游離粒子對(duì)激光器的使用壽命和性能產(chǎn)生的不利影響降低；或者平板電極1的表面通過鍍鎳處理使得電極表面構(gòu)成8-10微米厚度的鎳防護(hù)層2，因鎳的結(jié)構(gòu)較鋁合金致密，激光器運(yùn)行時(shí)，高速運(yùn)動(dòng)的帶電粒子對(duì)其轟擊也不會(huì)使鋁原子或其他粒子從平板電極1表面濺射出來形成游離粒子，減少游離粒子對(duì)激光工作氣體的吸附，減少游離粒子吸附到鏡片上，從而使得游離粒子對(duì)激光器的使用壽命和性能產(chǎn)生的不利影響降低。如果不做表面處理，激光工作氣體電離成激光等離子體時(shí)生成的電子不斷轟擊平板電極1表面，產(chǎn)生鋁原子濺射，濺射出的鋁原子表面會(huì)吸附激光工作氣體，使激光工作氣體的總量減少且氣體比例發(fā)生變化，影響激光器的工作壽命，濺射出的鋁原子還會(huì)吸附到鏡片表面，減少鏡片的使用壽命。本技術(shù)的平板電極1采用的鋁合金材料編號(hào)為：LY12、6063和6061。本技術(shù)通過在鋁合金制成的平板電極1表面設(shè)置由氧化鋁或者鎳構(gòu)成的防護(hù)層2，使得激光器運(yùn)行時(shí)，高速運(yùn)動(dòng)的帶電粒子對(duì)其轟擊也不會(huì)使鋁原子或其他粒子從平板電極1表面濺射出來形成游離粒子，減少游離粒子對(duì)激光工作氣體的吸附，減少游離粒子吸附到鏡片上，從而使得游離粒子對(duì)激光器的使用壽命和性能產(chǎn)生的不利影響降低，故適宜推廣使用。以上實(shí)施例僅為說明本技術(shù)的技術(shù)思想，不能以此限定本技術(shù)的保護(hù)范圍，凡是按照本技術(shù)提出的技術(shù)思想，在技術(shù)方案基礎(chǔ)上所做的任何改動(dòng)，均落入本技術(shù)保護(hù)范圍之內(nèi)；本技術(shù)未涉及的技術(shù)均可通過現(xiàn)有技術(shù)加以實(shí)現(xiàn)。本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種射頻二氧化碳激光器用平板電極，其特征在于：鋁合金制成的平板電極（1）表面設(shè)有防護(hù)層（2），防護(hù)層（2）由氧化鋁或者鎳構(gòu)成。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種射頻二氧化碳激光器用平板電極，其特征在于：鋁合金制成的平板電極（1）表面設(shè)有防護(hù)層（2），防護(hù)層（2）由氧化鋁或者鎳構(gòu)成。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻二氧化碳激光器用平板電極，其特征在于：所述平板電極（1）的表面通...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：唐友清，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：南京晨銳騰晶激光科技有限公司，
類型：新型
國別省市：江蘇;32