一種測量鍺窗片平行度的方法及其裝置制造方法及圖紙
【技術實現步驟摘要】
本專利技術屬于光學檢測領域，具體是一種測量鍺窗片平行度的方法及其裝置。
技術介紹
光膠是指不用黏結劑，稍加壓力使兩個清潔光滑和面形一致的光學零件表面吸附在一起的工藝過程，光膠后兩光膠面之間相互平行；而光膠板是指平面度較高并用于光膠產品的基準板。鍺窗片是紅外熱成像系統中探測器前方的一個平行平面窗口元件；它起到透過紅外波段(8~14μm)和密封杜瓦瓶的作用，因此對高精度鍺窗片的平行度要求很高（θ≤10″），但由于鍺窗片無法透過可見光，故無法采用常規的可見光干涉測量，目前高精度測量僅能采用新天JJ2數字式2″光學分度頭進行測量，但該設備十分昂貴，且測量出的平行度僅是鍺窗片上下兩表面的夾角，不包含表面平面度信息（比如無法體現鍺窗片表面中心低邊緣高對平行度的影響情況），是不準確的平行度，故需專利技術出一種結構相對簡單的高精度測量方法及其裝置。
技術實現思路
本專利技術提供的方法是將待測鍺窗片光膠于光膠板上，再放置于平臺上，通過調整平臺傾斜度使光膠板表面與激光垂直，這時鍺窗片上表面反射的激光發生偏移量為A,接收激光的平面和鍺窗片之間距離為L，即可得出鍺窗片上下兩表面的平行度為θ=arctan(A/L)/2；同時根據該方法采用一個氦氖激光器系統、一個可調傾斜度的平臺和一個接收反射激光的基準平面及其測量分析軟件來搭建測量裝置。附圖說明參照附圖結合實例對本專利技術作進一步的描述如下：圖1是一種測量鍺窗片平行度的方法及其裝置的示意圖。具體實施方式將待測鍺窗片的下表面光膠于平面度為100nm的熔石英光膠板上，使得鍺窗片的下表面與光膠板表面完全平行，通過調整平臺傾斜度使光膠板表面與...
【技術保護點】
一種測量鍺窗片平行度的方法及其裝置，其特征在于:?所述方法是將待測鍺窗片光膠于光膠板上，再放置于平臺上，通過調整平臺傾斜度使光膠板表面與激光垂直，這時鍺窗片上表面反射的激光發生偏移量為A,接收激光的平面和鍺窗片之間距離為L，即可得出鍺窗片上下兩表面的平行度為θ=arctan(A/L)/2。
【技術特征摘要】
1.一種測量鍺窗片平行度的方法及其裝置，其特征在于:所述方法是將待測鍺窗片光膠于光膠板上，再放置于平臺上，通過調整平臺傾斜度使光膠板表面與激光垂直，...
【專利技術屬性】
技術研發人員：肖忠杰，羅興木，姜心聲，王昌運，陳偉，
申請(專利權)人：福建福晶科技股份有限公司，
類型：發明
國別省市：福建;35
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