一種鍍鎳Mo/Ti靶材的制備方法技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)提供了一種鍍鎳Mo/Ti靶材的制備方法，包括以下步驟：將表面經(jīng)過噴砂處理的Mo/Ti靶材進(jìn)行活化處理后，置于鍍鎳液中鍍鎳，得到鍍鎳Mo/Ti靶材，所述活化劑為硝酸、氫氟酸與水的混合溶液。本發(fā)明專利技術(shù)通過在Mo/Ti靶材鍍鎳的方式，得到了一種鍍鎳靶材。本發(fā)明專利技術(shù)在鍍鎳前，將靶材進(jìn)行噴砂處理，同時(shí)，以硝酸、氫氟酸與水的混合溶液作為Mo/Ti靶材表面的活化劑對靶材活化處理，保證了Mo/Ti靶材表面鍍鎳層的可鍍性與鍍鎳厚度，進(jìn)而通過鍍鎳層與焊料很好的潤濕、結(jié)合，從而實(shí)現(xiàn)了Mo/Ti靶材與背板良好的結(jié)合。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術(shù)屬于集成電路鍍膜濺射靶材
，具體涉及一種鍍鎳Mo/Ti靶材的制備方法。
技術(shù)介紹
Mo/Ti材料被廣泛應(yīng)用于集成電路鍍膜行業(yè)，市場前景廣闊。而目前國內(nèi)對此材料的開發(fā)應(yīng)用尚處在初級階段，還未能形成產(chǎn)能。另一方面，作為此種材料最為重要的合成材料—鉬的全球最大存儲與生產(chǎn)國，我國在這一領(lǐng)域的開發(fā)具有很大的潛力。Mo/Ti材料用于濺射鍍膜前需與其它材料的背板(BP)進(jìn)行焊接，焊接的結(jié)合率與結(jié)合強(qiáng)度直接影響其成品的使用。但是Mo/Ti材料與現(xiàn)今流行的各種焊料(In、SnAgCu、Sn等)均沒有很好的結(jié)合性能，從而限制了Mo/Ti材料在集成電路鍍膜領(lǐng)域的進(jìn)一步發(fā)展。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
有鑒于此，本專利技術(shù)要解決的技術(shù)問題在于提供一種鍍鎳Mo/Ti靶材的制備方法，采用本專利技術(shù)提供的方法得到的鍍鎳靶材可以與背板實(shí)現(xiàn)良好的結(jié)合。本專利技術(shù)提供了一種鍍鎳Mo/Ti靶材的制備方法，包括以下步驟：將表面經(jīng)過噴砂處理的Mo/Ti靶材進(jìn)行活化處理后，置于鍍鎳液中鍍鎳，得到鍍鎳Mo/Ti靶材，所述活化劑為硝酸、氫氟酸與水的混合溶液。優(yōu)選的，所述活化劑中硝酸、氫氟酸與水的體積比為：(3±0.5)：(1±0.5)：(4±0.5)。優(yōu)選的，所述噴砂處理的噴料選自12～80號白剛玉。優(yōu)選的，所述噴砂處理的噴砂機(jī)空氣壓力為0.30～0.35Mpa。優(yōu)選的，所述噴砂處理的噴砂槍的噴嘴到Mo/Ti靶材的待焊接面的垂直距離范圍為10cm～15cm。優(yōu)選的，所述噴砂處理的噴砂槍噴出噴料的方向與靶材的待焊接面的夾角為0°～180°，且不為0°、90°以及180°。優(yōu)選的，所述活化處理的時(shí)間為55～65s。優(yōu)選的，所述鍍鎳液選自中磷化學(xué)鍍鎳液。優(yōu)選的，所述鍍鎳的溫度為86～90℃，鍍鎳的時(shí)間為25～30min，鍍鎳的pH值為4.6～4.8。優(yōu)選的，所述Mo/Ti靶材的施鍍面積與鍍鎳液體積比為0.5～1.5dm2/L。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本專利技術(shù)提供了一種鍍鎳Mo/Ti靶材的制備方法，包括以下步驟：將表面經(jīng)過噴砂處理的Mo/Ti靶材進(jìn)行活化處理后，置于鍍鎳液中鍍鎳，得到鍍鎳Mo/Ti靶材，所述活化劑為硝酸、氫氟酸與水的混合溶液。本專利技術(shù)通過在Mo/Ti靶材鍍鎳的方式，得到了一種鍍鎳靶材。本專利技術(shù)在鍍鎳前，將靶材進(jìn)行噴砂處理，同時(shí)，以硝酸、氫氟酸與水的混合溶液作為Mo/Ti靶材表面的活化劑對靶材活化處理，保證了Mo/Ti靶材表面鍍鎳層的可鍍性與鍍鎳厚度，進(jìn)而通過鍍鎳層與焊料很好的潤濕、結(jié)合，從而實(shí)現(xiàn)了Mo/Ti靶材與背板良好的結(jié)合。結(jié)果表明，鍍鎳Mo/Ti靶材的制備方法得到的鍍鎳Mo/Ti靶材的厚度≥8.9μm，與背板可以實(shí)現(xiàn)良好的焊接。附圖說明圖1為本專利技術(shù)提供的鍍鎳Mo/Ti靶材與背板結(jié)合的工藝流程圖。具體實(shí)施方式本專利技術(shù)提供了一種鍍鎳Mo/Ti靶材的制備方法，包括以下步驟：將表面經(jīng)過噴砂處理的Mo/Ti靶材進(jìn)行活化處理后，置于鍍鎳液中鍍鎳，得到鍍鎳Mo/Ti靶材，所述活化劑為硝酸、氫氟酸與水的混合溶液。本專利技術(shù)首先將Mo/Ti靶材的待鍍表面進(jìn)行噴砂處理，得到表面經(jīng)過噴砂處理的Mo/Ti靶材。由于Mo/Ti靶材的硬度較大，本專利技術(shù)優(yōu)選采用白剛玉作為噴砂處理的噴料。所述白剛玉以工業(yè)氧化鋁粉為原料，于電弧中經(jīng)2000度以上高溫熔煉后冷卻制成，經(jīng)粉碎整形，磁選去鐵，篩分成多種粒度，其質(zhì)地致密、硬度高，粒形成尖角狀，適用于噴砂、拋光、研磨、制造陶瓷、樹脂固結(jié)磨具以及噴涂材料、化工觸媒載體等，對鐵質(zhì)污染有嚴(yán)格要求的場合使用，還可用于制造高級耐火材料，代號“WA”用于國際通用標(biāo)準(zhǔn)、產(chǎn)品粒度按國際標(biāo)準(zhǔn)以及各國標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)，可按用戶要求粒度進(jìn)行加工。通用粒度號為4～220號，其化學(xué)成份視粒度大小而不同。突出的特點(diǎn)是晶體尺寸小、耐沖擊。在本專利技術(shù)中，優(yōu)選采用12～80號白剛玉砂型，在本專利技術(shù)的一些具體實(shí)施方式中，所述噴料選用46號白剛玉。選定噴料后，將所述噴料置于噴砂機(jī)內(nèi)，調(diào)整噴砂機(jī)的壓力范圍、噴砂槍的噴嘴到Mo/Ti靶材的待焊接面的距離以及噴砂槍噴出噴料的方向與靶材的待焊接面的夾角，開啟噴砂機(jī)，即可對Mo/Ti靶材的待鍍表面進(jìn)行噴砂處理。在本專利技術(shù)中，所述噴砂機(jī)空氣壓力范圍控制在0.30MPa～0.35MPa，空氣壓力不能過高，這是因?yàn)镸o/Ti質(zhì)脆，若大于0.35MPa，則噴砂的動(dòng)力太大，使Mo/Ti靶材的棱線處出現(xiàn)崩角現(xiàn)象，影響產(chǎn)品外觀及完整性。如果空氣壓力小于0.30MPa，則噴砂的動(dòng)力不足，使靶材的待焊接面坑的平均深度太小，影響后續(xù)的金屬鍍層與靶材的待焊接面的結(jié)合力。在本專利技術(shù)的一些具體實(shí)施方式中，所述空氣壓力為0.3MPa，在本專利技術(shù)的另一些具體實(shí)施方式中，所述空氣壓力為0.35MPa。本專利技術(shù)所述噴砂處理的噴砂槍的噴嘴到Mo/Ti靶材的待焊接面的垂直距離范圍為10cm～15cm。在本專利技術(shù)的一些具體實(shí)施方式中，所述噴砂槍的噴嘴到Mo/Ti靶材的待焊接面的垂直距離為15cm，在本專利技術(shù)的另一些具體實(shí)施方式中，所述噴砂槍的噴嘴到Mo/Ti靶材的待焊接面的垂直距離為10cm。本專利技術(shù)所述噴砂槍噴出噴料的方向與靶材的待焊接面的夾角為0°～180°，且不為0°、90°以及180°，優(yōu)選為30°～60°。在本專利技術(shù)的一些具體實(shí)施方式中，所述噴砂槍噴出噴料的方向與靶材的待焊接面的夾角為45°，在本專利技術(shù)的另一些具體實(shí)施方式中，所述噴砂槍噴出噴料的方向與靶材的待焊接面的夾角為60°。噴砂工藝結(jié)束后，在Mo/Ti靶材的待焊接面形成平均深度為6μm～10μm的粗糙層。在本專利技術(shù)中，在噴砂工藝結(jié)束之后，優(yōu)選對Mo/Ti靶材的全部表面或者是待焊接面進(jìn)行高壓水槍清洗干凈，然后用去離子水或者純凈水進(jìn)行清洗，清洗時(shí)間為1min～2min，這么做的目的是為了防止待焊接面坑內(nèi)存有粉末狀附著層，影響后續(xù)鍍鎳及焊接效果。將噴砂后的Mo/Ti靶材清洗干凈后，還需要對所述Mo/Ti靶材進(jìn)行活化處理，對Mo/Ti靶材的待焊接面進(jìn)行活化處理其目的是為了增大Mo/Ti靶材的待焊接面的活化能，使Mo/Ti靶材的待焊接面的反應(yīng)活性增強(qiáng)，增加Mo/Ti靶材的待焊接面的化學(xué)鍍金屬層的速度，避免金屬鍍層與Mo/Ti靶材的待焊接面無法結(jié)合，或結(jié)合不牢的問題。在本專利技術(shù)中，所述活化劑為硝酸、氫氟酸與水的混合溶液。其中，所述活化劑中硝酸、氫氟酸與水的體積比優(yōu)選為：(3±0.5)：(1±0.5)：(4±0.5)。在本專利技術(shù)的一些具體實(shí)施方式中，所述硝酸、氫氟酸與水的體積比為3:1:4。所述活化處理的時(shí)間為55～65s，在本專利技術(shù)的一些具體實(shí)施方式中，所述活化處理的時(shí)間為60s，在本專利技術(shù)的另一些具體實(shí)施方式中，所述活化的時(shí)間為65s。活化處理結(jié)束后，將所述Mo/Ti靶材置于鍍鎳液中鍍鎳。本專利技術(shù)所述鍍鎳液優(yōu)選中磷化學(xué)鍍鎳液。本專利技術(shù)對所述中磷化學(xué)鍍鎳液的來源并沒有特殊限制，一般市售即可。在本專利技術(shù)的一些具體實(shí)施方式中，所述中磷化學(xué)鍍鎳液優(yōu)選型號為SYC300A、SYC300B和SYC300C中的一種或多種，在本專利技術(shù)的另一些具體實(shí)施方式中，所述中磷化學(xué)鍍鎳液為型號為SYC300A、SYC300B和SYC300C的中磷化學(xué)鍍鎳液的混合液，在所述混合液中，S本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種鍍鎳Mo/Ti靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：將表面經(jīng)過噴砂處理的Mo/Ti靶材進(jìn)行活化處理后，置于鍍鎳液中鍍鎳，得到鍍鎳Mo/Ti靶材，所述活化劑為硝酸、氫氟酸與水的混合溶液。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種鍍鎳Mo/Ti靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：將表面經(jīng)過噴砂處理的Mo/Ti靶材進(jìn)行活化處理后，置于鍍鎳液中鍍鎳，得到鍍鎳Mo/Ti靶材，所述活化劑為硝酸、氫氟酸與水的混合溶液。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述活化劑中硝酸、氫氟酸與水的體積比為：(3±0.5)：(1±0.5)：(4±0.5)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述噴砂處理的噴料選自12～80號白剛玉。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述噴砂處理的噴砂機(jī)空氣壓力為0.30～0.35Mpa。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述噴砂處理的噴砂槍的噴嘴到Mo/Ti靶...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：姚力軍，潘杰，相原俊夫，大巖一彥，王學(xué)澤，段高林，
申請(專利權(quán))人：寧波江豐電子材料股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：浙江;33