本發明專利技術涉及真空泵技術領域，具體地說是一種用于多級真空泵的防沖擊結構和具有該結構的多級真空泵。一種用于多級真空泵的防沖擊結構，包括真空泵腔體、壓力控制閥門、排氣切換閥門及沖擊管路，其中真空泵腔體上設有腔體排氣口，所述沖擊管路的一端與所述腔體排氣口連通，另一端與多級真空泵的排氣管路連通，所述沖擊管路上設有壓力控制閥門和/或排氣切換閥門。所述多級真空泵的一級真空泵腔體和二級真空泵腔體上均設有所述防沖擊結構。本發明專利技術將經過壓縮的已經達到許用排氣壓力的工作介質直接排放到排氣口處，由于壓縮過程減少，可以減少由于腔體級別壓力差產生的反流，可以提高在低真空階段的抽速。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及真空泵
，具體地說是一種用于多級真空泵的防沖擊結構和具有該結構的多級真空泵。
技術介紹
真空泵吸取工作介質時會由泵腔和轉子壓縮工作介質，會形成較大的壓縮比，壓縮比的數值經常為3～100之間，普遍的機械式真空泵的壓縮比為2～15之間，實際測量泵的壓縮比的方法是測量泵進氣口與排氣口的壓力，比如羅茨泵的進氣口壓力為1Pa，前級提供的背壓力為15Pa，該泵的壓縮比即位15。在固定壓縮比的條件下，多級真空泵吸取1個大氣壓力的工作介質，可以在排氣口壓力形成15個大氣壓力的理論值，根據經驗，該壓力也會在2～3個大氣壓之間，多級真空泵排氣壓力約為2大氣壓，該泵在第一級排氣口經過壓縮后已經達到排氣條件，因為管路原因，繼續流通到后面的級別，再進行壓縮。真空泵的抽速計算為S＝Q/t，其中S：真空泵抽速；Q：抽取的氣體量；T：抽氣時間。真空泵在工作中抽取的氣體量Q＝Q1-Q2，其中Q1：理論抽速；Q2：返流量，而返流量Q2取決于Q2＝ΔP/L，其中ΔP：真空泵進氣口與排氣口的壓差；L：真空泵的返流流阻，真空泵的返流流阻L是一個定值；即真空泵進氣口與排氣口的壓差會對抽速造成決定性影響。如上所述的壓縮過程中工作介質壓力較高，相對的各個級別間的壓差也會升高，腔體的返流會增大；會影響泵在低壓段的抽速。
技術實現思路
針對上述問題，本專利技術的目的在于提供一種用于多級真空泵的防沖擊結構和具有該結構的多級真空泵。為了實現上述目的，本專利技術采用以下技術方案：一種用于多級真空泵的防沖擊結構，包括真空泵腔體、壓力控制閥門、排氣切換閥門及沖擊管路，其中真空泵腔體上設有腔體排氣口，所述沖擊管路的一端與所述腔體排氣口連通，另一端與多級真空泵的泵排氣管路連通，所述沖擊管路上設有壓力控制閥門和/或排氣切換閥門。所述真空泵腔體上的腔體排氣口處設有用于控制壓力控制閥門的排氣壓力傳感器。所述腔體排氣口設置于真空泵腔體的底部。所述多級真空泵的一級腔體和二級腔體上均設有所述防沖擊結構。所述多級真空泵至少為三級真空泵。本專利技術的優點及有益效果是：本專利技術將經過壓縮的已經達到許用排氣壓力的工作介質直接排放到排氣口處，由于壓縮過程減少，可以減少由于腔體級別壓力差產生的反流，可以提高在低真空階段的抽速。說明書附圖圖1為本專利技術中防沖擊結構的結構示意圖；圖2為本專利技術中具有防沖擊結構的多級真空泵的結構示意圖。其中：1為真空泵腔體，2為排氣壓力傳感器，3為壓力控制閥，4為排氣切換閥，5為沖擊管路，10為一級腔體，11為二級腔體，12為五級腔體，13為一級防沖擊排氣結構，14為二級防沖擊排氣結構，15為泵排氣管路。具體實施方式下面結合附圖對本專利技術作進一步的描述。如圖1所示，本專利技術用于多級真空泵的防沖擊結構包括真空泵腔體1、壓力控制閥門3、排氣切換閥門4及沖擊管路5，其中真空泵腔體1上設有腔體排氣口，所述沖擊管路5的一端與所述腔體排氣口連通，另一端與多級真空泵的排氣管路連通，所述沖擊管路5上設有壓力控制閥門3和/或排氣切換閥門4。所述真空泵腔體1上的腔體排氣口處設有用于控制壓力控制閥門3的排氣壓力傳感器2，所述腔體排氣口設置于真空泵腔體1的底部。如圖2所示，一種具有防沖擊結構的多級真空泵，所述多級真空泵的一級腔體10和二級腔體11上均設有所述防沖擊結構。所述多級真空泵至少為三級真空泵，本實施例采用五級真空泵。所述多級真空泵可以完成在抽取壓力較高的工藝氣體時，在達到一級或二級的排氣壓力的情況下，該級別真空泵排出壓力控制閥門3控制的工藝氣體，經由沖擊管路5向排氣管路排出的過程。實施例一一種用于多級真空泵的防沖擊結構包括真空泵腔體1、壓力控制閥門3、排氣切換閥門4及沖擊管路5，其中真空泵腔體1的底部設有腔體排氣口，所述沖擊管路5的一端與所述腔體排氣口連通，另一端與多級真空泵的排氣管路連通，所述沖擊管路5上設有壓力控制閥門3和排氣切換閥門4。所述腔體排氣口處設有用于控制壓力控制閥門3的排氣壓力傳感器2。所述防沖擊結構可以完成該級真空泵在抽取壓力較高的工藝氣體時，并在達到該級別真空泵設定的排氣壓力時，向排氣管路進行排氣的過程。實施例二一種用于多級真空泵的防沖擊結構包括真空泵腔體1、壓力控制閥門3及沖擊管路5，其中真空泵腔體1的底部設有腔體排氣口，所述沖擊管路5的一端與所述腔體排氣口連通，另一端與多級真空泵的排氣管路連通，所述沖擊管路5上設有壓力控制閥門3，所述腔體排氣口處設有用于控制壓力控制閥門3的排氣壓力傳感器2。所述防沖擊結構可以完成該級真空泵在抽取壓力較高的工藝氣體時，并在達到該級別真空泵設定的排氣壓力時，向排氣管路進行排氣的過程。實施例三一種用于多級真空泵的防沖擊結構包括真空泵腔體1、排氣切換閥門4及沖擊管路5，其中真空泵腔體1的底部設有腔體排氣口，所述沖擊管路5的一端與所述腔體排氣口連通，另一端與多級真空泵的排氣管路連通，所述沖擊管路5上設有排氣切換閥門4。所述防沖擊結構可以完成該級真空泵在抽取壓力較高的工藝氣體時，并在達到該級別真空泵設定的排氣壓力時，向排氣管路進行排氣的過程。所述防沖擊結構可以實現在多級真空泵用于裝載腔、卸載腔等頻繁工作在大氣壓力狀態下的泵的沖擊保護。在現實工藝中，當抽取大氣時，在排氣切換閥門4和壓力控制閥門3的作用下，工藝氣體經由排氣管路直接排放到泵排氣口或者后面級別的泵腔，然后再排出到出氣口。因此，本專利技術將一級腔體壓縮的工藝氣體直接排放到了排氣口，降低了由二、三、四、五級腔體進行抽真空所產生的負載，另外由于壓縮過程減少，可以減少由于腔體級別壓力差產生的反流，可以提高在低真空階段的抽速。本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種用于多級真空泵的防沖擊結構，其特征在于：包括真空泵腔體(1)、壓力控制閥門(3)、排氣切換閥門(4)及沖擊管路(5)，其中真空泵腔體(1)上設有腔體排氣口，所述沖擊管路(5)的一端與所述腔體排氣口連通，另一端與多級真空泵的泵排氣管路連通，所述沖擊管路(5)上設有壓力控制閥門(3)和/或排氣切換閥門(4)。
【技術特征摘要】
1.一種用于多級真空泵的防沖擊結構，其特征在于：包括真空泵腔體
(1)、壓力控制閥門(3)、排氣切換閥門(4)及沖擊管路(5)，其中真空泵
腔體(1)上設有腔體排氣口，所述沖擊管路(5)的一端與所述腔體排氣口
連通，另一端與多級真空泵的泵排氣管路連通，所述沖擊管路(5)上設有壓
力控制閥門(3)和/或排氣切換閥門(4)。
2.按權利要求1所述的用于多級真空泵的防沖擊結構，其特征在于：所
述真空泵腔體(1)上的腔體排氣...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王光玉，孔祥玲，張曉玉，雷震霖，
申請(專利權)人：中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司，
類型：發明
國別省市：遼寧;21
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