硅片減薄砂輪制造技術(shù)

本實(shí)用新型專利技術(shù)公開了一種硅片減薄砂輪，包括輪體，輪體的一側(cè)設(shè)有至少一圈磨料層，磨料層采用陶瓷結(jié)合劑材料制成，磨料層包括多段磨料塊，相鄰的兩個磨料塊形成有空隙。本實(shí)用新型專利技術(shù)中，由于采用磨削性能優(yōu)良陶瓷結(jié)合劑，所以磨削力小，磨削溫度低，壽命長，經(jīng)久耐用。同時(shí)，本實(shí)用新型專利技術(shù)采用多圈磨料層，而每一圈磨料層又由磨料塊組成，磨料塊之間形成有空隙，通過空隙可以很好的散熱，在一定程度上可以延長本實(shí)用新型專利技術(shù)的工作時(shí)間，從而增大工作效率，并且空隙還可以容納大量的廢屑，只需要在工作工程中利用磨削液沖洗廢屑，即可保證排屑和散熱功能。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及一種硅片減薄砂輪。
技術(shù)介紹
電子產(chǎn)品對高性能，多功能、小型化和低成本的需求推動了集成電路(硅片板)制造技術(shù)的高速發(fā)展，特別是便攜式電子產(chǎn)品的飛速發(fā)展對硅片提出了越來越高的要求，在保證電性能穩(wěn)定，成本下降的前提下，必須對硅片進(jìn)行背面減薄，且要求減薄硅片具有高面型精度，無表面/亞表面損傷。目前，采用硅片減薄砂輪的超精密磨削技術(shù)在硅片的背面減薄加工中得到廣泛應(yīng)用，但是隨著硅片尺寸和原始厚度的減小以及減薄厚度的減小，超精密磨削正面臨著巨大的挑戰(zhàn)，主要體現(xiàn)在：傳統(tǒng)的硅片減薄砂輪的磨料層為一整塊，容易發(fā)熱，工作一段時(shí)間就要對砂輪進(jìn)行散熱，因此，硅片減薄砂輪磨削效率低下，而且容易導(dǎo)致被加工硅片表面損傷，甚至造成平面精度的下降。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)公開了一種硅片減薄砂輪，以解決上述技術(shù)問題的至少一個。根據(jù)本技術(shù)的一個方面，提供了一種硅片減薄砂輪，包括輪體，輪體的一側(cè)設(shè)有至少一圈磨料層，磨料層采用陶瓷結(jié)合劑材料制成，磨料層包括多段磨料塊，相鄰的兩個磨料塊形成有空隙。本技術(shù)中，由于采用磨削性能優(yōu)良陶瓷結(jié)合劑，所以磨削力小，磨削溫度低，壽命長，經(jīng)久耐用。同時(shí)，本技術(shù)采用多圈磨料層，而每一圈磨料層又由磨料塊組成，磨料塊之間形成有空隙，通過空隙可以很好的散熱，在一定程度上可以延長本技術(shù)的工作時(shí)間，從而增大工作效率，并且空隙還可以容納大量的廢屑，只需要在工作工程中利用磨削液將廢屑排出，即可保證排屑和散熱功能。在一些實(shí)施方式中，輪體呈圓形，輪體的中間設(shè)有通孔。由此，通孔的內(nèi)壁上可以設(shè)置內(nèi)螺紋，從而使得輪體能夠以螺紋連接的方式固定在外部電機(jī)的轉(zhuǎn)軸上。在一些實(shí)施方式中，磨料層有三圈，相鄰兩圈的磨料塊交錯排布。由此，采用三圈交錯的磨料塊排布，相對于單圈排布的方式而言更加經(jīng)久耐用，磨料顆粒所受摩擦力更小，表面拋光性能更好。在一些實(shí)施方式中，輪體的一側(cè)設(shè)有臺階。由此，臺階可以方便本技術(shù)的安裝，同時(shí)，臺階可以減少使用材料，節(jié)省成本。在一些實(shí)施方式中，輪體的另一側(cè)設(shè)有一圈凹槽，凹槽上設(shè)有進(jìn)液孔。由此，可以將方便第一時(shí)間將磨削液注入到進(jìn)液孔中，從而沖刷磨料層，降溫和排屑。進(jìn)一步，進(jìn)液孔傾斜排布。在一些實(shí)施方式中，輪體采用高密度鋁材料制成。由此，高密度鋁材料制成的輪體可以便于機(jī)械加工，同時(shí)輪體1本身更為輕便。附圖說明圖1為本技術(shù)一種實(shí)施方式的硅片減薄砂輪的主視圖。圖2為圖1所示硅片減薄砂輪沿A-A方向的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本技術(shù)作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。圖1和圖2示意性的顯示了本技術(shù)一種實(shí)施方式的硅片減薄砂輪的結(jié)構(gòu)。如圖1和圖2所示，一種硅片減薄砂輪，包括輪體1，圖1中輪體1的前側(cè)面(或者稱為前端面)上(圖2中的左側(cè)面，或者圖2的左端面)成型有至少一圈磨料層2，磨料層2采用陶瓷結(jié)合劑材料制成，磨料層2包括多段磨料塊21，相鄰的兩個磨料塊21形成有空隙211。如圖1所示，在輪體1的前側(cè)面上成型有凹槽，將磨料層2中的磨料塊21卡入并固定到凹槽中即為上述的：輪體1的前側(cè)面上成型有至少一圈磨料層2。如圖1所示，輪體1優(yōu)選為呈圓形，輪體1的中間設(shè)有通孔11，通孔11的內(nèi)壁上可以設(shè)置有內(nèi)螺紋，從而使得輪體1能夠以螺紋連接的方式固定在外部電機(jī)的轉(zhuǎn)軸上。在本實(shí)施例中，磨料層2優(yōu)選有三圈，相鄰兩圈的磨料塊21交錯排布，交錯排布是指，如圖1所示，外圈的磨料塊21和內(nèi)圈的磨料塊21的一端位于中間圈的磨料塊21的中間位置處，采用三圈交錯的磨料塊21排布，相對于單圈排布的方式而言更加經(jīng)久耐用，磨料顆粒所受摩擦力更小，表面拋光性能更好。在其他實(shí)施例中，磨料層2還可以是四圈、六圈等，可以根據(jù)不同的使用需求來改變磨料層2的數(shù)量。如圖2所示，在本實(shí)施例中，輪體1的前側(cè)面上成型有臺階12，臺階12呈圓形。臺階12可以方便本技術(shù)的安裝，同時(shí)，臺階12可以減少使用材料，節(jié)省成本。如圖2所示，輪體1的右側(cè)(圖1的后側(cè)面上，被隱藏)成型有一圈凹槽13，凹槽13上設(shè)有進(jìn)液孔131。可以將方便第一時(shí)間將磨削液注入到進(jìn)液孔131中，從而沖刷磨料層2，降溫和排屑。即將磨削液沖進(jìn)液孔131注入時(shí)，磨削液從進(jìn)液孔131進(jìn)入到有磨料層2的一側(cè)并進(jìn)行沖洗已經(jīng)產(chǎn)生的廢屑。進(jìn)一步，進(jìn)液孔131傾斜排布。傾斜排布是指，進(jìn)液孔131的軸線方向與輪體1的軸線方向呈一定的夾角，這樣排布的好處是：由于輪體1在磨削過程中會進(jìn)行轉(zhuǎn)動，如果進(jìn)液孔131的軸線方向與輪體1的軸線方向相同，那么磨削液由于受到離心力的作用，很容易從進(jìn)液孔131中甩出，造成清洗效果不佳。在本實(shí)施例中，輪體1采用高密度鋁材料制成。高密度鋁材料制成的輪體1可以便于機(jī)械加工，同時(shí)輪體1本身更為輕便。在其他實(shí)施例中，輪體1還可以采用有機(jī)高分子材料制成，有機(jī)高分子材料制成的輪體1可以節(jié)省制作成本。本技術(shù)中，由于磨料層2可以采用磨削性能優(yōu)良的陶瓷結(jié)合劑，所以磨削力小，磨削溫度低，壽命長，經(jīng)久耐用。同時(shí)，本技術(shù)采用多圈磨料層2(優(yōu)選為三圈)，而每一圈磨料層2又由磨料塊21組成，磨料塊21之間形成有空隙211，通過空隙211可以很好的散熱，在一定程度上可以延長本技術(shù)的工作時(shí)間，從而增大工作效率，并且空隙211還可以容納大量的廢屑，只需要在工作工程中將磨削液從進(jìn)液孔131注入，然后就可以對廢屑進(jìn)行沖洗，從而保證排屑和散熱功能。以上所述的僅是本技術(shù)的一些實(shí)施方式。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本技術(shù)創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本技術(shù)的保護(hù)范圍。本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種硅片減薄砂輪，其特征在于，包括輪體(1)，所述輪體(1)的一側(cè)設(shè)有至少一圈磨料層(2)，所述磨料層(2)采用陶瓷結(jié)合劑材料制成，所述磨料層(2)包括多段磨料塊(21)，相鄰的兩個磨料塊(21)形成有空隙(211)，所述空隙(211)用于排屑或者排磨削液。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種硅片減薄砂輪，其特征在于，包括輪體(1)，所述輪體(1)的一側(cè)設(shè)有至少一圈磨料層(2)，所述磨料層(2)采用陶瓷結(jié)合劑材料制成，所述磨料層(2)包括多段磨料塊(21)，相鄰的兩個磨料塊(21)形成有空隙(211)，所述空隙(211)用于排屑或者排磨削液。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片減薄砂輪，其特征在于，所述輪體(1)呈圓形，所述輪體(1)的中間設(shè)有通孔(11)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片減薄砂輪，其特征在于，所述磨料層(2)有三圈，相鄰兩...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：蔡慶瑤，
申請(專利權(quán))人：廣州諾鉆科技有限公司，
類型：新型
國別省市：廣東;44