一種柔性閥壓電微泵制造技術

本實用新型專利技術公開一種柔性閥壓電微泵，包括泵腔、壓電層、四個柔性閥、入口和出口，所述的泵腔上部設有壓電層，所述的泵腔左側設有入口，所述的泵腔右側設有出口；所述的泵腔內部設有四個柔性閥；所述的四個柔性閥中的兩個設于泵腔的頂部，與所述的泵腔的頂部呈順時針45度角，所述的四個柔性閥中的另外兩個設于泵腔的底部，與所述的泵腔的底部呈逆時針45度角。本實用新型專利技術解決現有技術中普通單向閥容易對傳輸的懸浮粒子造成損傷，無法用于細胞傳輸的問題，工作電壓低、發熱少。

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及一種微泵，尤其涉及一種柔性閥壓電微泵。
技術介紹
微泵是μ-TAS系統(微型全分析系統)的關鍵執行部件，用于實現μ-TAS系統中流體的傳輸和分配，在醫療衛生、航空航天、微電子技術等領域應用十分廣泛。擴張/收縮管型無閥微泵是目前研究比較活躍的領域，它是1993年瑞典E.Stemme等人提出的，利用出入口結構的不對稱性對流體產生的阻力的不同實現單向流動，但這種類型的微泵單向流動性能不佳。有閥微泵通常單向流動性能較好，但普通單向閥容易對傳輸的懸浮粒子造成損傷，無法用于細胞傳輸。
技術實現思路
本技術的目的在于克服現有技術的不足，提供一種柔性閥壓電微泵，解決現有技術中普通單向閥容易對傳輸的懸浮粒子造成損傷，無法用于細胞傳輸的問題，工作電壓低、發熱少。為實現上述目的，本技術采用下述技術方案：一種柔性閥壓電微泵，包括泵腔、壓電層、四個柔性閥、入口和出口，所述的泵腔上部設有壓電層，所述的泵腔左側設有入口，所述的泵腔右側設有出口；所述的泵腔內部設有四個柔性閥；所述的四個柔性閥中的兩個設于泵腔的頂部，與所述的泵腔的頂部呈順時針45度角，所述的四個柔性閥中的另外兩個設于泵腔的底部，與所述的泵腔的底部呈逆時針45度角。所述的設置于泵腔頂部的柔性閥與設置于泵腔底部的柔性閥間隔一定的距離。所述的泵腔的截面長為600μm，寬為100μm。本技術的有益效果：(1)本技術的柔性閥壓電微泵只需較小的振動位移即可產生較大的壓力波動；(2)工藝簡單、易于制造；工作電壓低、發熱少；(3)對所傳輸的液體、氣體類型沒有限制；(4)柔性閥對懸浮粒子損傷小，可用于傳輸包含DNA及其它生物試樣的液體等。附圖說明圖1為一種柔性閥壓電微泵的剖面圖；1-入口，2-出口，3-泵腔，4-柔性閥，5-壓電層。具體實施方式下面結合附圖對本技術進行詳細說明：如圖1所示，一種柔性閥壓電微泵，包括泵腔3、壓電層5、四個柔性閥4、入口1和出口2，所述的泵腔3上部設有壓電層5，所述的泵腔3左側設有入口1，所述的泵腔3右側設有出口2；所述的泵腔3內部設有四個柔性閥4；所述的四個柔性閥4中的兩個設于泵腔3的頂部，與所述的泵腔3的頂部呈順時針45度角，所述的四個柔性閥4中的另外兩個設于泵腔3的底部，與所述的泵腔3的底部呈逆時針45度角。所述的設置于泵腔3頂部的柔性閥4與設置于泵腔3底部的柔性閥4間隔一定的距離。所述的泵腔3的截面長為600μm，寬為100μm。當加入的交流電壓使壓電層5擴張時，泵腔3的體積減小，泵腔3內壓力增大，泵腔3內流體從入口和出口分別流出，由于柔性閥4的作用，從出口2流出的流體比從入口1流出的多；當加入的交流電壓使壓電層5收縮時，泵腔3的體積增加，泵腔3內壓力減小，流體從入口1和出口2分別流入泵腔3內，由于柔性閥4的作用，從入口1流入的比從出口2流入的多。這樣每個交流電壓周期內在出口能獲得時間平均意義上的凈流動。上述雖然結合附圖對本技術的具體實施方式進行了描述，但并非對本技術保護范圍的限制，所屬領域技術人員應該明白，在本技術的技術方案的基礎上，本領域技術人員不需要付出創造性勞動即可做出的各種修改或變形仍在本技術的保護范圍以內。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種柔性閥壓電微泵，其特征在于，包括泵腔、壓電層、四個柔性閥、入口和出口，所述的泵腔上部設有壓電層，所述的泵腔左側設有入口，所述的泵腔右側設有出口；所述的泵腔內部設有四個柔性閥；所述的四個柔性閥中的兩個設于泵腔的頂部，與所述的泵腔的頂部呈順時針45度角，所述的四個柔性閥中的另外兩個設于泵腔的底部，與所述的泵腔的底部呈逆時針45度角。

【技術特征摘要】
1.一種柔性閥壓電微泵，其特征在于，包括泵腔、壓電層、四個柔性閥、入口和出口，所述的泵腔上部設有壓電層，所述的泵腔左側設有入口，所述的泵腔右側設有出口；所述的泵腔內部設有四個柔性閥；所述的四個柔性閥中的兩個設于泵腔的頂部，與所述的泵腔的頂部呈順時針45度角，所述的四個柔性閥中的另...

【專利技術屬性】
技術研發人員：魏長智，
申請(專利權)人：濟南大學，
類型：新型
國別省市：山東;37