本實用新型專利技術(shù)涉及一種管路連接環(huán)結(jié)構(gòu)，包括同心且徑向疊套的金屬環(huán)、塑膠環(huán)及一O形環(huán)。所述金屬環(huán)在徑向外側(cè)面具有一嵌槽，提供該塑膠環(huán)嵌設。該塑膠環(huán)具有一體形成的環(huán)本體、凸部、及環(huán)槽。通過上述構(gòu)件的組成，實施于管路連接處，以填補管路連接處的間隙，避免管路內(nèi)的工作氣體外泄。
【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本創(chuàng)作系有關(guān)于密封環(huán)之
，特別是一種管路連接環(huán)結(jié)構(gòu)。
技術(shù)介紹
按，半導體制程中，在生產(chǎn)機具內(nèi)必然會產(chǎn)生有害的工作氣體，而這些工作氣體必須透過管路輸送到后端的氣體處理設備作妥善處理。而管路一般是由數(shù)個金屬管串接所構(gòu)成。請參閱圖7所示，該金屬管包含第一、二管體82、84配合夾具86夾持串接，為了避免第一、二管體82、84連接處存有間隙，都必須使用連接環(huán)9以填補第一、二管體82、84連接處的間隙。傳統(tǒng)的連接環(huán)9的結(jié)構(gòu)，大致具有一金屬環(huán)92以及圍繞于金屬環(huán)92外側(cè)面的O形環(huán)94。當?shù)谝弧⒍荏w82、84與連接環(huán)9被夾具86夾緊后，第一、二管體82、84未端的凸緣822、842(或稱法蘭)，會緊迫O形環(huán)94，透過O形環(huán)94以填補第一、二管體82、84連接處的間隙，進而防止管路內(nèi)的工作氣體的泄漏。然而，O形環(huán)94的材質(zhì)通常為橡膠，但在現(xiàn)今的半導體制程中，橡膠材質(zhì)的O形環(huán)94具有極佳的止漏效果，但確容易受到工作氣體的腐蝕而受損，降低O形環(huán)的使用壽命。為避免O形環(huán)94因腐蝕而受損，導致管路內(nèi)的工作氣體外泄，所以O形環(huán)94必須定期進行更換。然而，短周期的更換；不但會造成相關(guān)成本的浪費，更替時尚必須配合生產(chǎn)機具的停機，導致產(chǎn)能損失、維修人員、物料成本等負擔。另外，已知連接環(huán)9的金屬環(huán)92形態(tài)固定，無法提供適度的變形空間，造成第一、二管體82、84末端的凸緣822、842(或稱法蘭)與金屬環(huán)9之間，形成較大的間隙A1、A2，而第一、二管體82、84內(nèi)流通的工作氣體，則容易自該些間隙A1、A2滲透，并直接侵蝕O形環(huán)94。
技術(shù)實現(xiàn)思路
有鑒于上述已知技術(shù)的缺陷，本創(chuàng)作之一目的，即透過結(jié)構(gòu)的設計，減低O形環(huán)與工作氣體的接觸量，延長O形環(huán)使用壽命與維修周期。為達成上述目的，本創(chuàng)作提出一種管路連接環(huán)結(jié)構(gòu)，包括同心且徑向疊套之一金屬環(huán)、一塑膠環(huán)及一O形環(huán)。該金屬環(huán)于徑向外側(cè)面具有一嵌槽，提供該塑膠環(huán)嵌設。該塑膠環(huán)具有一體形成之一環(huán)本體、一凸部、及一環(huán)槽。藉由上述構(gòu)件之組成，實施于管路連接處，以填補管路連接處之間隙，避免管路內(nèi)之工作氣體外泄。優(yōu)選的，其中所述嵌槽兩側(cè)的側(cè)壁具有一適度的活動空間，所述活動空間用以改變該嵌槽的大小。優(yōu)選的，其中所述環(huán)本體軸向的兩端面設置有一斜面或一垂直面；而所述嵌槽兩側(cè)的側(cè)壁對應形成一斜面或一垂直面，其中嵌槽兩側(cè)的側(cè)壁在受到推抵時能夠與環(huán)本體軸向的兩端面形成適配的抵接。優(yōu)選的，其中所述O形環(huán)的外徑面套接有襯套。通過上述構(gòu)件的組成，實施于管路連接處，以填補管路連接處的間隙，避免管路內(nèi)的工作氣體外泄。附圖說明圖1為本技術(shù)立體示意圖圖2為本技術(shù)實施例示意圖圖3為圖2所示實施例局部剖面示意圖(一)。圖4為圖2所示實施例局部剖面示意圖(二)。圖5為本技術(shù)另一實施例示意圖。圖6為本技術(shù)另一實施例剖面示意圖。圖7為已知連接環(huán)實施例剖面示意圖附圖序號說明：管路連接環(huán)100、金屬環(huán)1、嵌槽12、側(cè)壁122、124、塑膠環(huán)2、環(huán)本體22、凸部24、環(huán)槽26、O形環(huán)3、第一管體82、凸緣822、第二管體84、凸緣842、夾具86、襯套4、內(nèi)環(huán)槽42、連接環(huán)9、金屬環(huán)92、O形環(huán)94、間隙A1、A2具體實施方式以下請參照相關(guān)圖式進一步說明本創(chuàng)作管路連接環(huán)結(jié)構(gòu)實施例。為便于理解本創(chuàng)作實施方式，以下相同零件系采相同符號標示說明。請參閱圖1至4所示，該管路連接環(huán)100其包括同心且徑向疊套(即同心且依次套接)的一金屬環(huán)1、一塑膠環(huán)2及一O形環(huán)3。通過上述構(gòu)件組成的管路連接環(huán)100設置于管路連接處(例如第一、二管體82、84間)，以填補管路連接處的間隙，避免管路內(nèi)的工作氣體外泄。上述金屬環(huán)1，于徑向外側(cè)面具有一嵌槽12，提供塑膠環(huán)2嵌設，且嵌槽12兩側(cè)的側(cè)壁122、124，具有一適度的活動空間，活動空間的設置用以改變該嵌槽12的大小。實施時，側(cè)壁122、124相對的端面，可為一斜面或一垂直面。上述塑膠環(huán)2具有一體形成的一環(huán)本體22、一凸部24、一環(huán)槽26。所述環(huán)本體22容置于金屬環(huán)1的嵌槽12中，環(huán)本體22軸向的兩端面，配合金屬環(huán)1側(cè)壁122、124的端面，可為一斜面或一垂直面(即側(cè)壁122、124分別對應的環(huán)本體22的端面可以為一斜面或一垂直面)。所述凸部24是形成于環(huán)本體22徑向外側(cè)面，并突出于金屬環(huán)1的嵌槽12外，其輪廓略小于塑膠環(huán)2。所述環(huán)槽26沿該凸部24外環(huán)面形成，提供上述O形環(huán)3容置。是以，上述即為本創(chuàng)作所提供一較佳實施例管路連接環(huán)各部構(gòu)件及組裝方式的介紹，下面再將本創(chuàng)作的實施例作動特點介紹如下。首先，管路中第一、二管體82、84的連接處，分別具有供夾具86夾持的凸緣822、842(或稱法蘭)，該凸緣822、842對應的端面具有第一、第二臺階。其中，管路連接環(huán)100容置于第一、二管體82、84的凸緣822、842之間，使塑膠環(huán)2的凸部24及O形環(huán)3容置于凸緣822、842端面的第一臺階，而塑膠環(huán)2的環(huán)本體22與金屬環(huán)1則容置于該凸緣822、842端面的第二臺階處。上述實施方式中，塑膠環(huán)2的材料包含塑膠(如鐵氟龍，但本創(chuàng)作并不以此為限)，而第一、二管體82、84的材料包含(但不限)金屬鋁。由于塑膠和金屬的硬度不同，基于此硬度差異，當夾具86緊固第一、第二管體82、84的凸緣822、842時，管路連接環(huán)100會分別在凸緣822、842端面上形成數(shù)道密封防護。當金屬環(huán)1的兩側(cè)壁122、124受第一、第二管體82、84的凸緣822、842推抵，分別朝塑膠環(huán)2的環(huán)本體22抵接，可使金屬環(huán)1兩側(cè)壁122、124外周緣與第一、第二管體82、84其凸緣822、842端面(第二臺階)形成第一道密封防護。另外，第一、第二管體82、84其凸緣822、842端面(第一臺階)分別與塑膠環(huán)2的凸部24及O形環(huán)3兩側(cè)緊密抵接時，可分別形成第二、第三道密封防護。綜上所述，通過數(shù)道密封防護的設計，在第一、第二管體82、84連接處，妥適的形成密封效果。另外，通過金屬環(huán)1、塑膠環(huán)2在第一、第二管體82、84的凸緣822、842端面所形成的第一、第二道密封防護，大幅降低工作氣體泄漏至O形環(huán)3的量，從而減緩O形本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護點】
管路連接環(huán)結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括同心且徑向疊套的金屬環(huán)、塑膠環(huán)及O形環(huán)，其中：所述金屬環(huán)在徑向外側(cè)面具有一嵌槽，所述嵌槽用于提供塑膠環(huán)嵌設；所述塑膠環(huán)具有一體形成的環(huán)本體、凸部、及環(huán)槽；所述環(huán)本體容置于嵌槽中；所述凸部形成于該環(huán)本體徑向外側(cè)面，并突出于該嵌槽外，凸部輪廓小于該環(huán)本體；以及所述環(huán)槽形成于該凸部徑向外側(cè)面，環(huán)槽用于提供O形環(huán)容置。
【技術(shù)特征摘要】
1.管路連接環(huán)結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括同心且徑向疊套的金
屬環(huán)、塑膠環(huán)及O形環(huán)，其中：所述金屬環(huán)在徑向外側(cè)面
具有一嵌槽，所述嵌槽用于提供塑膠環(huán)嵌設；
所述塑膠環(huán)具有一體形成的環(huán)本體、凸部、及
環(huán)槽；
所述環(huán)本體容置于嵌槽中；
所述凸部形成于該環(huán)本體徑向外側(cè)面，并突出于該
嵌槽外，凸部輪廓小于該環(huán)本體；以及
所述環(huán)槽形成于該凸部徑向外側(cè)面，環(huán)槽用于提供O形環(huán)
容置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管路連接環(huán)結(jié)構(gòu)，其特征在...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：韓讚熙，
申請(專利權(quán))人：長智貿(mào)易股份有限公司，
類型：新型
國別省市：中國臺灣;71
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