本發(fā)明專利技術(shù)公開了一種晶圓打墨印裝置，涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括水平底座和垂直底座，所述水平底座通過固定螺母與垂直底座相連，所述垂直底座上安裝有固定支架，所述固定支架上安裝有墨印器鎖定夾，所述墨印器鎖定夾上安裝有墨印器。本發(fā)明專利技術(shù)晶圓打墨印裝置，通過在水平底座開設(shè)伸縮孔，伸縮孔上安裝有伸縮調(diào)節(jié)螺母來調(diào)節(jié)水平位置；垂直底座與固定支架之間通過安裝高度調(diào)節(jié)螺母來調(diào)節(jié)高度；墨印劑垂直固定在支桿上，通過漁線接觸晶粒完成打墨印動作，增大了晶圓與打墨印裝置的距離，大大降低了刮傷晶圓的風(fēng)險，有效避免了晶圓刮傷；具有結(jié)構(gòu)簡單、使用方便的特點，可以安裝在針測機空間比較開闊的位置，方便人員操作。
【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備
，特別是涉及一種晶圓打墨印裝置。
技術(shù)介紹
晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅芯片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。在硅芯片上可加工制作成各種電路組件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。一般是芯片電路設(shè)計-晶圓的制造-晶圓的測試-晶圓的切割研磨-芯片的封裝-成品芯片的測試。晶圓的測試對該芯片的成本控制尤其重要，晶圓的測試可以將功能缺陷的芯片找出，不進入后期較大成本的封裝中，節(jié)約了整體的成本。全自動針測機將晶圓從工作臺上移送到測試頭下面，并將探針卡上的針腳壓在晶粒上，形成良好的電氣接觸。全自動針測機還要根據(jù)測試系統(tǒng)的測試結(jié)果，給不合格的晶粒打上墨印。墨印裝置固定在針測機主體部分前部,連接針測機信號。當(dāng)墨印裝置接收到針測機需要對晶粒打墨印的指令時,墨印裝置彈簧壓下墨印劑漁線后段,墨印劑前端頂針彈出漁線，漁線前端出墨口接觸晶粒時打上墨印。但是，現(xiàn)有的墨印劑傾斜固定在墨印裝置上，通過彈簧壓下可以出墨汁的漁線，漁線接觸晶粒完成打墨印動作。漁線高度4mm；45度傾斜時垂直高度會降低至2.8mm，使得墨印裝置頂針離晶圓距離相對較近常常刮傷晶圓。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本專利技術(shù)的目的就是為了克服上述現(xiàn)有晶圓打墨印所用的斜角墨印裝置頂針離晶圓距離相對較近造成刮傷晶圓的問題，提供了一種晶圓打墨印裝置，該打墨印裝置在水平底座上固定垂直底座，垂直底座上安裝墨印劑固定支架，墨印劑固定支架上安裝墨印劑鎖定夾，墨印器安裝在鎖定夾上，墨印器包括支桿、墨印劑、漁線，墨印劑垂直固定在支桿上，通過漁線接觸晶粒完成打墨印動作。本專利技術(shù)所要求解決的技術(shù)問題可以通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)：一種晶圓打墨印裝置，包括水平底座和垂直底座，所述水平底座通過固定螺母與垂直底座相連，所述垂直底座上安裝有固定支架，所述固定支架上安裝有墨印器鎖定夾，所述墨印器鎖定夾上安裝有墨印器。進一步地，所述墨印器包括支桿、墨印劑、漁線、晶粒、晶圓。進一步地，所述墨印劑與支桿垂直連接。進一步地，所述水平底座上開設(shè)有伸縮孔。進一步地，所述伸縮孔上安裝有伸縮調(diào)節(jié)螺母。進一步地，所述垂直底座與固定支架通過固定螺母連接。進一步地，所述垂直底座與固定支架之間安裝有高度調(diào)節(jié)螺母。本專利技術(shù)的有益效果：一種晶圓打墨印裝置，通過在水平底座開設(shè)伸縮孔，伸縮孔上安裝有伸縮調(diào)節(jié)螺母來調(diào)節(jié)水平位置；垂直底座與固定支架之間通過安裝高度調(diào)節(jié)螺母來調(diào)節(jié)高度；墨印劑垂直固定在支桿上，通過漁線接觸晶粒完成打墨印動作，比墨印劑與支桿傾斜連接高出大約1mm，一片晶圓平均厚度900um，相當(dāng)于多出1片晶圓的安全距離,大大降低了刮傷晶圓的風(fēng)險，有效避免了晶圓刮傷；具有結(jié)構(gòu)簡單、使用方便的特點，可以安裝在針測機空間比較開闊的位置，方便人員操作。附圖說明圖1為本專利技術(shù)墨印裝置結(jié)構(gòu)圖；圖2為本專利技術(shù)墨印器結(jié)構(gòu)圖；相關(guān)元件符號說明：1、水平底座；2、伸縮孔；3、伸縮調(diào)節(jié)螺母；4、固定螺母；5、垂直底座；6、固定螺母；7、高度調(diào)節(jié)螺母；8、固定支架；9、墨印器鎖定夾；10、墨印器；11、支桿；12、墨印劑；13、漁線；14、晶粒；15、晶圓。具體實施方式為了使本專利技術(shù)實現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體圖示，進一步闡述本專利技術(shù)。具體實施時，結(jié)合圖1-2，一種晶圓打墨印裝置，包括水平底座1、固定螺母4、垂直底座5、固定支架8、墨印器鎖定夾9、墨印器10。水平底座1與垂直底座5通過固定螺母4進行固定連接。垂直底座5上安裝有固定支架8，固定支架上安裝有兩個墨印器鎖定夾9，墨印器鎖定夾上安裝有墨印器10。墨印器包括支桿11、墨印劑12、漁線13、晶粒14、晶圓15。墨印劑12與支桿11垂直固定連接，漁線13安裝在墨印劑12內(nèi)部并通過彈簧連接，通過彈簧壓下可以出墨汁的漁線，漁線接觸晶粒完成打墨印動作，漁線高度4mm。比墨印劑與支桿傾斜連接高出大約1mm，一片晶圓平均厚度900um，相當(dāng)于多出1片晶圓的安全距離,大大降低了刮傷晶圓的風(fēng)險，有效避免了晶圓刮傷。為了能夠調(diào)節(jié)打墨印裝置的位置，在水平底座上開設(shè)有伸縮孔2，伸縮孔2上安裝有伸縮調(diào)節(jié)螺母，從而完成水平位置的調(diào)節(jié)。為了安裝方便，垂直底座與固定支架通過固定螺母6固定連接。通過在錘直底座與固定支架之間安裝有高度調(diào)節(jié)螺母7，來調(diào)節(jié)打墨印裝置的高度。一種晶圓打墨印裝置，通過在水平底座開設(shè)伸縮孔，伸縮孔上安裝有伸縮調(diào)節(jié)螺母來調(diào)節(jié)水平位置；垂直底座與固定支架之間通過安裝高度調(diào)節(jié)螺母來調(diào)節(jié)高度；墨印劑垂直固定在支桿上，通過漁線接觸晶粒完成打墨印動作，增大了晶圓與打墨印裝置的安全距離,大大降低了刮傷晶圓的風(fēng)險，有效避免了晶圓刮傷；具有結(jié)構(gòu)簡單、使用方便的特點，可以安裝在針測機空間比較開闊的位置，方便人員操作。以上顯示和描述了本專利技術(shù)的基本原理、主要特征和本專利技術(shù)的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本專利技術(shù)不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本專利技術(shù)的原理，在不脫離本專利技術(shù)精神和范圍的前提下本專利技術(shù)還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本專利技術(shù)范圍內(nèi)。本專利技術(shù)要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等同物界定。本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護點】
一種晶圓打墨印裝置，包括水平底座和垂直底座，所述水平底座通過固定螺母與垂直底座相連，所述垂直底座上安裝有墨印劑固定支架，其特征在于：所述固定支架上安裝有墨印器鎖定夾，所述墨印器鎖定夾上安裝有墨印器。
【技術(shù)特征摘要】
1.一種晶圓打墨印裝置，包括水平底座和垂直底座，所述水平底座通過固定螺母與垂直底座相連，所述垂直底座上安裝有墨印劑固定支架，其特征在于：所述固定支架上安裝有墨印器鎖定夾，所述墨印器鎖定夾上安裝有墨印器。2.按照權(quán)利要求1所述的一種晶圓打墨印裝置，其特征在于：所述墨印器包括支桿、墨印劑、漁線、晶粒、晶圓。3.按照權(quán)利要求2所述的一種晶圓打墨印裝置，其特征在于：所述墨印劑與支桿垂...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：沈順金，
申請(專利權(quán))人：安徽超元半導(dǎo)體有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：安徽;34
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