一種柔性顯示面板、其制作方法及顯示裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術涉及一種柔性顯示面板、其制作方法及顯示裝置，用以解決現有柔性顯示面板中，無機膜層容易因為頻繁彎折而產生裂痕甚至斷裂的問題。柔性顯示面板包括：柔性基底、依次設置在柔性基底上的無機絕緣層、有機絕緣層和源漏極層；柔性顯示面板包括彎折區域；無機絕緣層在彎折區域形成凹槽；有機絕緣層至少完全覆蓋凹槽的表面，且有機絕緣層的彎折能力大于無機絕緣層。在無機絕緣層的彎折區域形成凹槽，并在彎折區域的凹槽上增加了彎折能力比無機絕緣層強的有機絕緣層，減薄了無機膜層，因而可以防止無機膜層因為頻繁彎折而產生裂痕甚至斷裂，從而提高器件的信賴性和壽命。

Flexible display panel, manufacturing method thereof and display device

The invention relates to a flexible display panel, a manufacturing method thereof and a display device, which is used to solve the problem that the inorganic film is easy to crack or break because of frequent bending. The flexible display panel includes a flexible substrate, are arranged on the flexible substrate inorganic insulating layer, an organic insulating layer and the source drain layer; the display panel includes a flexible bending area; the inorganic insulating layer in the region to form a groove bending fold; the organic insulating layer completely covering at least groove surface of the organic insulating layer and bending capacity than the inorganic insulating layer. The bending area insulation layer in the inorganic groove, and groove in the bending area on the increase of bending capacity than the inorganic insulating organic insulating layer is strong, thinning of the inorganic film, which can prevent the inorganic film because of frequent bending cracks or fracture, thereby improving the reliability and lifetime of the device.

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及柔性顯示面板
，尤其涉及一種柔性顯示面板、其制作方法及顯示裝置。
技術介紹
柔性器件在我們的生活當中得到越來越廣闊的應用。柔性電子器件尤其是柔性顯示面板，以其輕薄，可彎曲甚至折疊，機械性能好等特點越來越受到人們的重視。然而，在進行彎折時，由于柔性顯示面板采用了大量的無機工藝，無機膜層的總厚度一般要在1000納米以上。而SiNx等無機膜層，由于在頻繁彎折時，受到正反兩面應力的影響，其無機膜層較容易產生裂痕甚至斷裂，從而造成柔性顯示面板品質的下降乃至損壞失效。綜上所述，現有的柔性顯示面板中，無機膜層較容易因為頻繁彎折而產生裂痕甚至斷裂，從而造成柔性顯示面板品質的下降乃至損壞失效。
技術實現思路
本專利技術的目的是提供一種柔性顯示面板、其制作方法及顯示裝置，用以解決現有的柔性顯示面板中，無機膜層較容易因為頻繁彎折而產生裂痕甚至斷裂，從而造成柔性顯示面板品質的下降乃至損壞失效的問題。本專利技術實施例提供的一種柔性顯示面板，包括：柔性基底、依次設置在所述柔性基底上的無機絕緣層、有機絕緣層和源漏極層；其中，所述柔性顯示面板包括彎折區域；所述無機絕緣層在所述彎折區域形成凹槽；所述有機絕緣層至少完全覆蓋所述凹槽的表面，且所述有機絕緣層的彎折能力大于所述無機絕緣層的彎折能力。本專利技術實施例提供的柔性顯示面板，在無機絕緣層的彎折區域形成了凹槽，并增加了彎折能力比無機絕緣層強的有機絕緣層，使其至少完全覆蓋彎折區域的凹槽，減少了彎折區域的無機膜層，因而可以防止彎折區域的無機膜層因為頻繁彎折而產生裂痕甚至斷裂，從而減少彎曲時應力對器件本身的損傷，提高器件的信賴性和壽命。較佳的，所述有機絕緣層還填充于與所述源漏極層最鄰近的無機絕緣層和所述源漏極層之間的空間中。較佳的，所述有機絕緣層中摻雜有柔性物質。較佳的，在所述有機絕緣層靠近所述柔性基底的一側設置有附加膜層；所述附加膜層材料的彎折能力大于所述有機絕緣層材料的彎折能力，且所述附加膜層在所述柔性基底上的正投影位于所述有機絕緣層在所述柔性基底上的正投影內。較佳的，所述附加膜層的材料為下列材料中的一種或組合：與所述有機絕緣層材料相同且摻雜有石墨烯的材料、與所述有機絕緣層材料相同且摻雜有納米陶瓷的材料、石墨烯。較佳的，所述源漏極層包括：源漏電極，以及與所述源漏電極相連的源漏極引線；所述彎折區域設置在所述柔性顯示面板的非顯示區域，且所述凹槽設置在所述源漏極引線的下方。較佳的，所述彎折區域設置在所述柔性顯示面板的顯示區域；所述凹槽設置在所述顯示區域中的非像素區域。較佳的，所述無機絕緣層包括：依次設置的緩沖層，柵極絕緣層和層間絕緣層。較佳的，所述有機絕緣層的材料為下列材料中的一種或組合：聚酰亞胺和亞克力。本專利技術實施例還提供了一種顯示裝置，該顯示裝置包括如本專利技術實施例提供的上述柔性顯示面板。本專利技術實施例還提供了一種如本專利技術實施例提供的上述柔性顯示面板的制作方法，包括：在柔性基底上依次形成無機絕緣層；在所述無機絕緣層的彎折區域形成凹槽，并在所述無機絕緣層上形成有機絕緣層，使其至少完全覆蓋所述凹槽的表面；在所述有機絕緣層上形成源漏極層的圖形；其中，所述有機絕緣層的彎折能力大于所述無機絕緣層的彎折能力。較佳的，在所述無機絕緣層的彎折區域形成凹槽，并在所述無機絕緣層上形成有機絕緣層，使其至少完全覆蓋所述凹槽的表面，包括：在所述柔性顯示面板的彎折區域，采用光刻工藝，去除掉部分所述無機絕緣層，形成凹槽；在所述無機絕緣層上形成有機絕緣薄膜，使其至少完全覆蓋所述凹槽的表面；對所述柔性顯示面板中像素區域進行刻蝕，形成用于制作源漏電極的過孔，得到所述無機絕緣層和有機絕緣層的圖形。較佳的，在所述無機絕緣層的彎折區域形成凹槽，并在所述無機絕緣層上形成有機絕緣層，使其至少完全覆蓋所述凹槽的表面，包括：在所述無機絕緣層上形成有機絕緣薄膜；采用半色調掩膜工藝，去除掉預設區域中的部分有機絕緣薄膜，以及去除掉彎折區域中的全部有機絕緣薄膜；其中，所述預設區域用于在所述無機絕緣層上制作源漏極的過孔；采用干刻工藝，利用剩余的有機絕緣薄膜的遮擋，將所述彎折區域中的所述無機絕緣層刻蝕至一定深度；采用灰化工藝，去除掉所述預設區域中對應的全部有機絕緣薄膜，得到有機絕緣層的圖形；利用所述有機絕緣層圖形的遮擋，采用蝕刻工藝，對所述預設區域進行刻蝕形成所述過孔的圖形，以及對所述彎折區域進行刻蝕，去除掉部分所述無機絕緣層形成凹槽，得到所述無機絕緣層的圖形；采用噴墨打印的方式，在所述無機絕緣層上形成有機絕緣薄膜，使其至少完全覆蓋所述凹槽的表面，得到有機絕緣層的圖形。較佳的，在所述無機絕緣層上形成有機絕緣薄膜，包括：在所述無機絕緣層上形成摻雜有柔性物質的有機絕緣薄膜。較佳的，在所述無機絕緣層上形成有機絕緣薄膜，包括：在所述無機絕緣層上形成附加薄膜；在所述附加膜層上形成有機絕緣薄膜；其中，所述附加薄膜材料的彎折能力大于所述有機絕緣薄膜材料的彎折能力。附圖說明圖1為本專利技術實施例提供的柔性顯示面板的基本結構示意圖；圖2為本專利技術實施例提供的有機絕緣層填充一部分無機絕緣層和源漏極層之間的其它空間的結構示意圖；圖3a為本專利技術實施例提供的有機絕緣層填充全部無機絕緣層和源漏極層之間的其它空間的結構示意圖；圖3b所示，為本專利技術實施例提供的設置有附加膜層的柔性顯示面板的結構示意圖；圖4為本專利技術實施例提供的使有機絕緣層填充滿凹槽的結構示意圖；圖5a為本專利技術實施例提供的彎折區域設置在柔性顯示面板的非顯示區域的結構示意圖；圖5b為本專利技術實施例提供的彎折區域設置在柔性顯示面板的非像素區域的結構示意圖；圖6為本專利技術實施例提供的彎折區域的無機絕緣層全部挖除的結構示意圖；圖7為本專利技術實施例提供的柔性顯示面板的制作方法的步驟流程圖；圖8為本專利技術實施例提供的一種采用光刻工藝制作凹槽及有機絕緣層的方法步驟流程圖；圖9a-圖9c分別為本專利技術實施例提供的采用光刻工藝制作凹槽及有機絕緣層的方法中各步驟執行后的結構示意圖；圖10為本專利技術實施例提供的一種采用半色調掩膜工藝制作凹槽及有機絕緣層的方法步驟流程圖；圖11a-圖11e分別為本專利技術實施例提供的采用半色調掩膜工藝制作凹槽及有機絕緣層的方法中各步驟執行后的結構示意圖。具體實施方式下面將結合本專利技術實施例中的附圖，對本專利技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅是本專利技術一部分實施例，并不是全部的實施例。基于本專利技術中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本專利技術保護的范圍。其中，附圖中膜層厚度和區域形狀不反映其真實比例，目的只是示意說明本專利技術的內容。本專利技術實施例提供的一種柔性顯示面板，主要是針對設置有彎折區域的柔性顯示面板，是在現有柔性顯示面板的基礎上，在無機絕緣層的彎折區域設置了凹槽，并在無機絕緣層和源漏極層之間，增加了彎折能力比無機絕緣層強的有機絕緣層，使其至少完全覆蓋彎折區域的凹槽，因而只要是能夠彎折的顯示面板，均可以采用本專利技術中的結構，下面對柔性顯示面板的具體結構進行詳細的說明。如圖1所示，為本專利技術實施例提供的柔性顯示面板的基本結構示意圖；該柔性顯示面板包括：柔性基底101、依次設置在柔性基底101上的無機絕緣層102、有機絕緣層103和源漏極層104；其中，柔性顯本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種柔性顯示面板，其特征在于，包括：柔性基底、依次設置在所述柔性基底上的無機絕緣層、有機絕緣層和源漏極層；其中，所述柔性顯示面板包括彎折區域；所述無機絕緣層在所述彎折區域形成凹槽；所述有機絕緣層至少完全覆蓋所述凹槽的表面，且所述有機絕緣層的彎折能力大于所述無機絕緣層的彎折能力。

【技術特征摘要】
1.一種柔性顯示面板，其特征在于，包括：柔性基底、依次設置在所述柔性基底上的無機絕緣層、有機絕緣層和源漏極層；其中，所述柔性顯示面板包括彎折區域；所述無機絕緣層在所述彎折區域形成凹槽；所述有機絕緣層至少完全覆蓋所述凹槽的表面，且所述有機絕緣層的彎折能力大于所述無機絕緣層的彎折能力。2.如權利要求1所述的柔性顯示面板，其特征在于，所述有機絕緣層還填充于與所述源漏極層最鄰近的無機絕緣層和所述源漏極層之間的空間中。3.如權利要求1-2任一項所述的柔性顯示面板，其特征在于，所述有機絕緣層中摻雜有柔性物質。4.如權利要求1-2任一項所述的柔性顯示面板，其特征在于，在所述有機絕緣層靠近所述柔性基底的一側設置有附加膜層；所述附加膜層材料的彎折能力大于所述有機絕緣層材料的彎折能力，且所述附加膜層在所述柔性基底上的正投影位于所述有機絕緣層在所述柔性基底上的正投影內。5.如權利要求4所述的柔性顯示面板，其特征在于，所述附加膜層的材料為下列材料中的一種或組合：與所述有機絕緣層材料相同且摻雜有石墨烯的材料、與所述有機絕緣層材料相同且摻雜有納米陶瓷的材料、石墨烯。6.如權利要求1所述的柔性顯示面板，其特征在于，所述源漏極層包括：源漏電極，以及與所述源漏電極相連的源漏極引線；所述彎折區域設置在所述柔性顯示面板的非顯示區域，且所述凹槽設置在所述源漏極引線的下方。7.如權利要求1所述的柔性顯示面板，其特征在于，所述彎折區域設置在所述柔性顯示面板的顯示區域；所述凹槽設置在所述顯示區域中的非像素區域。8.如權利要求1所述的柔性顯示面板，其特征在于，所述無機絕緣層包括：依次設置的緩沖層，柵極絕緣層和層間絕緣層。9.如權利要求1所述的柔性顯示面板，其特征在于，所述有機絕緣層的材料為下列材料中的一種或組合：聚酰亞胺和亞克力。10.一種顯示裝置，其特征在于，該顯示裝置包括權利要求1-9中任一項所述的柔性顯示面板。11.一種如權利要求1-9任一項所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，包括：在柔性基底上依次形成無機絕緣層；在所述無機絕緣層的彎折區域形成凹槽，并在...

【專利技術屬性】
技術研發人員：田宏偉，牛亞男，劉政，左岳平，許曉偉，
申請(專利權)人：京東方科技集團股份有限公司，
類型：發明
國別省市：北京;11