藍(lán)寶石晶片四柱拋光機(jī)制造技術(shù)

藍(lán)寶石晶片四柱拋光機(jī)，其機(jī)架下方安裝有磨盤，磨盤中心的轉(zhuǎn)軸下端用皮帶連接磨盤電機(jī)，磨盤的上導(dǎo)軌套裝在磨盤座的磙針上方，磨盤的上表面安裝有圓形磨片，在機(jī)架上方安裝有固定架，固定架內(nèi)側(cè)設(shè)計(jì)有固定滑道，在固定滑道上安裝有滑架，升降氣缸下端安裝在滑架的上端，滑架內(nèi)固定安裝有磨頭電機(jī)，上磨頭安裝在磨頭電機(jī)的轉(zhuǎn)軸下端。上固定面和下固定面上安裝的固定架和升降氣缸有四個(gè)。采用本實(shí)用新型專利技術(shù)的技術(shù)方案，將磨頭電機(jī)直接裝在滑架上，磨頭電機(jī)直接帶動上磨頭，減少了傳動過程中的能量損失，消除了傳動產(chǎn)生的震動，晶片的拋光質(zhì)量大幅提高；由于采用四個(gè)上磨頭設(shè)計(jì)，上磨頭在磨盤上占用的面積增大，磨盤的利用更充分，機(jī)械工作效率提高。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)屬于藍(lán)寶石晶片加工設(shè)備
，涉及一種藍(lán)寶石晶片四柱拋光機(jī)。
技術(shù)介紹
晶片從晶棒上沿晶棒的軸向成片切割下來后，切面比較粗糙，需要對切面進(jìn)行打磨和拋光，現(xiàn)有技術(shù)中，晶片的拋光機(jī)為雙立柱拋光機(jī)，其下磨盤通過下電機(jī)帶動旋轉(zhuǎn)，上磨頭有兩個(gè)，上磨頭轉(zhuǎn)軸上的側(cè)齒在上電機(jī)的齒輪帶動下旋轉(zhuǎn)，上磨頭在升降氣缸的推動下向下運(yùn)動，壓在下磨盤上，固定盤上貼有的晶片下表面與下磨盤接觸，下磨盤與上磨頭在轉(zhuǎn)動時(shí)，對晶片表面進(jìn)行拋光。采用這種拋光機(jī)對晶片表面進(jìn)行拋光，由于該拋光機(jī)的下磨盤與上磨頭同時(shí)轉(zhuǎn)動，其拋光的工作效率較高；但是，由上磨頭靠側(cè)齒驅(qū)動旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)動過程中能量損失多、震動大，晶片的拋光效果不好；另外由于上磨頭僅設(shè)計(jì)有兩個(gè)，磨盤上空余的面積較多，設(shè)計(jì)機(jī)構(gòu)效率下降。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)的目的是提供一種藍(lán)寶石晶片四柱拋光機(jī)，解決現(xiàn)有技術(shù)中，藍(lán)寶石晶片雙柱拋光機(jī)對晶片進(jìn)行拋光時(shí)，存在的上磨頭振動大，設(shè)備的能耗高、機(jī)械效率低的問題。本技術(shù)的技術(shù)方案是：一種藍(lán)寶石晶片四柱拋光機(jī)，該拋光機(jī)的機(jī)架下方設(shè)計(jì)有磨盤座，磨盤座的內(nèi)圈上表面設(shè)計(jì)有圓形的下導(dǎo)軌，下導(dǎo)軌內(nèi)安裝有磙針，磨盤中心的轉(zhuǎn)軸下端用皮帶連接磨盤電機(jī)，磨盤下表面設(shè)計(jì)有上導(dǎo)軌，上導(dǎo)軌套裝在磙針上方，磨盤的上表面安裝有圓形磨片，圓形磨片上開有磨槽，上磨頭安裝在升降氣缸下方，上磨頭下表面安裝有固定盤，固定盤的凹孔內(nèi)安裝晶片，在機(jī)架上方安裝有上固定面和下固定面，在上固定面和下固定面上安裝有固定架，固定架內(nèi)側(cè)設(shè)計(jì)有固定滑道，在固定滑道上安裝有滑架，升降氣缸下端安裝在滑架的上端，滑架內(nèi)固定安裝有磨頭電機(jī)，上磨頭安裝在磨頭電機(jī)的轉(zhuǎn)軸下端。上固定面和下固定面上安裝的固定架和升降氣缸有四個(gè)，四個(gè)升降氣缸、四個(gè)固定架以及固定架內(nèi)安裝的滑架、磨頭電機(jī)和上磨頭結(jié)構(gòu)相同。采用本技術(shù)的技術(shù)方案，將磨頭電機(jī)直接裝在滑架上，磨頭電機(jī)直接帶動上磨頭，減少了傳動過程中的能量損失，消除了傳動產(chǎn)生的震動，晶片的拋光質(zhì)量大幅提高；由于采用四個(gè)上磨頭設(shè)計(jì)，上磨頭在磨盤上占用的面積增大，磨盤的利用更充分，機(jī)械工作效率提高。附圖說明圖1為本技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖1中A—A剖面結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式實(shí)施例：如圖1和圖2所示，一種藍(lán)寶石晶片四柱拋光機(jī)，該拋光機(jī)的機(jī)架8下方設(shè)計(jì)有磨盤座12，磨盤座12的內(nèi)圈上表面設(shè)計(jì)有圓形的下導(dǎo)軌15，下導(dǎo)軌15內(nèi)安裝有磙針16，磨盤18中心的轉(zhuǎn)軸下端用皮帶連接磨盤電機(jī)19，磨盤18下表面設(shè)計(jì)有上導(dǎo)軌17，上導(dǎo)軌17套裝在磙針16上方，磨盤18的上表面安裝有圓形磨片14，圓形磨片14上開有磨槽13，上磨頭7安裝在升降氣缸1下方，上磨頭7下表面安裝有固定盤10，固定盤10的凹孔內(nèi)安裝晶片11，在機(jī)架8上方安裝有上固定面4和下固定面6，在上固定面4和下固定面6上安裝有固定架3，固定架3內(nèi)側(cè)設(shè)計(jì)有固定滑道2，在固定滑道2上安裝有滑架5，升降氣缸1下端安裝在滑架5的上端，滑架5內(nèi)固定安裝有磨頭電機(jī)9，上磨頭7安裝在磨頭電機(jī)9的轉(zhuǎn)軸下端，上固定面4和下固定面6上安裝的固定架3和升降氣缸1有四個(gè)，四個(gè)升降氣缸1、四個(gè)固定架3以及固定架3內(nèi)安裝的滑架5、磨頭電機(jī)9和上磨頭7結(jié)構(gòu)相同。本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
藍(lán)寶石晶片四柱拋光機(jī)，該拋光機(jī)的機(jī)架（8）下方設(shè)計(jì)有磨盤座（12），磨盤座（12）的內(nèi)圈上表面設(shè)計(jì)有圓形的下導(dǎo)軌（15），下導(dǎo)軌（15）內(nèi)安裝有磙針（16），磨盤（18）中心的轉(zhuǎn)軸下端用皮帶連接磨盤電機(jī)（19），磨盤（18）下表面設(shè)計(jì)有上導(dǎo)軌（17），上導(dǎo)軌（17）套裝有磙針（16）上方，磨盤（18）的上表面安裝有圓形磨片（14），圓形磨片（14）上開有磨槽（13），上磨頭（7）安裝在升降氣缸（1）下方，上磨頭（7）下表面安裝有固定盤（10），固定盤（10）的凹孔內(nèi)安裝晶片（11），其特征在于：在機(jī)架（8）上方安裝有上固定面（4）和下固定面（6），在上固定面（4）和下固定面（6）上安裝有固定架（3），固定架（3）內(nèi)側(cè)設(shè)計(jì)有固定滑道（2），在固定滑道（2）上安裝有滑架（5），升降氣缸（1）下端安裝在滑架（5）的上端，滑架（5）內(nèi)固定安裝有磨頭電機(jī)（9），上磨頭（7）安裝在磨頭電機(jī)（9）的轉(zhuǎn)軸下端。

【技術(shù)特征摘要】
1.藍(lán)寶石晶片四柱拋光機(jī)，該拋光機(jī)的機(jī)架（8）下方設(shè)計(jì)有磨盤座（12），磨盤座（12）的內(nèi)圈上表面設(shè)計(jì)有圓形的下導(dǎo)軌（15），下導(dǎo)軌（15）內(nèi)安裝有磙針（16），磨盤（18）中心的轉(zhuǎn)軸下端用皮帶連接磨盤電機(jī)（19），磨盤（18）下表面設(shè)計(jì)有上導(dǎo)軌（17），上導(dǎo)軌（17）套裝有磙針（16）上方，磨盤（18）的上表面安裝有圓形磨片（14），圓形磨片（14）上開有磨槽（13），上磨頭（7）安裝在升降氣缸（1）下方，上磨頭（7）下表面安裝有固定盤（10），固定盤（10）的凹孔內(nèi)安裝晶片（11），其特征在于：在機(jī)架（8）上方安裝...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：吳康，胡文宏，李國洪，殷國祥，
申請(專利權(quán))人：云南藍(lán)晶科技有限公司，
類型：新型
國別省市：云南;53