一種基于氣氛保護條件下的激光焊接封裝裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術公開了一種基于氣氛保護條件下的激光焊接封裝裝置，尤其是一種基于特種氣體保護或真空條件下的激光焊接封裝裝置，裝置包括：移動小車、環境倉、激光視窗、前級真空泵、壓差閥、三通、真空壓力表、低閥、預閥、低真空測量傳感器、主泵、主閥、過渡管道、不銹鋼波紋管、充氣閥、壓力變送器、泄壓閥、高真空測量傳感器和固定輪，本裝置可廣泛用于半導體器件、光電轉換器件、集成電路、超高馬赫運動器件等需進行保護氣氛下封裝的產品，該設備可視化程度高、操作方便、性能穩定，能防止封裝材料在空氣中氧化，增加焊料的流動性，減少焊接時的氣孔、夾渣等焊接缺陷，顯著提高產品封裝的氣密性、強度和超高加速度(50G以上)的抗沖擊性能，具有較高的社會和經濟價值。

Laser welding packaging device based on atmosphere protection condition

The utility model discloses a laser welding based on atmosphere packaging device, particularly a laser welding packaging device, special gas or vacuum conditions based on device including: mobile car, environmental chamber, laser window, pre vacuum pump, pressure valve, pressure gauge, vacuum, three low valve, valve, pre low vacuum measurement sensor, the main pump, the main valve, transition pipe, stainless steel corrugated pipe, pneumatic valve, pressure transmitter, pressure relief valve, high vacuum measuring sensor and a fixed wheel, the utility model can be widely used in semiconductor devices, optoelectronic devices, integrated circuits, high motion devices need Maher to protect the atmosphere packaging products, the equipment of high visibility, convenient operation, stable performance, can prevent the oxidation of packaging materials in the air, increase the liquidity of the solder, reduction The welding defects such as gas hole, slag inclusion and so on, can significantly improve the air tightness, the strength and the super high acceleration (50G or above) of the product.

【技術實現步驟摘要】

本技術公開了一種基于氣氛保護條件下的激光焊接封裝裝置，尤其是一種基于特種氣體保護或真空條件下的激光焊接封裝裝置。
技術介紹
當前，半導體器件、集成電路、光電器件等特殊零部件進行激光焊接封裝作業時，焊接材料暴露在空氣中，在高溫條件下特別容易氧化，造成器件出現氣孔、夾渣、裂紋、焊接強度低等焊接缺陷，導致器件氣密性差、強度低、不耐沖擊等不合格率飆升，特別是不耐沖擊缺陷將造成高馬赫飛行的器件發生損壞，造成重大的安全事故和財產損失，目前國內普遍采用的真空手套箱進行保護焊接作業，但此種方案激光器需要集成在手套箱里，根本無法或難以觀察作業過程，造成操作工藝性極差，鑒于此，市場急需一種能夠在真空條件下或在特殊氣氛保護條件下的激光焊接封裝裝置，具備良好人機環境和柔性化的設備，滿足高端器件特別是航空航天高速飛行器專用器件的需求。
技術實現思路
針對原有技術中的不足之處，本技術的目的在于提供一種基于氣氛保護條件下的激光焊接封裝裝置，激光透過激光視窗在環境倉里進行作業，可在真空和任意氣體組分下作業，解決了材料氧化、氣密性差、焊接強度差等焊接和產品缺陷。為解決現有的問題，本技術采用的技術方案是：提供一種基于氣氛保護條件下的激光焊接封裝裝置，其特征在于：真空獲得系統集成在移動小車上，由前級真空泵、主泵、壓差閥、低閥、預閥、主閥、三通管道、過渡管道、真空壓力表、低真空測量傳感器和其他管道組成，真空泵均為無油真空泵，真空管道采用SUS304內外拋光管構成，真空系統通過SUS304柔性波紋管與環境倉相連；環境倉由SUS304不銹鋼制造，輔以電化學拋光工藝，漏率優于1X10-9Pa.L/S，底部有中心定位銷孔，有固定螺栓孔；環境倉頂部裝有激光視窗，激光視窗上鍍有抗激光耐損傷薄膜；環境倉上裝有壓力變送器和充氣閥門組成充氣系統，頂部裝有泄壓閥，側面裝有低真空測量傳感器、高真空測量傳感器，所有過流部件的密封均采用氟橡膠膠圈真空密封。優選的，真空泵均為無油真空泵，真空管道采用SUS304內外拋光管構成，真空系統通過SUS304柔性波紋管與環境倉相連。優選的，環境倉由SUS304不銹鋼制造，輔以電化學拋光工藝，漏率優于1X10-9Pa.L/S，底部有中心定位銷孔，有固定螺栓孔。優選的，環境倉頂部裝有激光視窗，激光視窗上鍍有抗激光耐損傷薄膜。優選的，環境倉上裝有壓力變送器和充氣閥門，頂部裝有泄壓閥，側面裝有低真空測量傳感器和高真空測量傳感器。專利技術的有益效果：本技術由于采用了上述技術，與現有技術相比具有以下有益效果：解決了空氣中器件焊接的工藝和產品缺陷；人機界面和操作工藝性遠優于現有設備；激光器放置在設備外能夠顯著縮小整機體積，減少工藝開發難度；環境倉能夠固定在任意激光焊接設備上，設備功能更多樣化和柔性化。附圖說明圖1為本技術結構示意圖；圖中：1-移動小車；2-環境倉；3-激光視窗；4-前級真空泵；5-壓差閥；6-三通；7-真空壓力表；8-低閥；9-預閥；10-低真空測量傳感器；11-主泵；12-主閥；13-過渡管道；14-不銹鋼波紋管；15-充氣閥；16-壓力變送器；17-泄壓閥；18-低真空測量傳感器；19-高真空測量傳感器；20-固定輪。具體實施方式真空獲得系統集成在移動小車（1）上，由前級真空泵（4）、主泵（11）、壓差閥（5）、低閥（8）、預閥（9）、主閥（12）、三通管道（6）、過渡管道（13）、真空壓力表（7）、低真空測量傳感器（10）和其他管道組成，真空泵均為無油真空泵，真空管道采用SUS304內外拋光管構成，真空系統通過SUS304柔性波紋管（14）與環境倉（2）相連，對環境倉抽真空，可獲得真空；環境倉（2）上裝有壓力變送器（15）和充氣閥門（16），根據焊接工藝需求充入特殊氣體進入環境倉（2），可提供特種氣體保護作業環境；環境倉（2）由SUS304不銹鋼制造，輔以電化學拋光工藝，漏率優于1X10-9Pa.L/S，底部有中心定位銷孔，有固定螺栓孔，精確定位在激光焊接設備的工作臺上；環境倉（2）頂部裝有激光視窗（3），激光視窗（3）上鍍有抗激光耐損傷薄膜，激光焊接裝置的激光透過激光視窗對環境倉（2）中的工件進行封裝作業；封裝作業結束后打開頂部泄壓閥（17）進行環境倉（2）內外壓差平衡；環境倉（2）側面裝有低真空測量傳感器（18）、高真空測量傳感器（19）、壓力變送器（15），對真空環境和特種氣氛寶華環境的壓力進行精密測量和控制，所有過流部件的密封均采用氟橡膠膠圈真空密封。以上所述，僅為本技術較佳的具體實施方式，但本技術的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本
的技術人員在本專利技術披露的技術范圍內，根據本技術的技術方案及其專利技術構思加以等同替換或改變，都應涵蓋在本技術的保護范圍之內。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種基于氣氛保護條件下的激光焊接封裝裝置，其特征在于：真空獲得系統集成在移動小車（1）上，由前級真空泵（4）、主泵（11）、壓差閥（5）、低閥（8）、預閥（9）、主閥（12）、三通管道（6）、過渡管道（13）、真空壓力表（7）、低真空測量傳感器（10）和其他管道組成，真空泵均為無油真空泵，真空管道采用SUS304內外拋光管構成，真空系統通過SUS304柔性波紋管（14）與環境倉（2）相連；環境倉（2）由SUS304不銹鋼制造，輔以電化學拋光工藝，漏率優于1X10?9Pa.L/S，底部有中心定位銷孔，有固定螺栓孔；環境倉（2）頂部裝有激光視窗（3），激光視窗（3）上鍍有抗激光耐損傷薄膜；環境倉（2）上裝有壓力變送器（15）和充氣閥門（16）組成充氣系統，頂部裝有泄壓閥（17），側面裝有低真空測量傳感器（18）、高真空測量傳感器（19），所有過流部件的密封均采用氟橡膠膠圈真空密封。

【技術特征摘要】
1.一種基于氣氛保護條件下的激光焊接封裝裝置，其特征在于：真空獲得系統集成在移動小車（1）上，由前級真空泵（4）、主泵（11）、壓差閥（5）、低閥（8）、預閥（9）、主閥（12）、三通管道（6）、過渡管道（13）、真空壓力表（7）、低真空測量傳感器（10）和其他管道組成，真空泵均為無油真空泵，真空管道采用SUS304內外拋光管構成，真空系統通過SUS304柔性波紋管（14）與環境倉（2）相連；環境倉（2）由SUS304不銹鋼制造，輔以電化學拋光工藝，漏率優于1X10-9Pa.L/S，底部有中心定位銷孔，有固定螺栓孔；環境倉（2）頂部裝有激光視窗（3），激光視窗（3）上鍍有抗激光耐損傷薄膜；環境倉（2）上裝有壓力變送器（15）和充氣閥門（16）組成充氣系統，頂部裝有泄壓閥（17），側面裝有低真空測量傳感器（18）、高真空測量傳感器（19），所有過流部件的密封...

【專利技術屬性】
技術研發人員：張松林，
申請(專利權)人：成都超邁光電科技有限公司，
類型：新型
國別省市：四川;51