烘烤設備制造技術

本發明專利技術提供一種烘烤設備，包括加熱室(1)、及熱量回收系統(2)；所述加熱室(1)的一側壁上設有出入口(11)，所述出入口(11)上設有開關門(12)；所述熱量回收系統(2)包括設于所述出入口(11)上方的蓋板(21)、及與所述蓋板(21)相連通的氣流引出管道(22)；通過在出入口(11)上側增加蓋板(21)，當開關門(12)打開時，從加熱室(1)散出的熱氣向上進入蓋板(21)中，減少了大部分熱氣外流所造成的能量浪費，并避免了熱氣凝結在加熱室(1)外而造成外部環境污染，進而降低了基板被污染而造成缺陷的風險。

Baking equipment

The invention provides a baking equipment which comprises a heating chamber (1), and heat recovery system (2); the heating chamber (1) of the side wall is provided with an entrance (11), the entrance (11) is arranged on the door (12); the heat recovery system (2) including in the entrance (11) above the cover plate (21), and the cover plate (21) connected with the air outlet duct (22); through the entrance (11) increase the upper cover (21), (12) when the door is opened, the heating chamber (1) from the hot air upward into the cover (21), reduced the most heat caused by the outflow of energy waste, and to avoid the condensation heat in the heating chamber (1) which caused by external environment pollution, thereby reducing the risk of contamination caused by defective substrate.

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及顯示裝置的制造領域，尤其涉及一種顯示裝置制作工藝過程中的一種烘烤設備。
技術介紹
液晶顯示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)具有機身薄、省電、無輻射等眾多優點，得到了廣泛的應用，如：移動電話、個人數字助理(PDA)、數字相機、計算機屏幕或筆記本電腦屏幕等。現有液晶顯示制作過程中，形成某一膜層時，通常需要利用光阻(Photoresist，PR)經過涂布、曝光、顯影工藝形成光阻圖形，其中在光阻涂布之后，還需要通過抽真空(VCD)單元抽出PR中的部分溶劑(Solvent)，再經過烘烤設備對其進行干燥和固化，去除經VCD環節后PR中殘留的溶劑，以增強PR與基板的粘著性，從而達到更好的顯影效果。在烘烤設備的加熱過程中，目前業界內主要是通過熱風或者紅外線輻射加熱基板，烘烤設備的加熱室(Chamber)內的溫度通常在90°至120°之間，加熱固化光阻的同時會使光阻中的溶劑揮發，從加熱室取放基板時，由于出入口處的開關門(Shutter)的開啟便會造成包含有揮發物的熱氣外泄，造成熱量的浪費，另外，由于加熱室外的溫度較低，含揮發物的熱氣外泄到加熱室旁的隔離室(Booth)內后，會造成熱氣在隔離室內聚集凝結而附著在Booth內壁上，久而久之附著在Booth內壁的光阻溶劑變干后會脫落而掉在基板上，造成基板缺陷，影響產品品質。因此，有必要設計一種具有防止有機物揮發從加熱室泄漏的烘烤設備，以解決上述問題。
技術實現思路
本專利技術的目的在于提供一種烘烤設備，可對加熱室在開關門開啟過程中散出熱氣進行回收，能夠減少熱氣外流而造成的能量浪費，并能夠降低基板被污染而造成缺陷的風險。為實現上述目的，本專利技術提供一種烘烤設備，包括用于對基板進行加熱的加熱室、及用于對從加熱室散出的熱氣進行回收的熱量回收系統；所述加熱室的一側壁上設有出入口，所述出入口上設有開關門；所述熱量回收系統包括設于所述出入口上方的蓋板、及與所述蓋板相連通的氣流引出管道；所述蓋板包括從加熱室的頂部上方向出入口所在側壁外延伸的蓋板本體，所述蓋板本體的底部開設有貫穿蓋板本體的氣流引出槽；所述氣流引出管道的一端與所述氣流引出槽的頂部相接通；使用過程中，當開關門被打開時，從加熱室散出的熱氣向上進入蓋板的氣流引出槽中，并通過氣流引出槽而進入氣流引出管道中。所述氣流引出槽為倒置形的漏斗狀。所述氣流引出槽的內側壁上設有可拆卸的隔板。所述氣流引出管道上設有可拆卸的濾芯。所述氣流引出管道的另一端與加熱室相連接。所述熱量回收系統還包括加熱裝置，用于對所述氣流引出管道中經所述濾芯過濾后的氣流在進入加熱室之前進行加熱。所述加熱室內通過熱風方式加熱所述基板。所述蓋板還包括從蓋板本體遠離所述加熱室一端向下延伸的擋板。所述加熱室外側設有隔離室，所述加熱室與所述熱量回收系統設于隔離室內，所述加熱室通過出入口與所述隔離室相連通。所述的烘烤設備用于液晶顯示面板的制程中，對在基板上涂布的光阻進行干燥和固化。本專利技術的有益效果：本專利技術的烘烤設備，包括加熱室、及熱量回收系統；所述加熱室的一側壁上設有出入口，所述出入口上設有開關門；所述熱量回收系統包括設于所述出入口上方的蓋板、及與所述蓋板相連通的氣流引出管道；通過在出入口上側增加蓋板，當開關門打開時，從加熱室散出的熱氣向上進入蓋板中，減少了大部分熱氣外流所造成的能量浪費，并避免了熱氣凝結在加熱室外而造成外部環境污染，進而降低了基板被污染而造成缺陷的風險。附圖說明為了能更進一步了解本專利技術的特征以及
技術實現思路
，請參閱以下有關本專利技術的詳細說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本專利技術加以限制。附圖中，圖1為本專利技術烘烤設備的結構示意圖；圖2為本專利技術烘烤設備中蓋板本體的剖面結構示意圖及蓋板本體與氣流引出管道的連接示意圖。具體實施方式為更進一步闡述本專利技術所采取的技術手段及其效果，以下結合本專利技術的優選實施例及其附圖進行詳細描述。請參閱圖1至圖2，本專利技術提供一種烘烤設備，包括用于對基板進行加熱的加熱室1、及用于對從加熱室1散出的熱氣進行回收的熱量回收系統2；所述加熱室1的一側壁上設有出入口11，所述出入口11上設有開關門12；所述熱量回收系統2包括設于所述出入口11上方的蓋板21、及與所述蓋板21相連通的氣流引出管道22；如圖2所示，所述蓋板21包括從加熱室1的頂部上方向出入口11所在側壁外延伸的蓋板本體211，所述蓋板本體211的底部開設有貫穿蓋板本體211的氣流引出槽212；所述氣流引出管道22的一端與所述氣流引出槽212的頂部相接通；使用過程中，當開關門12被打開時，從加熱室1散出的熱氣向上進入蓋板21的氣流引出槽212中，并通過氣流引出槽212而進入氣流引出管道22中。本專利技術的烘烤設備，通過在出入口11上側增加蓋板21，當開關門12打開時，從加熱室1散出的熱氣向上進入蓋板21中，并通過氣流引出槽212而進入氣流引出管道22中，能夠實現對散出熱氣的循環利用，減少了大部分熱氣外流所造成的能量浪費，并避免了熱氣凝結在加熱室1外而造成外部環境例如加熱室外的隔離室污染，進而降低了基板被污染而造成缺陷的風險。具體地，所述加熱室1外側設有隔離室3，所述加熱室1與所述熱量回收系統2設于隔離室3內，所述加熱室1通過出入口11與所述隔離室3相連通。具體地，所述加熱室1內通過熱風加熱方式加熱所述基板。具體地，所述氣流引出槽212為倒置形的漏斗狀，以利于從加熱室1散出的熱氣向上進入蓋板21中的。具體地，從加熱室1散出的熱氣通常附帶較多的溶劑，例如，光阻中的溶劑，由于加熱室1外的溫度相比室內較低，因此在漏斗狀的氣流引出槽212的內壁遇冷極易凝結，所以在氣流引出槽212內壁加裝易拆卸型的隔板214，利于凝結的溶劑的清除。具體地，所述氣流引出管道22上設有可拆卸的濾芯221，用于將熱氣中的有機溶劑徹底過濾掉，以達到可利用回收熱氣的目的。具體地，所述氣流引出管道22的另一端與加熱室1相連接。具體地，所述熱量回收系統2還包括加熱裝置23，用于對所述氣流引出管道22中經所述濾芯221過濾后的氣流在進入加熱室1之前進行加熱，使得從加熱室1散出的熱氣經過回收及再次加熱后加以利用，減少能量的浪費。具體地，所述蓋板21還包括從蓋板本體211遠離所述加熱室1一端向下延伸的擋板213。具體地，在本實施例中，所述烘烤設備用于液晶顯示面板的制程中，對在基板上涂布的光阻進行干燥和固化。綜上所述，本專利技術的烘烤設備，包括加熱室、及熱量回收系統；所述加熱室的一側壁上設有出入口，所述出入口上設有開關門；所述熱量回收系統包括設于所述出入口上方的蓋板、及與所述蓋板相連通的氣流引出管道；通過在出入口上側增加蓋板，當開關門打開時，從加熱室散出的熱氣向上進入蓋板中，減少了大部分熱氣外流所造成的能量浪費，并避免了熱氣凝結在加熱室外而造成外部環境污染，進而降低了基板被污染而造成缺陷的風險。以上所述，對于本領域的普通技術人員來說，可以根據本專利技術的技術方案和技術構思作出其他各種相應的改變和變形，而所有這些改變和變形都應屬于本專利技術后附的權利要求的保護范圍。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種烘烤設備，其特征在于，包括用于對基板進行加熱的加熱室(1)、及用于對從加熱室(1)散出的熱氣進行回收的熱量回收系統(2)；所述加熱室(1)的一側壁上設有出入口(11)，所述出入口(11)上設有開關門(12)；所述熱量回收系統(2)包括設于所述出入口(11)上方的蓋板(21)、及與所述蓋板(21)相連通的氣流引出管道(22)；所述蓋板(21)包括從加熱室(1)的頂部上方向出入口(11)所在側壁外延伸的蓋板本體(211)，所述蓋板本體(211)的底部開設有貫穿蓋板本體(211)的氣流引出槽(212)；所述氣流引出管道(22)的一端與所述氣流引出槽(212)的頂部相接通；使用過程中，當開關門(12)被打開時，從加熱室(1)散出的熱氣向上進入蓋板(21)的氣流引出槽(212)中，并通過氣流引出槽(212)而進入氣流引出管道(22)中。

【技術特征摘要】
1.一種烘烤設備，其特征在于，包括用于對基板進行加熱的加熱室(1)、及用于對從加熱室(1)散出的熱氣進行回收的熱量回收系統(2)；所述加熱室(1)的一側壁上設有出入口(11)，所述出入口(11)上設有開關門(12)；所述熱量回收系統(2)包括設于所述出入口(11)上方的蓋板(21)、及與所述蓋板(21)相連通的氣流引出管道(22)；所述蓋板(21)包括從加熱室(1)的頂部上方向出入口(11)所在側壁外延伸的蓋板本體(211)，所述蓋板本體(211)的底部開設有貫穿蓋板本體(211)的氣流引出槽(212)；所述氣流引出管道(22)的一端與所述氣流引出槽(212)的頂部相接通；使用過程中，當開關門(12)被打開時，從加熱室(1)散出的熱氣向上進入蓋板(21)的氣流引出槽(212)中，并通過氣流引出槽(212)而進入氣流引出管道(22)中。2.如權利要求1所述的烘烤設備，其特征在于，所述氣流引出槽(212)為倒置形的漏斗狀。3.如權利要求1所述的烘烤設備，其特征在于，所述氣流引出槽(212)的內側壁上設有可拆卸的隔板(...

【專利技術屬性】
技術研發人員：魏德萌，游鎮滔，
申請(專利權)人：武漢華星光電技術有限公司，
類型：發明
國別省市：湖北;42