一種應用于半導體設備的角度限位鉸鏈制造技術

本發明專利技術提供一種能夠在半導體等離子體處理裝置中，實現開關腔操作更加輕便、靈活，并且能夠固定角度的限位鉸鏈。所述的限位鉸鏈連接在半導體等離子體設備反應腔模塊中的上蓋板和反應腔體外表面之間。該角度限位鉸鏈主要由上鉸鏈、下鉸鏈、固定銷、轉軸和限位塊組成。所述上鉸鏈和反應腔上蓋板連接，下鉸鏈和反應腔體連接，兩鉸鏈之間通過轉軸固定，上鉸鏈可沿轉軸轉動；可拆卸的固定銷可固定于銷孔內，并與限位塊配合，可使上鉸鏈與下鉸鏈保持以固定角度。本發膽結構簡單，不僅實現了在特定位置有限空間內結構的緊湊性，而且能夠避免開關腔時等離子體設備傳送模塊壓力過大的影響。可廣泛地應用于半導體技術領域中。

【技術實現步驟摘要】
一種應用于半導體設備的角度限位鉸鏈
本專利技術涉及一種角度限位鉸鏈，尤其涉及到半導體等離子體設備中的固定角度鉸鏈，屬于半導體制造

技術介紹
如今，半導體行業中等離子體設備反應模塊中固定角度鉸鏈的設計十分重要，它不僅涉及到進行開關腔操作時的輕便性、靈活性，而且也涉及開關腔時所占用的空間和腔體上蓋板帶來的壓力過大問題。在以往的設計中，等離子體設備開關腔時角度隨意性大，腔體上蓋板重量過大，在開腔時上蓋板極容易對傳送模塊造成壓迫。目前，隨著半導體技術水平的不斷發展，要求我們在保證開關腔靈活輕便的同時，能夠減小開關腔的施力并且能夠對傳送模塊的壓力降到最小。因此，需要設計一種新型的固定鉸鏈裝置或者是對傳統的固定鉸鏈裝置進行改善設計，以此來達到設計目的。本專利是在傳統的固定鉸鏈裝置基礎上進行改善設計的。增加了限位塊的固定角度鉸鏈避免了開腔后上蓋板對傳送模塊的壓力過大問題，又能在緊湊的結構中高效的利用空間位置，使反應模塊的開關腔操作更加靈活、輕便、安全。
技術實現思路
本專利技術是鑒于改善等離子體設備中開關腔時角度不可控現象而提出的，其目的是提供一種在保證較好的輕便性、靈活性的基礎上，角度可固定的鉸鏈裝置。本專利技術第一方面，是一種可實現半導體等離子體處理裝置中開關腔更加輕便、靈活，并且能夠保持一定角度的鉸鏈，所述的固定角度鉸鏈是連接在反應腔模塊中的上蓋板和反應腔外表面之間。進一步地，所述的角度限位鉸鏈，其特征在于：由上鉸鏈、下鉸鏈、固定銷、轉軸和限位塊五部分組成。進一步地，所述的角度限位鉸鏈，其特征在于：上下鉸鏈之間通過轉軸連接，上鉸鏈可隨轉軸轉動。進一步地，所述的角度限位鉸鏈，其特征在于：鉸鏈上設有兩個銷孔。進一步地，所述的角度限位鉸鏈，其特征在于：可拆卸的固定銷在開關腔時處于不同的銷孔內。進一步地，所述的角度限位鉸鏈，其特征在于：在開腔時，固定銷位于上銷孔內，可使鉸鏈保持一固定角度。進一步地，所述的角度限位鉸鏈，其特征在于：在下鉸鏈上方設有限位塊。本專利技術的有益效果及特點：本專利技術設計的新型固定角度鉸鏈，通過對鉸鏈角度的固定，可實現半導體等離子體設備開關腔的輕便性和靈活性，結構簡單，不僅實現了在特定位置有限空間內結構的緊湊性，而且能夠避免開關腔時等離子體設備傳送模塊壓力過大的影響。本發膽能夠簡單有效地增大安裝范圍，易于使用和在半導體
中推廣。附圖說明圖1是本專利技術的結構示意圖。下面結合附圖,對本專利技術的具體實施方式作進一步的詳細說明。根據下面說明，本專利技術的優點和特征將更清楚。具體實施方式實施例參考圖1，一種應用于半導體設備的角度限位鉸鏈，由上鉸鏈2、下鉸鏈5、固定銷3、轉軸4和限位塊1五個部分組成。所述上鉸鏈2與下鉸鏈5之間通過轉軸連接，上鉸鏈2可隨轉軸4轉動；所述上鉸鏈2與下鉸鏈5上分別設有兩個銷孔。所述固定銷3可拆卸，并在開關腔時處于不同的銷孔內。所述固定銷在開腔時，位于上銷孔內，可使鉸鏈保持一固定角度。所述下鉸鏈5上方設有限位塊1。本專利技術的上鉸鏈和反應腔上蓋板連接，下鉸鏈和反應腔體連接，兩鉸鏈之間通過轉軸固定，上鉸鏈可沿轉軸轉動；可拆卸的固定銷可固定于銷孔內，并與限位塊配合，可使上鉸鏈與下鉸鏈保持以固定角度。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種應用于半導體設備的角度限位鉸鏈，其特征在于：它由上鉸鏈、下鉸鏈、固定銷、轉軸和限位塊五部分組成，所述的上鉸鏈與下鉸鏈之間通過轉軸連接，上鉸鏈可隨轉軸轉動，所述下鉸鏈的上方設有限位塊。

【技術特征摘要】
1.一種應用于半導體設備的角度限位鉸鏈，其特征在于：它由上鉸鏈、下鉸鏈、固定銷、轉軸和限位塊五部分組成，所述的上鉸鏈與下鉸鏈之間通過轉軸連接，上鉸鏈可隨轉軸轉動，所述下鉸鏈的上方設有限位塊。2.如權利要求1所述的一種應用于半導體設備的角度限位鉸鏈，其特征在于：所述上鉸鏈與...

【專利技術屬性】
技術研發人員：王燚，續震，吳夢瑤，
申請(專利權)人：沈陽拓荊科技有限公司，
類型：發明
國別省市：遼寧,21