The invention discloses a vacuum self sealing valve, sealing flange, bearing flange, a first sealing ring and four joints, second sealing ring, a connecting rod, a vacuum linear coupling comprises a center with the threaded hole; one end of the connecting flange of the connecting rod through the threaded hole and the end. The other end is connected with the vacuum linear coupling connected; one end of the four connector is provided with a first connecting flange, the bearing flange connected by a first connecting flange and four joints, the second sealing ring is arranged on the bearing flange and the connecting flange; the sealing flange and flange pressure bump pair the linear coupling, adjusting the vacuum connecting rod, the sealing flange near or far away from the pressure of the drive flange. The invention greatly reduces the size of the valve and is helpful for the miniaturization of the equipment and can be applied to the special requirements of different occasions.
【技術實現步驟摘要】
可抽真空的自緊密封閥門
本專利技術涉及真空設備及承壓設備,氣體輸送系統中的控制部件,具體為一種可抽真空的自緊密封閥門,適用于高純氣體注入場合。
技術介紹
真空閥門是真空系統中必不可少的氣體控制部件,要求有較高的氣密性,不污染工作介質,并且對氣流的阻力要盡量小;高壓閥門則要求能承受額定的工作壓力,并避免各種形式的泄漏。有些場合需要先對容器或管道抽真空而后注入高純氣體,這就需要閥門同時具有真空密封及高壓密封的功能。目前市場上已經有較多系列化的既有真空密封又有高壓密封功能的閥門,這些閥門尺寸雖然較小但流導也很小,對抽真空很不利,或者流導較大但重量也很大,或者流導大重量輕但不能承受高壓。有些要求苛刻的場合就無法采用現有的閥門。在無中微子雙貝塔衰變粒子探測器中,工作介質極其昂貴,純度要求0.999995,工作壓力1Mpa。所以對閥門的要求是密封良好,漏率低于1E-4Pa·L/s;具有較大流導以盡可能的消除空氣對工作介質純度的影響;能夠承受1MPa的工作壓力。同時探測器對本底放射性的要求極為苛刻,一般的閥門材料比如不銹鋼、鎳基合金由于放射性較高而不能使用,最好選用放射性極低的無氧銅,而無氧銅的強度較小。
技術實現思路
為了解決上述現有技術問題,本專利技術提出一種流導大、額定工作壓力高、結構緊湊的自緊密封閥門,可通過此閥門抽真空,大部分閥門零件可在抽真空完畢后拆除。本專利技術的技術解決方案如下:一種可抽真空的自緊密封閥門,包括中心具有螺紋孔的密封法蘭、承壓法蘭、第一密封圈、四通接頭、第二密封圈、連接桿、真空線性聯軸器;所述連接桿的一端通過所述螺紋孔與所述密封法蘭相連,另一端 ...
【技術保護點】
一種可抽真空的自緊密封閥門,其特征在于,包括中心具有螺紋孔的密封法蘭(1)、承壓法蘭(2)、第一密封圈(3)、四通接頭(5)、第二密封圈(7)、連接桿(8)、真空線性聯軸器(10);所述連接桿(8)的一端通過所述螺紋孔與所述密封法蘭(1)相連,另一端與所述真空線性聯軸器(10)的一端相連;所述四通接頭(5)的一端設有第一連接法蘭(4),所述承壓法蘭(2)通過第一連接法蘭(4)與四通接頭(5)相連,所述第二密封圈(7)設置在所述承壓法蘭(2)與第一連接法蘭(4)之間;所述密封法蘭(1)和承壓法蘭(2)凹凸配對,兩法蘭的密封面互相平行,所述第一密封圈(3)放置在密封法蘭(1)的密封槽內;調節所述真空線性聯軸器(11),使連接桿(8)驅動所述密封法蘭(1)靠近或遠離所述承壓法蘭(2)。
【技術特征摘要】
1.一種可抽真空的自緊密封閥門,其特征在于,包括中心具有螺紋孔的密封法蘭(1)、承壓法蘭(2)、第一密封圈(3)、四通接頭(5)、第二密封圈(7)、連接桿(8)、真空線性聯軸器(10);所述連接桿(8)的一端通過所述螺紋孔與所述密封法蘭(1)相連,另一端與所述真空線性聯軸器(10)的一端相連;所述四通接頭(5)的一端設有第一連接法蘭(4),所述承壓法蘭(2)通過第一連接法蘭(4)與四通接頭(5)相連,所述第二密封圈(7)設置在所述承壓法蘭(2)與第一連接法蘭(4)之間;所述密封法蘭(1)和承壓法蘭(2)凹凸配對,兩法蘭的密封面互相平行,所述第一密封圈(3)放置在密封法蘭(1)的密封槽內;調節所述...
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