用于在測試設(shè)備中傳輸信號的同軸結(jié)構(gòu)制造技術(shù)

一種示例性系統(tǒng)包括：具有電氣元件的電路板；具有觸點(diǎn)的晶片；以及用于在電氣元件和觸點(diǎn)之間路由信號的互連件。所述互連件包括多個(gè)層，每一層包括柔性電路。所述柔性電路包括設(shè)置在其上的導(dǎo)電跡線。所述互連件還包括在所述多個(gè)層中的相鄰層之間的屏蔽件。所述屏蔽件電連接到地。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
【國外來華專利技術(shù)】用于在測試設(shè)備中傳輸信號的同軸結(jié)構(gòu)
本說明書整體涉及用于在測試設(shè)備或其他電子器件中傳輸信號的同軸結(jié)構(gòu)。
技術(shù)介紹
晶片級測試包括測試晶片上的晶粒。在本說明書中，“晶粒”一詞涵蓋單復(fù)數(shù)意義的“晶粒”。晶粒易碎，因此優(yōu)選地在測試期間接觸任何晶粒不超過一次。然而，由于晶粒通常在圓形晶片上被圖案化，因此測試任何一組晶粒可能涉及接觸若干晶粒不止一次。此外，接觸晶粒的裝置可能必須部分地離(移)開晶片以便接觸到所有晶粒。一定數(shù)量的測試電路需要具有良好的電通路(例如，低損耗、低電感和低串?dāng)_)來測試晶粒。該電路中通常針對每個(gè)被測試的晶粒占據(jù)測試板的幾平方英寸空間。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
一種示例性系統(tǒng)包括：包括電氣元件的電路板；包括觸點(diǎn)的晶片；以及用于在電氣元件和觸點(diǎn)之間路由信號的互連件。該互連件包括多個(gè)層，其中這多個(gè)層中的每一者包括柔性電路，并且其中柔性電路包括設(shè)置在其上的導(dǎo)電跡線。該互連件還包括在多個(gè)層中的相鄰層之間的屏蔽件。屏蔽件電連接到地。示例性系統(tǒng)可包括下列特征中的一個(gè)或多個(gè)(單獨(dú)地或組合地)。柔性電路可包括電介質(zhì)，并且導(dǎo)電跡線的端可延伸超過該電介質(zhì)。互連件可包括第二電介質(zhì)。導(dǎo)電跡線的端可圍繞第二電介質(zhì)彎曲。導(dǎo)電跡線的端可包括電觸點(diǎn)。每條導(dǎo)電跡線的屏蔽件可包括導(dǎo)電跡線上方的導(dǎo)電層和導(dǎo)電跡線下方的導(dǎo)電層。導(dǎo)電跡線上方的導(dǎo)電層和導(dǎo)電跡線下方的導(dǎo)電層中的每一者可具有切除部分。導(dǎo)電跡線上方的導(dǎo)電層和導(dǎo)電跡線下方的導(dǎo)電層中的每一者可被布置成使得導(dǎo)電跡線的至少一部分在不同導(dǎo)電層的切除部分之間。屏蔽件可包括布置在互連件內(nèi)的多層屏蔽件，使得每條導(dǎo)電跡線在兩層屏蔽件之間。兩層屏蔽件中的每一者可具有與對應(yīng)的導(dǎo)電跡線相鄰的切除部分。這兩層中的每一者的切除部分可相對于導(dǎo)電跡線布置，使得在導(dǎo)電跡線和兩層屏蔽件中的每一者之間存在空氣。互連件中的至少一些導(dǎo)電跡線可包括彎曲或蜿蜒部分，該部分被配置為實(shí)現(xiàn)互連件中不同導(dǎo)電跡線之間的電通路長度和渡越時(shí)間、阻抗以及信號衰減的實(shí)質(zhì)上匹配。電氣元件可按第一間距布置，觸點(diǎn)可按第二間距布置。互連件可被配置為在第一間距和第二間距之間轉(zhuǎn)換。內(nèi)插器可位于互連件和電路板之間。內(nèi)插器可包括電氣元件和觸點(diǎn)之間的電氣通道的一部分。該系統(tǒng)可包括在內(nèi)插器上的導(dǎo)電且機(jī)械順應(yīng)的觸點(diǎn)。觸點(diǎn)可在內(nèi)插器和晶片上的對應(yīng)觸點(diǎn)之間提供機(jī)械順應(yīng)性電連接。電路板可包括與每個(gè)電氣元件相關(guān)聯(lián)的電子器件，其中與對應(yīng)的電氣元件相關(guān)聯(lián)的電子器件用于支持對應(yīng)的電氣元件的操作。該系統(tǒng)可在互連件和晶片之間包括引腳，其中這些引腳用于提供觸點(diǎn)和互連件之間的電氣通道的至少一部分。接口板可位于引腳和互連件之間。接口板可以是觸點(diǎn)和互連件之間的電氣通道的至少一部分。接口板可包括電氣通道中的電子部件。電子部件可包括無源電子部件。電子部件可包括電容器、平衡—不平衡轉(zhuǎn)換器或開關(guān)中的至少一者。電子部件可包括有源電子部件。每個(gè)電氣元件可包括射頻(RF)探針卡的一部分。電氣元件可包括端接在電路板上的電纜。觸點(diǎn)可按平行的行布置在晶片上，并且該系統(tǒng)可包括測試器，以在互連件和觸點(diǎn)的子集之間進(jìn)行電接觸。另一個(gè)示例性系統(tǒng)包括：包括電氣元件的電路板；包括觸點(diǎn)的晶片；以及用于在電氣元件和觸點(diǎn)之間路由信號的互連件。該互連件包括多個(gè)層，每層包括由電介質(zhì)圍繞的導(dǎo)體。該互連件還包括在多個(gè)層中的相鄰層之間的屏蔽件，其中該屏蔽件電連接到地。示例性系統(tǒng)可包括下列特征中的一個(gè)或多個(gè)(單獨(dú)地或組合地)。導(dǎo)體的端可延伸超過電介質(zhì)。互連件可包括第二電介質(zhì)。導(dǎo)體的端可圍繞第二電介質(zhì)彎曲。導(dǎo)體的端可包括電觸點(diǎn)。導(dǎo)體的端可延伸超過電介質(zhì)并接觸包括電觸點(diǎn)的導(dǎo)電釘頭。每個(gè)導(dǎo)體的屏蔽件可包括導(dǎo)體上方的導(dǎo)電層和導(dǎo)體下方的導(dǎo)電層。導(dǎo)體上方的導(dǎo)電層和導(dǎo)體下方的導(dǎo)電層中的每一者可具有切除部分。導(dǎo)體上方的導(dǎo)電層和導(dǎo)體下方的導(dǎo)電層中的每一者可被布置成使得導(dǎo)體的至少一部分在不同導(dǎo)電層的切除部分之間。屏蔽件可包括布置在互連件內(nèi)的多層屏蔽件，使得每個(gè)導(dǎo)體在兩層屏蔽件之間。兩層屏蔽件中的每一者可具有與導(dǎo)體相鄰的切除部分。這兩層中的每一者的切除部分可相對于導(dǎo)體布置，使得在導(dǎo)體和兩層屏蔽件中的每一者之間存在空氣。互連件中的至少一些導(dǎo)體可包括彎曲或蜿蜒部分，該部分被配置為實(shí)現(xiàn)互連件中不同導(dǎo)體之間的電通路長度和渡越時(shí)間、阻抗以及信號衰減的實(shí)質(zhì)上匹配。電氣元件可按第一間距布置，觸點(diǎn)可按第二間距布置。互連件可被配置為在第一間距和第二間距之間轉(zhuǎn)換。內(nèi)插器可位于互連件和電路板之間。內(nèi)插器可包括電氣元件和觸點(diǎn)之間的電氣通道的一部分。該系統(tǒng)可包括在內(nèi)插器上的導(dǎo)電且機(jī)械順應(yīng)的觸點(diǎn)，其中這些觸點(diǎn)將在內(nèi)插器和晶片上的對應(yīng)觸點(diǎn)之間提供機(jī)械順應(yīng)性電連接。電路板可包括與每個(gè)電氣元件相關(guān)聯(lián)的電子器件。電子器件可用于支持對應(yīng)的電氣元件的操作。該系統(tǒng)可在互連件和晶片之間包括引腳，其中這些引腳用于提供觸點(diǎn)和互連件之間的電氣通道的至少一部分。接口板可位于引腳和互連件之間。接口板可以是觸點(diǎn)和互連件之間的電氣通道的至少一部分。接口板可包括電氣通道中的電子部件。電子部件可包括無源電子部件。電子部件可包括電容器、平衡—不平衡轉(zhuǎn)換器或開關(guān)中的至少一者。電子部件可包括有源電子部件。每個(gè)電氣元件可包括射頻(RF)探針卡的一部分。電氣元件可包括端接在電路板上的電纜。觸點(diǎn)可按平行的行布置在晶片上。該系統(tǒng)可包括測試器，以在互連件和觸點(diǎn)的子集之間進(jìn)行電接觸。用于傳輸電信號的示例性結(jié)構(gòu)包括多個(gè)層，其中這多個(gè)層中的每一者包括：柔性電路，其中柔性電路包括設(shè)置在其上的用于傳輸電信號的導(dǎo)電跡線；以及在這多個(gè)層中的相鄰層之間的屏蔽件，其中該屏蔽件電連接到地并且包括導(dǎo)電跡線的返回路徑，并且其中屏蔽件與導(dǎo)電跡線分開。該示例性結(jié)構(gòu)可包括下列特征中的一個(gè)或多個(gè)(單獨(dú)地或組合地)。每個(gè)柔性電路可包括電介質(zhì)，并且導(dǎo)電跡線的端可延伸超過該電介質(zhì)。該結(jié)構(gòu)可包括第二電介質(zhì)。導(dǎo)電跡線的端可圍繞第二電介質(zhì)彎曲。導(dǎo)電跡線的端可包括電觸點(diǎn)。每條導(dǎo)電跡線的屏蔽件可包括導(dǎo)電跡線上方的導(dǎo)電層和導(dǎo)電跡線下方的導(dǎo)電層，其中導(dǎo)電跡線上方的導(dǎo)電層和導(dǎo)電跡線下方的導(dǎo)電層中的每一者具有切除部分，并且其中導(dǎo)電跡線上方的導(dǎo)電層和導(dǎo)電跡線下方的導(dǎo)電層中的每一這被布置成使得導(dǎo)電跡線的至少一部分在不同導(dǎo)電層的切除部分之間。屏蔽件可包括布置在該結(jié)構(gòu)內(nèi)的多層屏蔽件，使得每條導(dǎo)電跡線在兩層屏蔽件之間，其中這兩層屏蔽件中的每一者具有與對應(yīng)的導(dǎo)電跡線相鄰的切除部分。這兩層中的每一者的切除部分可相對于導(dǎo)電跡線布置，使得在導(dǎo)電跡線和兩層屏蔽件中的每一者之間存在空氣。該結(jié)構(gòu)中的至少一些導(dǎo)電跡線可包括彎曲或蜿蜒部分，該部分被配置為實(shí)現(xiàn)不同導(dǎo)電跡線之間的電通路長度和渡越時(shí)間、阻抗以及信號衰減的實(shí)質(zhì)上匹配。用于傳輸電信號的另一個(gè)示例性結(jié)構(gòu)包括多個(gè)層，其中這多個(gè)層中的每一者包括：由電介質(zhì)圍繞的導(dǎo)體，其中導(dǎo)體用于傳輸電信號；以及在這多個(gè)層中的相鄰層之間的屏蔽件，其中該屏蔽件電連接到地并且包括導(dǎo)體的返回路徑。該示例性結(jié)構(gòu)可包括下列特征中的一個(gè)或多個(gè)(單獨(dú)地或組合地)。導(dǎo)體的端可延伸超過對應(yīng)的電介質(zhì)。該結(jié)構(gòu)可包括第二電介質(zhì)。導(dǎo)體的端可圍繞第二電介質(zhì)彎曲。導(dǎo)體的端可包括電觸點(diǎn)。導(dǎo)體的所述端可延伸超過電介質(zhì)并接觸包括電觸點(diǎn)的導(dǎo)電釘頭。每個(gè)導(dǎo)體的屏蔽件可包括導(dǎo)體上方的導(dǎo)電層和導(dǎo)體下方的導(dǎo)電層。導(dǎo)體上方的導(dǎo)電層本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種系統(tǒng)，包括：包括電氣元件的電路板；包括觸點(diǎn)的晶片；并且在所述電氣元件和所述觸點(diǎn)之間路由信號的互連件，所述互連件包括多個(gè)層，所述多個(gè)層中的每一者包括柔性電路，所述柔性電路包括設(shè)置在其上的導(dǎo)電跡線，所述互連件還包括所述多個(gè)層中的相鄰層之間的屏蔽件，所述屏蔽件電連接到地。

【技術(shù)特征摘要】
【國外來華專利技術(shù)】2014.07.16 US 14/332,7571.一種系統(tǒng)，包括：包括電氣元件的電路板；包括觸點(diǎn)的晶片；并且在所述電氣元件和所述觸點(diǎn)之間路由信號的互連件，所述互連件包括多個(gè)層，所述多個(gè)層中的每一者包括柔性電路，所述柔性電路包括設(shè)置在其上的導(dǎo)電跡線，所述互連件還包括所述多個(gè)層中的相鄰層之間的屏蔽件，所述屏蔽件電連接到地。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述柔性電路包括電介質(zhì)，所述導(dǎo)電跡線的端延伸超過所述電介質(zhì)；并且其中所述互連件包括第二電介質(zhì)，所述導(dǎo)電跡線的所述端圍繞所述第二電介質(zhì)彎曲，所述導(dǎo)電跡線的所述端包括電觸點(diǎn)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中用于每條導(dǎo)電跡線的所述屏蔽件包括所述導(dǎo)電跡線上方的導(dǎo)電層和所述導(dǎo)電跡線下方的導(dǎo)電層，所述導(dǎo)電跡線上方的所述導(dǎo)電層和所述導(dǎo)電跡線下方的所述導(dǎo)電層中的每一者均具有切除部分，所述導(dǎo)電跡線上方的所述導(dǎo)電層和所述導(dǎo)電跡線下方的所述導(dǎo)電層中的每一者均被布置成使得所述導(dǎo)電跡線的至少一部分介于不同導(dǎo)電層的切除部分之間。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述屏蔽件包括：布置在所述互連件內(nèi)的多層屏蔽件，使得每條導(dǎo)電跡線介于兩層屏蔽件之間，所述兩層屏蔽件中的每一者均具有與對應(yīng)的導(dǎo)電跡線相鄰的切除部分。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其中所述兩層屏蔽件中的每一者的切除部分可相對于所述導(dǎo)電跡線布置，使得在所述導(dǎo)電跡線和所述兩層屏蔽件中的每一者之間存在空氣。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述互連件中的至少一些導(dǎo)電跡線包括彎曲或蜿蜒部分，所述彎曲或蜿蜒部分被配置為在所述互連件中不同導(dǎo)電跡線之間實(shí)現(xiàn)實(shí)質(zhì)上匹配的電通路長度和渡越時(shí)間、阻抗以及信號衰減。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述電氣元件以第一間距布置，所述觸點(diǎn)以第二間距布置；并且其中所述互連件被配置為在所述第一間距和所述第二間距之間轉(zhuǎn)換。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，還包括：所述互連件和所述電路板之間的內(nèi)插器，所述內(nèi)插器包括所述電氣元件和所述觸點(diǎn)之間的電通路的一部分。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，還包括：所述內(nèi)插器上的導(dǎo)電且機(jī)械順應(yīng)的觸點(diǎn)，所述觸點(diǎn)在所述內(nèi)插器和所述晶片上的所述對應(yīng)觸點(diǎn)之間提供機(jī)械順應(yīng)性電連接。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述電路板還包括：與每個(gè)所述電氣元件相關(guān)聯(lián)的電子器件，其中與對應(yīng)的電氣元件相關(guān)聯(lián)的電子器件用于支持所述對應(yīng)的電氣元件的操作。11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，還包括：所述互連件和所述晶片之間的引腳，所述引腳用于提供所述觸點(diǎn)和所述互連件之間的電氣通道的至少一部分；并且所述引腳和所述互連件之間的接口板，所述接口板是所述觸點(diǎn)和所述互連件之間的所述電氣通道的至少一部分，所述接口板包括所述電氣通道中的電子部件。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的系統(tǒng)，其中所述電子部件為無源電子部件。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其中所述電子部件包括電容器、平衡—不平衡轉(zhuǎn)換器或開關(guān)中的至少一者。14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的系統(tǒng)，其中所述電子部件包括有源電子部件。15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中每個(gè)所述電氣元件包括射頻(RF)探針卡的一部分。16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述電氣元件包括端接在所述電路板上的電纜。17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述觸點(diǎn)在所述晶片上按平行的行布置；并且其中所述系統(tǒng)還包括：在所述互連件和所述觸點(diǎn)的子集之間進(jìn)行電接觸的測試器。18.一種系統(tǒng)，包括：包括電氣元件的電路板；包括觸點(diǎn)的晶片；并且在所述電氣元件和所述觸點(diǎn)之間路由信號的互連件，所述互連件包括多個(gè)層，所述多個(gè)層中的每一者包括由電介質(zhì)圍繞的導(dǎo)體，所述互連件還包括在所述多個(gè)層中的相鄰層之間的屏蔽件，所述屏蔽件電連接到地。19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的系統(tǒng)，其中所述導(dǎo)體的端延伸超過所述電介質(zhì)；并且其中所述互連件包括第二電介質(zhì)，所述導(dǎo)體的所述端圍繞所述第二電介質(zhì)彎曲，所述導(dǎo)體的所述端包括電觸點(diǎn)。20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的系統(tǒng)，其中所述導(dǎo)體的端延伸超過所述電介質(zhì)并接觸包括電觸點(diǎn)的導(dǎo)電釘頭。21.根據(jù)權(quán)利要求18所述的系統(tǒng)，其中每個(gè)導(dǎo)體的所述屏蔽件包括所述導(dǎo)體上方的導(dǎo)電層和所述導(dǎo)體下方的導(dǎo)電層，所述導(dǎo)體上方的所述導(dǎo)電層和所述導(dǎo)體下方的所述導(dǎo)電層中的每一者均具有切除部分，所述導(dǎo)體上方的所述導(dǎo)電層和所述導(dǎo)體下方的所述導(dǎo)電層中的每一者均被布置成使得所述導(dǎo)體的至少一部分在不同導(dǎo)電層的切除部分之間。22.根據(jù)權(quán)利要求18所述的系統(tǒng)，其中所述屏蔽件包括：布置在所述互連件內(nèi)的多層屏蔽件，使得每個(gè)導(dǎo)體介于兩層屏蔽件之間，所述兩層屏蔽件中的每一者均具有與導(dǎo)體相鄰的切除部分。23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的系統(tǒng)，其中所述兩層屏蔽件中的每一者的切除部分相對于所述導(dǎo)體布置，使得在所述導(dǎo)體和所述兩層屏蔽件中的每一者之間存在空氣。24.根據(jù)權(quán)利要求18所述的系統(tǒng)，其中所述互連件中的至少一些導(dǎo)體可包括彎曲或蜿蜒部分，所述彎曲或蜿蜒部分被配置為在所述互連件中不同導(dǎo)體之間實(shí)現(xiàn)實(shí)質(zhì)上匹配的電通路長度和渡越...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：羅格·艾倫·辛希莫，大衛(wèi)·沃爾特·萊溫內(nèi)克，路易斯·安東尼奧·瓦利恩特，
申請(專利權(quán))人：泰拉丁公司，
類型：發(fā)明
國別省市：美國,US