無籃式硅片清洗機械手制造技術

一種無籃式硅片清洗機械手，屬于硅片清洗設備領域。包括用于驅動手抓側臂相對轉動的夾緊驅動部，手抓側臂鉸接在縱向移動架上，手抓側臂底部設有固定件，固定件上開有若干用于卡住硅片的固定槽。本方案通過石英制成的固定件來夾緊固定硅片，使得硅片在清洗過程中更加充分的與清洗液相接觸，且石英制成的固定件極難與酸或堿溶液反應，從而不易污染清洗液，并且大大節約了制造成本。且在進行夾取硅片時，減少了人工將硅片插入花籃的步驟，大大減少了工作時間，提高了工作效率。

No basket type silicon wafer cleaning manipulator

The utility model relates to a non basket type silicon wafer cleaning manipulator, belonging to the field of silicon wafer cleaning equipment. The utility model comprises a clamping driving part used for driving the relative rotation of the side arm of the hand grip, the hand grasping side arm is hinged on the longitudinal moving rack, and the bottom of the hand grasping side arm is provided with a fixing piece, and the fixing part is provided with a plurality of fixing slots for holding the silicon wafer. This scheme is made by quartz fixture clamping the wafer, the wafer in the cleaning process more fully with the cleaning liquid is in contact with the fixing piece and the quartz made extremely difficult and acid or alkali solution, which is not easy to pollute the cleaning liquid, and greatly saves manufacturing cost. When the silicon wafer is clamped, the step of inserting the silicon chip into the flower basket is reduced, and the working time is greatly reduced, and the work efficiency is improved.

【技術實現步驟摘要】
無籃式硅片清洗機械手
本技術涉及硅片清洗設備領域，特別涉及一種無籃式硅片清洗機械手。
技術介紹
現有清洗機一般采用有藍式清洗，即清洗硅片時，首先要把硅片放進花籃，然后放進清洗機，清洗機的機械手抓取花籃，然后連同花籃一起進行酸堿或者有機清洗。如公告號為204441264U的中國技術專利公開了一種硅片工裝花籃轉移裝置，在使用時需要將硅片一片一片插入花籃內，并固定好，再通過機械手臂夾取花籃浸入酸或堿溶液中清洗。浪費時間，工作效率較低，且硅片裝在籃子里面，硅片與籃子接觸面積較大，與花籃接觸的邊緣部分清洗不干凈，影響產品質量。
技術實現思路
本技術的目的在于提供一種無籃式硅片清洗機械手，可直接夾取硅片進行清洗，節省大量時間，提高了硅片清洗的工作效率。本技術的上述目的是通過以下技術方案得以實現的：一種無籃式硅片清洗機械手，包括安裝臺和設于安裝臺上并可沿安裝臺橫向移動的安裝架，安裝架包括連接安裝臺的橫向移動架和，還包括可沿橫向移動架縱向移動的縱向移動架，縱向移動架上設有機械手，機械手包括相對設置的兩個手抓側臂，還包括用于驅動手抓側臂相對轉動的夾緊驅動部，手抓側臂鉸接在縱向移動架上，手抓側臂底部設有固定件，固定件上開有若干用于卡住硅片的固定槽。通過采用上述技術方案，在使用時移動橫向移動架，使得縱向移動架對準要夾取的硅片，然后控制縱向移動架沿橫向移動架長度方向下降，直到固定槽對準要夾取的硅片，然后利用驅動部驅動手抓側臂相對轉動，并使固定件將要夾取的硅片夾緊在固定槽內，然后控制縱向移動架沿橫向移動架長度方向上升，再控制橫向移動架在安裝臺上移動，直到機械手對準裝滿酸或堿溶液的清洗池，控制縱向移動架下降，使得硅片浸入清洗池內。本方案的手抓側臂設有固定件，利用固定件上的固定槽來直接夾取硅片，而無需人工操作將硅片插入花籃中，再夾取花籃進行整體清洗。節省了大量時間，提高了硅片清洗的工作效率。優選的,固定件為圓柱體，固定槽為開設在固定件圓柱側面上的環形槽，固定槽的槽底與固定件的圓柱側面相平行。通過采用上述技術方案，在硅片被固定件夾緊時，由于與固定件相接觸的地方酸或者堿溶液不易浸泡清洗，所以硅片與固定件之間的接觸面積越小越好，現有技術中用花籃盛放硅片，花籃與硅片相接觸的面積大，使得硅片與花籃相接觸處無法充分與酸或者堿溶液相接觸，從而使得硅片上部分位置清洗困難。本方案中固定件為圓柱形，且固定槽的槽底與圓柱形固定件的圓柱側面相平行，使得固定槽在夾緊要清洗的硅片時，硅片側面與固定槽的槽底相接觸處為線接觸，從而減小了硅片與固定槽之間的接觸面積。使得硅片清洗的更加全面，更加徹底。優選的，固定槽的兩槽壁呈“V”形設置。通過采用上述技術方案，使得固定槽在夾緊要清洗的硅片時，固定槽的槽壁與硅片之間不易接觸，從而使得硅片在清洗過程中與酸或堿溶液相接觸的更加充分，清洗的更加徹底。優選的，固定槽槽底的寬度大于待清洗硅片的厚度。通過采用上述技術方案，使得硅片在被固定件夾緊時，硅片與固定件之間的接觸均為線接觸，使得硅片在清洗時基本上完全浸泡在酸或者堿溶液中，使得硅片清洗的更加徹底。優選的，固定件為石英制成，每個手抓側臂上固定有兩個固定件，相對設置的四個固定件呈圓周分布，且恰好與待清洗的硅片相切。通過采用上述技術方案，現在芯片生產廠所用藥液一般是強酸、強堿、有機等藥液，花籃一般采用PFA材質，花籃作為消耗品，使用成本高，每個花籃的成本甚至要上千元?；ɑ@作為載體，同時又有是污染源，如果花籃選取不當，容易污染藥液，影響產品質量，同時造成藥液浪費。而本方案中固定件采用石英制成，雖然石英的單價要高于制成花籃的材料的單價，但是石英材質的固定棒所需要的石英材料少，并且使用壽命遠遠高于花籃的使用壽命。從而大大降低了硅片的清洗成本，從而大大降低了整個加工工序的生產成本，使得成品的售價可以更低，但是利潤更高。由于固定件在抓取硅片時，與硅片相接觸的面積較小，硅片得以保持固定狀態，基本全靠硅片與固定件之間的摩擦力，而固定件與硅片之間的接觸面積為線接觸，使得這個摩擦力的受力對硅片產生的壓強較大，容易使硅片的邊角部位出現破損。本方案中每個手抓側臂上固定有兩個固定件，相對設置的四個固定件呈圓周分布，使得硅片在被夾持固定時，硅片自身重力的反作用力幫助固定件將硅片固定住，使得兩側夾緊硅片的力可以小一些，使得硅片與兩側的固定件之間的靜摩擦力變小，從而使得硅片與固定件之間的壓強變小，使得硅片在被固定住的情況下還不易發生磨損。優選的，固定件為圓柱體，且圓柱體側壁上均勻分布有固定環，固定槽設置在固定環的側面，相鄰固定環之間為間隔槽。通過采用上述技術方案，因為硅片在清洗時需要與酸或堿溶液充分接觸，而硅片表面的雜質在與酸或堿溶液相反應時產生的離子會游離在硅片附近，影響硅片周圍的酸或堿清洗液的濃度。本方案中的間隔槽使得相鄰硅片之間的空間更大，從而使得酸或堿溶液更易在硅片之間流動，使得硅片表面可以充分的與酸或堿溶液相接觸。酸或堿溶液在流動的時候也會與新生成的離子狀態的雜質產生對流，不但對硅片表面進行沖刷，而且還能將多余的離子帶走，使得硅片周圍的酸或堿的濃度保持在較高的水平。優選的，驅動部包括回轉氣缸，回轉氣缸的輸出端固定有凸輪軸，機械手包括夾取搖臂，夾取搖臂一端鉸接在縱向移動架上，另一端設有凸輪槽，凸輪軸嵌入凸輪槽內，手抓側臂固定在夾取搖臂的鉸接端上。通過采用上述技術方案，回轉氣缸驅動凸輪軸轉動，凸輪軸在凸輪槽內轉動，使得夾取搖臂隨凸輪軸的轉動而在縱向移動架上發生轉動，帶動兩手抓側臂相對擺動，使得手抓側臂上的固定件將要清洗的硅片夾緊。優選的，夾取搖臂與縱向移動架之間設有滾動軸承，滾動軸承上套設有夾臂本體，夾臂本體套設在直線軸上的一端與夾取搖臂相固定，另一端固定連接手抓側臂。通過采用上述技術方案，滾動軸承使得夾取搖臂更易被驅動轉動，且夾取搖臂與夾臂本體固定，且夾臂本體也套設在滾動軸承上。使得夾取搖臂容易帶動夾臂本體轉動，從而使得夾臂本體帶動手抓側臂轉動。由于凸輪軸嵌入凸輪槽內，所以當凸輪軸發生轉動時，在夾取搖臂上距離凸輪槽距離越遠的地方轉動時產生的力臂越大，從而使得夾緊硅片時的夾緊力越大，從而使得硅片被夾的更近。本方案中夾取搖臂套設在滾動軸承的地方在夾取搖臂上距離凸輪槽最遠。所以本方案在凸輪軸轉動時夾取硅片更緊。優選的，相對設置的手抓側臂之間通過中間加強軸相連。通過采用上述技術方案，由于夾取搖臂在轉動時帶動手抓側臂轉動，為了獲取更大的夾緊力，所以手抓側臂做的較長，而較長的手抓側臂機械強度較低，容易發生變形或者損壞。本方案中，在相對的手抓側臂之間固定若干中間加強軸，進一步增強了手抓側臂的機械強度。優選的，夾臂本體上固定有手抓連接座，手抓連接座上配合有手抓連接蓋，手抓側臂固定在手抓連接蓋上，手抓連接座與手抓連接蓋上對稱設有若干用于固定中間加強軸的凹槽。通過采用上述技術方案，通過手抓連接座和手抓連接蓋將若干中間加強軸固定在一起，進一步增強了手抓側壁的機械強度。還使得夾臂本體的機械傳動效率更高。綜上所述，本技術具有以下有益效果：1、本方案的無籃式硅片清洗機械手在對硅片清洗時，減少了人工將硅片插入花籃中的步驟，從而降低了硅片清洗的工作時間，提高了工作效率。2、本方案的無籃式硅片清洗機械手本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種無籃式硅片清洗機械手，包括安裝臺（1）和設于安裝臺（1）上并可沿安裝臺（1）橫向移動的安裝架（2），所述安裝架（2）包括連接所述安裝臺（1）的橫向移動架（21），還包括可沿所述橫向移動架（21）縱向移動的縱向移動架（22），所述縱向移動架（22）上設有機械手（3），所述機械手（3）包括相對設置的兩個手抓側臂（31），其特征是：還包括用于驅動所述手抓側臂（31）相對轉動的驅動部（32），所述手抓側臂（31）鉸接在所述縱向移動架（22）上，所述手抓側臂（31）底部設有固定件（33），所述固定件（33）上開有若干用于卡住硅片（4）的固定槽（34）。

【技術特征摘要】
1.一種無籃式硅片清洗機械手，包括安裝臺（1）和設于安裝臺（1）上并可沿安裝臺（1）橫向移動的安裝架（2），所述安裝架（2）包括連接所述安裝臺（1）的橫向移動架（21），還包括可沿所述橫向移動架（21）縱向移動的縱向移動架（22），所述縱向移動架（22）上設有機械手（3），所述機械手（3）包括相對設置的兩個手抓側臂（31），其特征是：還包括用于驅動所述手抓側臂（31）相對轉動的驅動部（32），所述手抓側臂（31）鉸接在所述縱向移動架（22）上，所述手抓側臂（31）底部設有固定件（33），所述固定件（33）上開有若干用于卡住硅片（4）的固定槽（34）。2.根據權利要求1所述的無籃式硅片清洗機械手，其特征是：所述固定件（33）為圓柱體，所述固定槽（34）為開設在所述固定件（33）圓柱側面上的環形槽。3.根據權利要求2所述的無籃式硅片清洗機械手，其特征是：所述固定槽（34）的兩槽壁呈“V”形設置。4.根據權利要求3所述的無籃式硅片清洗機械手，其特征是：所述固定槽（34）的槽底的寬度大于待清洗硅片（4）的厚度。5.根據權利要求4所述的無籃式硅片清洗機械手，其特征是：所述固定件（33）為石英制成，每個所述手抓側臂（31）上固定有兩個固定件（33），相對設置的四個固定件（33）呈圓周分布，且恰好與待清洗的硅片（4）相切。6.根據權利要求1所述的無籃式硅片清洗機械手，其特征是：所述固定件（33）為圓柱體，且所述固定件（33）側壁上均勻分布有...

【專利技術屬性】
技術研發人員：馬勝南，軒云喜，
申請(專利權)人：北京南軒興達電子科技有限公司，
類型：新型
國別省市：北京,11