玻璃基板宏觀檢查系統(tǒng)技術(shù)方案

本公開涉及一種玻璃基板宏觀檢查系統(tǒng)，其中，包括照明裝置和用于固定該照明裝置的安裝機(jī)架，其中，所述照明裝置一側(cè)通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸(6)連接到所述安裝機(jī)架，另一側(cè)通過(guò)第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接到所述安裝機(jī)架，所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可驅(qū)動(dòng)所述照明裝置圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸(6)轉(zhuǎn)動(dòng)。這樣，在操作人員不移動(dòng)觀察的情況下，能夠觀察到不同角度下的玻璃基板的缺陷，使得觀察更加清晰，便于統(tǒng)計(jì)分析形成缺陷的原因，改善上游工藝參數(shù)，提高玻璃基板的良品率，降低生產(chǎn)成本。

Macroscopic inspection system for glass substrate

The invention relates to a glass substrate macro inspection system, which comprises a lighting device and a mounting frame for fixing the lighting device, wherein, one side of the lighting device through a rotating shaft (6) connected to the mounting frame, the other side is connected to the mounting frame by a first driving mechanism, wherein the first driving mechanism the lighting device can drive around the rotary shaft (6). In this way, the mobile operator is not observed in the case of the defect of a glass substrate can be observed under different angles, makes observation more clear, easy to form a statistical analysis of the causes of defects, improve the upstream process parameters, improve the yield rate of the glass substrate, and reduce the production cost.

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
玻璃基板宏觀檢查系統(tǒng)
本公開涉及玻璃基板的檢測(cè)領(lǐng)域，具體地，涉及一種玻璃基板宏觀檢查系統(tǒng)。
技術(shù)介紹
當(dāng)前，隨著技術(shù)的發(fā)展與市場(chǎng)的需求，對(duì)于玻璃基板像素及開口率要求愈來(lái)愈高，因此玻璃基板布線向微細(xì)化方向發(fā)展，玻璃基板陣列細(xì)胞化方向發(fā)展，導(dǎo)致檢查玻璃基板的缺陷更加困難，目前市場(chǎng)上的檢查機(jī)照明裝置角度單一，無(wú)法多方向觀察玻璃基板，無(wú)法更加細(xì)化的找出玻璃基板的缺陷。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本公開的目的是提供一種玻璃基板宏觀檢查系統(tǒng)，該宏觀檢查系統(tǒng)能夠多角度的檢查玻璃基板。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本公開提供一種玻璃基板宏觀檢查系統(tǒng)，其中，包括照明裝置和用于固定該照明裝置的安裝機(jī)架，其中，所述照明裝置一側(cè)通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸連接到所述安裝機(jī)架，另一側(cè)通過(guò)第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接到所述安裝機(jī)架，所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可驅(qū)動(dòng)所述照明裝置圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。可選地，所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括移動(dòng)件和驅(qū)動(dòng)該移動(dòng)件在所述安裝機(jī)架上往復(fù)運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)件，所述照明裝置上安裝有用于連接所述移動(dòng)件的連接桿。可選地，所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為電動(dòng)缸。可選地，所述照明裝置包括照明箱以及容納在該照明箱內(nèi)部的照明單元，所述照明單元包括向外輸出光源的發(fā)射器，用于將輸出的光源射線延長(zhǎng)的反射鏡，以及用于將反射出的光源聚集到玻璃基板的菲涅爾透鏡。可選地，所述照明單元為兩個(gè)，所述照明箱形成有用于分別容納兩個(gè)所述照明單元的第一照明區(qū)和第二照明區(qū)。可選地，所述第一照明區(qū)和所述第二照明區(qū)之間一側(cè)連接有所述旋轉(zhuǎn)軸，另一側(cè)連接有所述連接桿。可選地，所述安裝機(jī)架包括安裝座和可滑動(dòng)地安裝到所述安裝座上的滑移座，以及驅(qū)動(dòng)所述滑移座沿平行于所述旋轉(zhuǎn)軸的方向滑動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接到所述滑移座，所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)一端連接到所述滑移座，另一端連接到所述照明裝置。可選地，所述安裝座包括平行間隔設(shè)置的第一梁和第二梁，所述滑移座包括連接架和固定架，所述連接架可滑動(dòng)地架設(shè)在所述第一梁和所述第二梁之間，所述固定架一端固定連接到所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，另一端連接到所述連接架位于所述第二梁的一側(cè)。可選地，所述連接架形成為三角形架，該三角形架的其中一個(gè)夾角可滑動(dòng)地連接在所述第二梁上，與所述夾角相對(duì)的側(cè)邊與所述第一梁平行設(shè)置并可滑動(dòng)地連接在所述第一梁上。可選地，所述第一梁和所述第二梁上分別設(shè)置有滑軌，所述連接架上設(shè)置有分別配合在該滑軌上的滑塊。可選地，所述三角形架的內(nèi)部還設(shè)置有與所述側(cè)邊相平行的連接邊，所述旋轉(zhuǎn)軸通過(guò)軸承連接到所述連接邊。可選地，所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)和絲桿機(jī)構(gòu)，該絲桿機(jī)構(gòu)包括與所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)傳動(dòng)相連的絲桿和配合在該絲桿上的螺母，所述螺母固定在所述滑移座上。本公開的技術(shù)效果是：通過(guò)第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)，使得照明裝置可以沿旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)在不同的角度檢查玻璃基板，進(jìn)而使得操作人員能夠觀察到不同角度下玻璃基板的缺陷，觀察缺陷更加清晰，便于操作人員統(tǒng)計(jì)分析形成缺陷的原因，改善上游工藝參數(shù)，提高玻璃基板的良品率，降低生產(chǎn)成本。本公開的其他特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的具體實(shí)施方式部分予以詳細(xì)說(shuō)明。附圖說(shuō)明附圖是用來(lái)提供對(duì)本公開的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說(shuō)明書的一部分，與下面的具體實(shí)施方式一起用于解釋本公開，但并不構(gòu)成對(duì)本公開的限制。在附圖中：圖1是本公開提供的玻璃基板宏觀檢查系統(tǒng)圖；圖2是圖1的A部的局部放大圖；圖3是本公開提供的照明裝置的結(jié)構(gòu)圖；圖4是照明裝置的光照線路圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明1滑軌11滑塊2絲桿21螺母22電機(jī)3安裝座31第一梁32第二梁4固定架5連接架51側(cè)邊52夾角53連接邊6旋轉(zhuǎn)軸61軸承7驅(qū)動(dòng)件8移動(dòng)件9連接桿10照明箱101第一照明區(qū)102第二照明區(qū)12第一反射鏡13菲涅爾透鏡14第二反射鏡15發(fā)射器16玻璃基板17觀察臺(tái)具體實(shí)施方式以下結(jié)合附圖對(duì)本公開的具體實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的具體實(shí)施方式僅用于說(shuō)明和解釋本公開，并不用于限制本公開。如圖1至圖4所示，本公開提供一種玻璃基板宏觀檢查系統(tǒng)，包括照明裝置和用于固定該照明裝置的安裝機(jī)架，其中一方面，照明裝置能夠在安裝機(jī)架上旋轉(zhuǎn)，以變換不同照射角度；另一方面，還可以實(shí)現(xiàn)照明裝置在安裝機(jī)架上的平移，以適應(yīng)不同玻璃基板的尺寸大小。下文將對(duì)上述兩方面做進(jìn)一步說(shuō)明。如圖1所示，為了實(shí)現(xiàn)照明裝置的旋轉(zhuǎn)，在本實(shí)施方式中，照明裝置一側(cè)通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸6連接到安裝機(jī)架，另一側(cè)通過(guò)第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接到安裝機(jī)架，第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可驅(qū)動(dòng)照明裝置圍繞旋轉(zhuǎn)軸6轉(zhuǎn)動(dòng)。即，通過(guò)第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)，使得照明裝置可以沿旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，也即將照明裝置發(fā)射的照明光可以在不同角度下照射到玻璃基板，從而實(shí)現(xiàn)在不同的角度檢查玻璃基板缺陷的目的。進(jìn)而使得操作人員更加清晰的觀察到玻璃基板的缺陷，這樣，便于操作人員統(tǒng)計(jì)分析形成缺陷的原因，改善上游工藝參數(shù)，提高玻璃基板的良品率，降低生產(chǎn)成本。進(jìn)一步地，在本實(shí)施方式中，第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可以包括移動(dòng)件8和驅(qū)動(dòng)該移動(dòng)件8在安裝機(jī)架上往復(fù)運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)件7，照明裝置的另一側(cè)上安裝有用于連接移動(dòng)件8的連接桿9。即，驅(qū)動(dòng)件7可以驅(qū)動(dòng)移動(dòng)件8朝向或者遠(yuǎn)離安裝機(jī)架的方向運(yùn)動(dòng)，同時(shí)在移動(dòng)件8移動(dòng)的過(guò)程中，可以帶動(dòng)連接桿9隨之一起移動(dòng)。這樣，照明裝置便可以圍繞旋轉(zhuǎn)軸6轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)于玻璃基板16的不同角度下的照明。具體地，如圖2所示，第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可以為電動(dòng)缸。電動(dòng)缸可以將伺服電機(jī)與絲杠一體化，其中伺服電機(jī)即為上述的驅(qū)動(dòng)件，絲杠上的螺母塊即為上述的移動(dòng)件。即，伺服電機(jī)帶動(dòng)絲杠做回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，通過(guò)螺母塊沿絲桿轉(zhuǎn)化為直線運(yùn)動(dòng)，螺母塊帶動(dòng)照明裝置在不同角度下的照射。在其他實(shí)施方式中，第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還可以為齒輪齒條機(jī)構(gòu)，由齒條驅(qū)動(dòng)照明裝置圍繞旋轉(zhuǎn)軸6進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。如圖3所示，在本實(shí)施方式中，照明裝置包括照明箱10以及容納在該照明箱10內(nèi)部的照明單元，照明單元包括向外輸出照明光的發(fā)射器15，用于將輸出的照明光反射的反射鏡，以及用于將反射出的照明光聚集到玻璃基板16的菲涅爾透鏡13。如圖4所示，即，由發(fā)射器15發(fā)射照明光，照明光經(jīng)由反射鏡的反射，進(jìn)入到菲涅爾透鏡13，在本實(shí)施方式中，為了將照射光反射到菲涅爾透鏡13，反射鏡可以為兩個(gè)，分別為第一反射鏡12和第二反射鏡14，經(jīng)過(guò)兩個(gè)反射鏡的反射，照明光照射到菲涅爾透鏡13。菲涅爾透鏡13位于整個(gè)照明單元的下端，而玻璃基板16位于整個(gè)照明裝置的下方。這樣，反射到菲涅爾透鏡13的平行光經(jīng)過(guò)菲涅爾透鏡13最終聚焦到玻璃基板16上，使得操作人員在觀察臺(tái)17的觀察更加清晰。另外，還可以在菲涅爾透鏡13的下方再增設(shè)液晶散射板，液晶散射板可以具有透明狀態(tài)和半透明狀態(tài)，透明狀態(tài)使得由菲涅爾透鏡13聚集的光束原樣通過(guò)，半透明狀態(tài)則可以將聚光散射。這樣，操作人員可以通過(guò)控制液晶散射板的狀態(tài)對(duì)聚光進(jìn)行散射或原樣通過(guò)到玻璃基板16之間進(jìn)行動(dòng)作切換，在不同狀態(tài)下，能夠更加可靠的觀察玻璃基板的缺陷。其中，發(fā)射器15可以為鹵素?zé)簟榱藢?shí)現(xiàn)對(duì)于玻璃基板的大范圍、更加清晰的觀察，在本實(shí)施方式中，照明單元可以設(shè)置為兩個(gè)，其中，照明箱10可以形成有用于分別容納兩個(gè)照明單元的第一照明區(qū)101和第二照明區(qū)102，兩個(gè)照明單元可以呈角度對(duì)稱設(shè)置，使得聚焦點(diǎn)一致。即，兩個(gè)照明單元的平行光進(jìn)過(guò)菲涅爾透鏡13最終將聚集到同一點(diǎn)，這樣，使得操作人員更加清楚的觀察玻璃基板的缺陷，便于對(duì)于缺陷的分類本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種玻璃基板宏觀檢查系統(tǒng)，其特征在于，包括照明裝置和用于固定該照明裝置的安裝機(jī)架，其中，所述照明裝置一側(cè)通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸(6)連接到所述安裝機(jī)架，另一側(cè)通過(guò)第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接到所述安裝機(jī)架，所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可驅(qū)動(dòng)所述照明裝置圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸(6)轉(zhuǎn)動(dòng)。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種玻璃基板宏觀檢查系統(tǒng)，其特征在于，包括照明裝置和用于固定該照明裝置的安裝機(jī)架，其中，所述照明裝置一側(cè)通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸(6)連接到所述安裝機(jī)架，另一側(cè)通過(guò)第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接到所述安裝機(jī)架，所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可驅(qū)動(dòng)所述照明裝置圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸(6)轉(zhuǎn)動(dòng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的宏觀檢查系統(tǒng)，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括移動(dòng)件(8)和驅(qū)動(dòng)該移動(dòng)件(8)在所述安裝機(jī)架上往復(fù)運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)件(7)，所述照明裝置的另一側(cè)上安裝有用于連接所述移動(dòng)件(8)的連接桿(9)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的宏觀檢查系統(tǒng)，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為電動(dòng)缸。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的宏觀檢查系統(tǒng)，其特征在于，所述照明裝置包括照明箱(10)以及容納在該照明箱(10)內(nèi)部的照明單元，所述照明單元包括向外輸出照明光的發(fā)射器(15)，用于將輸出的照明光反射的反射鏡，以及用于將反射出的照明光聚集到玻璃基板(16)的菲涅爾透鏡(13)。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的宏觀檢查系統(tǒng)，其特征在于，所述照明單元為兩個(gè)，所述照明箱(10)形成有用于分別容納兩個(gè)所述照明單元的第一照明區(qū)(101)和第二照明區(qū)(102)，所述兩個(gè)照明單元的聚焦點(diǎn)一致。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的宏觀檢查系統(tǒng)，其特征在于，所述第一照明區(qū)(101)和所述第二照明區(qū)(102)之間一側(cè)連接有所述旋轉(zhuǎn)軸(6)，另一側(cè)連接有所述連接桿(9)。7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任意一項(xiàng)所述的宏觀檢查系統(tǒng)，其特征在于，所述安裝機(jī)架包括安裝座(3)和可滑動(dòng)地安裝到所述安裝座(3)上的滑移座，以及驅(qū)動(dòng)所述滑移座沿平行于...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：鄧永松，李青，丁力，劉磊，李兆廷，蔡杰，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：江蘇東旭億泰智能裝備有限公司，東旭光電科技股份有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：江蘇,32