The present invention provides a light emitting LED on the same substrate to achieve blue and green and red fluorescent powder, which comprises the following steps: epitaxial substrate roughening, photoresist is coated with a layer of more than 10 mu m high temperature; the blue hollow mask plate placed in advance of the photoresist, exposure to the optical part is removed; the substrate lithography of epitaxial growth, blue epitaxy is completed, the two is coated in a layer of photoresist mask, green hollow plate placed in advance of the photoresist, will remove part of the substrate after exposure; lithography on green epitaxial furnace in the epitaxial growth. Finally through deposition, the electrode manufacture, testing process as one of the green and blue chip lobes, uniform substrate with green and blue chip. In the same substrate by epitaxial growth of super narrow wavelength (50nm) blue and green chips, red phosphor collocation ultra narrow wavelength can be output color gamut could exceed the 100% standard NTSC wide color gamut LED.
【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
一種在同一襯底上實現(xiàn)藍綠光加紅光熒光粉的發(fā)光LED
本專利技術(shù)涉及到LED
,特別是一種在同一襯底上實現(xiàn)藍綠光加紅光熒光粉發(fā)光LED。
技術(shù)介紹
在LED行業(yè)最為常見的方式是藍光LED搭配黃色熒光粉產(chǎn)生白光,目前市面上有藍光LED搭配黃色熒光粉產(chǎn)生白光和藍光LED搭配綠色熒光粉以及紅色熒光粉產(chǎn)生白光,特別是藍光LED搭配氟化物熒光粉的高色域方案,目前已被日亞以及通用電氣申請為專利。現(xiàn)有的LED白光技術(shù)為藍光LED搭配黃色熒光粉產(chǎn)生白光,但是此種方式所產(chǎn)生的白光色域覆蓋率低,導(dǎo)致顏色失真,色彩不飽和,不能滿足現(xiàn)代人對色彩的需求。基于該原因,為提升白光的色域,通過藍光LED搭配紅色熒光粉以及綠色熒光粉來實現(xiàn),但是由于材料以及工藝的原因?qū)е戮G色熒光粉的半波寬不像紅光那樣做的窄(在7.5nm左右),進而導(dǎo)致色域不能夠做到100%甚至更高。而目前LED的技術(shù)相對成熟,LED晶片的半波寬可以做的很窄,可以做到25nm左右。這樣通過在同一襯底通過磊晶生長出超窄波長(50nm以下)的藍光、綠光LED,在搭配超窄波長(在7.5nm左右)的紅色熒光粉便可制備出色域可以超出100%標準NTSC的廣色域LED。
技術(shù)實現(xiàn)思路
為解決上述技術(shù)問題,本專利技術(shù)提供了一種在同一襯底上實現(xiàn)藍綠光加紅光熒光粉的發(fā)光LED,其包括以下步驟:S1:將襯底粗化,在襯底上涂上一層大于10μm耐高溫的光刻膠;將事先做好的藍光鏤空光罩板放置在光刻膠上,通過曝光、顯影、光刻將曝光部分去除掉;S2:將光刻后的襯底放到藍光外延爐里磊晶生長,藍光磊晶完成后,再二次涂布一層光刻膠,將事先做好的綠色鏤空光罩板放 ...
【技術(shù)保護點】
一種在同一襯底上實現(xiàn)藍綠光加紅光熒光粉的發(fā)光LED,其特征在于,包括以下步驟:S1:將襯底粗化,在襯底上涂上一層大于10μm耐高溫的光刻膠;將事先做好的藍光鏤空光罩板放置在光刻膠上,通過曝光、顯影、光刻將曝光部分去除掉;S2:將光刻后的襯底放到藍光外延爐里磊晶生長,藍光磊晶完成后,再二次涂布一層光刻膠,將事先做好的綠色鏤空光罩板放置在光刻膠上,通過曝光、顯影、光刻將曝光部分去除掉;S3:將光刻后的襯底放到綠光外延爐里磊晶生長,最后通過蒸鍍、電極制作、測試工藝將藍綠LED作為一體進行裂片,得到統(tǒng)一襯底的藍綠光LED。
【技術(shù)特征摘要】
1.一種在同一襯底上實現(xiàn)藍綠光加紅光熒光粉的發(fā)光LED,其特征在于,包括以下步驟:S1:將襯底粗化,在襯底上涂上一層大于10μm耐高溫的光刻膠;將事先做好的藍光鏤空光罩板放置在光刻膠上,通過曝光、顯影、光刻將曝光部分去除掉;S2:將光刻后的襯底放到藍光外延爐里磊晶生長,藍光磊晶完成后,再二次涂布一層光刻膠,將事先做好的綠色鏤空光罩板放置在光刻膠上,通過曝光、顯影、光刻將曝光部分去除掉;S3:將光刻后的襯底放到綠光外延爐里磊晶生長,最后通過蒸鍍、電極制作、測試...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員:丁磊,彭友,陳龍,
申請(專利權(quán))人:安徽連達光電科技有限公司,
類型:發(fā)明
國別省市:安徽,34
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