機械手換向控制裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術公開了機械手換向控制裝置，屬于半導體器件制造領域。所述的機械手換向控制裝置包括制動氣缸(1)，旋轉軸(2)，“L”形旋轉件(3)，限位柱(4)，機械手(5)，回轉盤(6)和機械手移動架(7)。旋轉軸(2)穿過“L”形旋轉件(3)的圓孔安裝于機械手移動架(7)上，并可借助彈力回復原位，“L”形旋轉件(3)安裝于旋轉軸(2)上。當制動氣缸(1)上升時，頂起“L”形旋轉件(3)下部下表面，使“L”形旋轉件(3)上部內側面脫離限位柱(4)，此時，機械手(5)便可繞回轉盤(6)做旋轉運動。當制動氣缸(1)下降時，“L”形旋轉件(3)回復原位，“L”形旋轉件(3)上部內側面壓緊限位柱(4)，機械手(5)便做直線運動。

Manipulator reversing control device

The invention discloses a manipulator reversing control device, belonging to the field of semiconductor device manufacturing. The manipulator reversing control device comprises a brake cylinder (1), a rotating shaft (2), a L shaped rotating part (3), a limit post (4), a manipulator (5), a rotating disk (6) and a manipulator moving bracket (7). The rotating shaft (2) is mounted on a mechanical hand moving rack (7) through a round hole of the L type rotating part (3) and can be reversed in situ by means of an elastic force, and a L shaped rotating member (3) is mounted on the rotating shaft (2). When the brake cylinder (1) rises from the top of the \L\ shape rotating member (3) at the lower part of the lower surface of the \L\ shaped rotating parts (3) from the upper side limit column (4), at this time, the manipulator (5) can back turntable (6) rotation. When the brake cylinder (1) drops, the \L\ shaped rotating member (3) is returned to the original position, and the upper inner side of the L type rotating member (3) presses the spacing column (4), and the manipulator (5) makes a straight line movement.

【技術實現步驟摘要】
機械手換向控制裝置
本專利技術涉及一種半導體器件制造裝置，特別涉及一種制造半導體器件地離子注入機中的晶片傳輸機械手換向控制裝置。
技術介紹
現有半導體集成電路制造技術中，隨著集成度越來越高和電路規模越來越大，要求電路中單元器件尺寸越來越小，于是對半導體器件制造設備提出了更高的要求。離子注入機作為半導體離子摻雜工藝線的關鍵設備，其內部的晶片傳輸機械手運動的平穩性和精確性直接關系到離子注入機整機的性能。目前國內使用的離子注入機中的晶片傳輸機械手的控制裝置相對復雜，通常采用電機驅動的方式，結構繁瑣，故障率高，并且運行中的平穩性和精確度較差。
技術實現思路
本專利技術克服現有技術的缺點，提供了一種結構簡單，操作簡便，可靠性高的機械手換向控制裝置。本專利技術包括制動氣缸，旋轉軸，”L”形旋轉件，限位柱，機械手，回轉盤和機械手移動架。旋轉軸穿過”L”形旋轉件的圓孔安裝于機械手移動架上，當制動氣缸上升時，頂起”L”形旋轉件下部下表面，使”L”形旋轉件上部內側面脫離限位柱，此時，機械手便可繞回轉盤做旋轉運動。當制動氣缸下降時，”L”形旋轉件回復原位，”L”形旋轉件上部內側面壓緊限位柱，機械手便做直線運動。本專利技術采用氣缸來控制機械手的運動形式，結構簡單，維護方便，并且切換平滑，機械手運行平穩而精確。附圖說明圖1為本專利技術的結構示意圖。圖中：1-制動氣缸；2-旋轉軸；3-”L”形旋轉件；4-限位柱；5-機械手；6-回轉盤；7-機械手移動架。具體實施方式下面結合附圖對本專利技術的結構和工作原理做進一步說明：如附圖1所示，本專利技術包括制動氣缸1，旋轉軸2，”L”形旋轉件3，限位柱4，機械手5，回轉盤6，機械手移動架7。制動氣缸1位于”L”形旋轉件3下部下表面正對位置，當制動氣缸1上升時可頂起”L”形旋轉件3的下部下表面。”L”形旋轉件3通過其上的孔穿過旋轉軸2，并固定于其上。旋轉軸2一端安裝于機械手移動架7上，并具有彈性回復原位的功能，如安裝彈簧，借助彈力來回復原位。”L”形旋轉件3的上部內側面正常狀態為緊貼限位柱4。回轉盤6安裝于機械手移動架7上。機械手5安裝于回轉盤6上，并可繞回轉盤6做自由旋轉運動。在機械手工作時，通過制動氣缸1的上升或下降，可改變機械5手的直線或旋轉運動。當制動氣缸1上升時，其頂面頂起”L”形旋轉件3的下部的下表面，使”L”形旋轉件3的上部內側面脫離限位柱4，這樣機械手5就可繞回轉盤6做旋轉運動。當制動氣缸1下降時，其頂面脫離”L”形旋轉件3的下部下表面，”L”形旋轉件3在旋轉軸2的彈性力作用下回復原位而壓緊限位柱4，這樣機械手5繼續做直線運動。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種機械手換向控制裝置，包括機械手移動架(7)，機械手(5)，回轉盤(6)，限位柱(4)，制動氣缸(1)，其特征在于還包括”L”形旋轉件(3)，旋轉軸(2)；制動氣缸(1)位于”L”形旋轉件(3)下部下表面正對位置，”L”形旋轉件(3)通過其上的圓孔穿過旋轉軸(2)，并與旋轉軸(2)固定在一起，旋轉軸(2)一端安裝于機械手移動架(7)上，”L”形旋轉件(3)的上部內側面正常狀態為緊貼限位柱(4)，回轉盤(6)安裝于機械手移動架(7)上，機械手(5)安裝于回轉盤(6)上，并可繞回轉盤(6)做自由旋轉運動。

【技術特征摘要】
1.一種機械手換向控制裝置，包括機械手移動架(7)，機械手(5)，回轉盤(6)，限位柱(4)，制動氣缸(1)，其特征在于還包括”L”形旋轉件(3)，旋轉軸(2)；制動氣缸(1)位于”L”形旋轉件(3)下部下表面正對位置，”L”形旋轉件(3)通過其上的圓孔穿過旋轉軸(2)，并與旋轉軸(2)固定在一...

【專利技術屬性】
技術研發人員：夏燊艷，何剛，
申請(專利權)人：重慶藍陽船舶修造有限公司，
類型：發明
國別省市：重慶,50