一種芯片光刻機的光刻版自動送取料裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術(shù)公開了一種芯片光刻機的光刻版自動送取料裝置，包括機座，機座上豎直升降安裝有升降座，升降座上安裝有水平基座，水平基座上安裝有取料機構(gòu)，取料機構(gòu)包括支座，支座上滑動安裝有第一吸板和第二吸板，第一吸板和第二吸板的滑動方向相同且與水平基座的滑動方向垂直，支座上設(shè)置有同步開合機構(gòu)，第一吸板和第二吸板上均設(shè)置有負(fù)壓抽吸口，負(fù)壓抽吸口與光刻版的下板面的邊緣對應(yīng)，第一吸板或第二吸板由開合動力裝置驅(qū)動，第一吸板和第二吸板的相對側(cè)均設(shè)置有避讓凹口。該自動送取料裝置通過第一吸板和第二吸板的開合從光刻版的兩側(cè)進入并直接吸附光刻版，第一吸板和第二吸板并不接觸版膜，從而避免了版膜的磨損或撕裂。

Photoetching plate automatic feeding and fetching device for chip photoetching machine

The utility model discloses a chip mask lithography machine automatic reclaiming device comprises a base, a vertically mounted lifting seat, the lifting seat is installed on the base level, the level of the base is installed on the reclaimer mechanism, reclaimer mechanism comprises a bearing, sliding bearing is provided with a first suction plate and second suction plate. The first suction plate and the sliding direction of the sliding direction second suction plate with the same level of the base and the vertical support is arranged with synchronous switching mechanism, the first suction plate and second suction plate are arranged on the lower surface of the suction mouth, suction mouth and edge mask corresponding to the first or second suction suction plate, plate driving by switching power device, a first suction plate and second opposite side suction plate are provided with notches to avoid. The automatic fetching device through the first suction plate and second suction plate opening from both sides of the mask and directly into the adsorption mask first suction plate and second suction plate does not contact the version of the film version of the film, so as to avoid wear or tear.

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
一種芯片光刻機的光刻版自動送取料裝置
本技術(shù)涉及一種自動送取料裝置，尤其涉及一種芯片光刻機的光刻版自動送取料裝置。
技術(shù)介紹
在集成電路芯片的生產(chǎn)過程中，芯片的設(shè)計圖形在硅片表面光刻膠上的曝光轉(zhuǎn)印(光刻)是其中最重要的工序之一，該工序所用的設(shè)備稱為光刻機(曝光機)。光刻機是集成電路加工過程中最關(guān)鍵的設(shè)備。而光刻版在光刻過程中，需要利用自動取料裝置將光刻版送至光刻版吸附底座上或者將光刻版吸附底座上的光刻版取走，而目前的自動取料裝置只適合光面的光刻版，目前的自動取料裝置包括可升降的升降座和可水平滑動的水平基座，水平基座上安裝有底座和固定于底座上的兩個插板，插板上設(shè)置有負(fù)壓抽吸口，插板位于光刻版的下方，插板將光刻版負(fù)壓吸附穩(wěn)當(dāng)后水平移動到光刻版吸附底座的上方，然后升降座下降將光刻版放在光刻版吸附底座上，然后取料裝置的插板水平移出。光刻版吸附底座包括處于光刻版左右兩側(cè)的座體，座體真空吸附將光刻版的下板面的左右邊緣，插板處于左右座體的中部，插板水平移動并不妨礙。然由于光刻工藝的提升和改進，光刻版上的上下表面會粘結(jié)有版膜，版膜的厚度薄且易磨損和破裂，目前的自動送取料裝置結(jié)構(gòu)并不適用粘結(jié)有版膜的光刻版，插板在插入光刻版的下方進行取料時，容易與版膜表面或邊緣接觸而造成版膜磨損或撕裂，從而使其無法滿足后續(xù)的光刻要求。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本技術(shù)所要解決的技術(shù)問題是：提供一種芯片光刻機的光刻版自動送取料裝置，該自動送取料裝置可通過第一吸板和第二吸板的同步開合從光刻版的兩側(cè)進入到光刻版的下方并直接吸附光刻版，并且可避讓原有的光刻版吸附底座，第一吸板和第二吸板并不接觸版膜，從而避免了版膜的磨損或撕裂，保證了正常的光刻操作。為解決上述技術(shù)問題，本技術(shù)的技術(shù)方案是：一種芯片光刻機的光刻版自動送取料裝置，包括機座，所述機座上豎直升降安裝有由升降動力裝置驅(qū)動的升降座，所述升降座上水平滑動安裝有由水平動力裝置驅(qū)動的水平基座，所述水平基座上安裝有取料機構(gòu)，所述取料機構(gòu)包括固定于水平基座上的支座，所述支座上滑動安裝有第一吸板和第二吸板，所述第一吸板和第二吸板的滑動方向相同且與水平基座的滑動方向垂直，所述支座上設(shè)置有分別與第一吸板和第二吸板連接的同步開合機構(gòu)，所述第一吸板和第二吸板上均設(shè)置有負(fù)壓抽吸口，該負(fù)壓抽吸口與負(fù)壓抽吸系統(tǒng)連接，所述負(fù)壓抽吸口與光刻版的下板面的邊緣對應(yīng)，所述第一吸板或第二吸板由開合動力裝置驅(qū)動，所述第一吸板和第二吸板的相對側(cè)均設(shè)置有用于避讓光刻版吸附底座的避讓凹口。作為一種優(yōu)選的方案，所述同步開合機構(gòu)包括轉(zhuǎn)動安裝于支座上的同步擺輪，所述同步擺輪上安裝有第一銷軸和第二銷軸，所述第一銷軸和第二銷軸相對于同步擺輪的擺動中心成中心對稱布置，所述第一吸板上設(shè)置有與第一銷軸適配的第一條孔，第二吸板上設(shè)置有與第二銷軸適配的第二條孔，所述第一銷軸和第二銷軸分別約束于第一條孔和第二條孔內(nèi)。作為一種優(yōu)選的方案，所述底座上設(shè)置有限位條孔，所述第一吸板和第二吸板上分別設(shè)置有位于限位條孔內(nèi)的第一限位銷和第二限位銷。作為一種優(yōu)選的方案，所述底座與第一吸板之間或底座與第二吸板之間設(shè)置有合攏復(fù)位彈性件。作為一種優(yōu)選的方案，所述第一吸板的長度比第二吸板的長度長，所述第一吸板上的避讓凹口為一個大避讓凹口，第二吸板上的避讓缺口為兩個小避讓凹口，第一吸板上設(shè)置了兩個負(fù)壓抽吸口且位于大避讓凹口的兩側(cè)，第二吸板上設(shè)置了兩個負(fù)壓抽吸口且位于遠(yuǎn)離支座的小避讓凹口的兩側(cè)，第一吸板上的兩個負(fù)壓抽吸口的連線與第二吸板上的兩個負(fù)壓抽吸口的連線平行，第二吸板上的兩個負(fù)壓抽吸口處于大避讓凹口范圍內(nèi)。作為一種優(yōu)選的方案，所述升降動力裝置包括升降電機和絲杠螺母機構(gòu)，所述機座上固定有兩根立柱，所述升降座滑動套裝于立柱上，所述升降電機安裝于機座上，所述絲杠螺母機構(gòu)的絲杠豎直轉(zhuǎn)動安裝于機座上，所述絲杠螺母機構(gòu)的螺母固定于升降座上，所述升降電機與絲杠螺母機構(gòu)的絲杠之間通過齒輪傳動機構(gòu)連接。作為一種優(yōu)選的方案，所述水平動力裝置包括水平驅(qū)動氣缸，所述升降座上固定有兩個水平導(dǎo)桿，所述水平基座活動套裝于水平導(dǎo)桿上，所述驅(qū)動氣缸的缸體固定于升降座上，驅(qū)動氣缸的活塞桿與水平基座固定連接。作為一種優(yōu)選的方案，所述底座上設(shè)置有第一供氣連接頭和第二供氣連接頭，所述第一吸板上設(shè)置有第一進氣接頭，所述第二吸板上設(shè)置有第二進氣接頭，所述第一供氣連接頭和第一進氣接頭之間通過軟管連通，所述第二供氣連接頭與第二進氣接頭通過軟管連通，第一吸板板體和第二吸板的板體內(nèi)均設(shè)置有通氣通道。采用了上述技術(shù)方案后，本技術(shù)的效果是：在實際的送取料過程中，初始狀態(tài)時，升降座的位置高于光刻版吸附底座，光刻版被送至到取料工位上的光刻吸附底座上后，升降座下降并且第一吸板和第二吸板張開，第一吸板和第二吸板之間的間距大于光刻版的寬度，升降座下降使第一吸板和第二吸板處于光刻版的下方，而后第一吸板和第二吸板同步合攏，第一吸板和第二吸板與光刻版的下板面邊緣對應(yīng)，該邊緣正好也是光刻版吸附底座的吸附邊緣，版膜的尺寸小于光刻版的尺寸，從而在光刻版板面邊緣形成方便吸附的部位；升降座上升將光刻版抬起，然后第一吸板和第二吸板抽真空將光刻版附著在第一吸板和第二吸板上，而后將光刻版移動到光刻工位的光刻板吸附底座上方，然后升降座下降，此時第一吸板和第二吸板上的避讓凹口剛好實現(xiàn)避讓，光刻版吸附底座剛好處于避讓口區(qū)域內(nèi)，方便將光刻版放置在光刻版吸附底座上，然后取料機構(gòu)的第一吸板和第二吸板同步張開，第一吸板和第二吸板的張開的寬度超過光刻版的寬度后上升，這樣該取料裝置在取料的過程中不會與光刻版的版膜接觸，避免版膜磨損或撕裂，從而確保光刻機的正常工作，保證了良好的光刻效果。又由于所述同步開合機構(gòu)包括轉(zhuǎn)動安裝于支座上的同步擺輪，所述同步擺輪上安裝有第一銷軸和第二銷軸，所述第一銷軸和第二銷軸相對于同步擺輪的擺動中心成中心對稱布置，所述第一吸板上設(shè)置有與第一銷軸適配的第一條孔，第二吸板上設(shè)置有與第二銷軸適配的第二條孔，所述第一銷軸和第二銷軸分別約束于第一條孔和第二條孔內(nèi)，該同步開合機構(gòu)動作準(zhǔn)確可靠，開合距離準(zhǔn)確，方便第一吸板和第二吸板準(zhǔn)確的進入到光刻版的邊緣下方，避免因第一吸板和第二吸板開合不準(zhǔn)確而接觸版膜造成版膜磨損或破裂。又由于所述底座上設(shè)置有限位條孔，所述第一吸板和第二吸板上分別設(shè)置有位于限位條孔內(nèi)的第一限位銷和第二限位銷，利用限位條孔可限定開合的極限位置，從而進一步的確保開合位置準(zhǔn)確。又由于所述底座與第一吸板之間或底座與第二吸板之間設(shè)置有合攏復(fù)位彈性件。這樣，利用合攏復(fù)位彈性件即可帶動第一吸板和第二吸板同步合攏，動作穩(wěn)定可靠，并且避一旦開合動力裝置出現(xiàn)故障時，第一吸板和第二吸板會因為彈性力而收攏，這樣避免光刻版從第一吸板和第二吸板上掉落。又由于所述第一吸板的長度比第二吸板的長度長，所述第一吸板上的避讓凹口為一個大避讓凹口，第二吸板上的避讓缺口為兩個小避讓凹口，第一吸板上設(shè)置了兩個負(fù)壓抽吸口且位于大避讓凹口的兩側(cè)，第二吸板上設(shè)置了兩個負(fù)壓抽吸口且位于遠(yuǎn)離支座的小避讓凹口的兩側(cè)，第一吸板上的兩個負(fù)壓抽吸口的連線與第二吸板上的兩個負(fù)壓抽吸口的連線平行，第二吸板上的兩個負(fù)壓抽吸口處于大避讓凹口范圍內(nèi)，這樣，第一吸板和第二吸板的負(fù)壓抽吸口分布合理，光刻版的受力合理本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護點】
一種芯片光刻機的光刻版自動送取料裝置，包括機座，其特征在于：所述機座上豎直升降安裝有由升降動力裝置驅(qū)動的升降座，所述升降座上水平滑動安裝有由水平動力裝置驅(qū)動的水平基座，所述水平基座上安裝有取料機構(gòu)，所述取料機構(gòu)包括固定于水平基座上的支座，所述支座上滑動安裝有第一吸板和第二吸板，所述第一吸板和第二吸板的滑動方向相同且與水平基座的滑動方向垂直，所述支座上設(shè)置有分別與第一吸板和第二吸板連接的同步開合機構(gòu)，所述第一吸板和第二吸板上均設(shè)置有負(fù)壓抽吸口，該負(fù)壓抽吸口與負(fù)壓抽吸系統(tǒng)連接，所述負(fù)壓抽吸口與光刻版的下板面的邊緣對應(yīng)，所述第一吸板或第二吸板由開合動力裝置驅(qū)動，所述第一吸板和第二吸板的相對側(cè)均設(shè)置有用于避讓光刻版吸附底座的避讓凹口。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種芯片光刻機的光刻版自動送取料裝置，包括機座，其特征在于：所述機座上豎直升降安裝有由升降動力裝置驅(qū)動的升降座，所述升降座上水平滑動安裝有由水平動力裝置驅(qū)動的水平基座，所述水平基座上安裝有取料機構(gòu)，所述取料機構(gòu)包括固定于水平基座上的支座，所述支座上滑動安裝有第一吸板和第二吸板，所述第一吸板和第二吸板的滑動方向相同且與水平基座的滑動方向垂直，所述支座上設(shè)置有分別與第一吸板和第二吸板連接的同步開合機構(gòu)，所述第一吸板和第二吸板上均設(shè)置有負(fù)壓抽吸口，該負(fù)壓抽吸口與負(fù)壓抽吸系統(tǒng)連接，所述負(fù)壓抽吸口與光刻版的下板面的邊緣對應(yīng)，所述第一吸板或第二吸板由開合動力裝置驅(qū)動，所述第一吸板和第二吸板的相對側(cè)均設(shè)置有用于避讓光刻版吸附底座的避讓凹口。2.如權(quán)利要求1所述的一種芯片光刻機的光刻版自動送取料裝置，其特征在于：所述同步開合機構(gòu)包括轉(zhuǎn)動安裝于支座上的同步擺輪，所述同步擺輪上安裝有第一銷軸和第二銷軸，所述第一銷軸和第二銷軸相對于同步擺輪的擺動中心成中心對稱布置，所述第一吸板上設(shè)置有與第一銷軸適配的第一條孔，第二吸板上設(shè)置有與第二銷軸適配的第二條孔，所述第一銷軸和第二銷軸分別約束于第一條孔和第二條孔內(nèi)。3.如權(quán)利要求2所述的一種芯片光刻機的光刻版自動送取料裝置，其特征在于：所述底座上設(shè)置有限位條孔，所述第一吸板和第二吸板上分別設(shè)置有位于限位條孔內(nèi)的第一限位銷和第二限位銷。4.如權(quán)利要求3所述的一種芯片光刻機的光刻版自動送取料裝置，其特征在于：所述底座與第一吸板之間或底座與第二吸板之間設(shè)置有合攏復(fù)位彈性件。5.如權(quán)利要求...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：丁桃寶，
申請(專利權(quán))人：張家港晉宇達電子科技有限公司，
類型：新型
國別省市：江蘇,32