用于芯片清洗的花籃裝置制造方法及圖紙

本申請公開了一種用于芯片清洗的花籃裝置，包括一花籃托靶、自所述花籃托靶延伸的至少一個支撐臂、以及固定于所述支撐臂上的清洗花籃，所述清洗花籃的側邊開設有一缺口，該缺口自所述清洗花籃的頂邊緣延伸至花籃底座，所述清洗花籃底座均勻圓孔可以使芯片清洗過程中保持芯片與清洗液之間的壓力平衡。本新型裝置可以更好便捷的用于保護芯片的清洗，使得芯片能夠在清洗過程中清洗均勻，減少了芯片清洗過程中意外弄碎的問題，能夠有效清洗芯片，有利于有針對性的清洗，提高芯片在清洗中的效率。

Flower basket device for chip cleaning

The invention discloses a device for cleaning chip basket, comprising a basket supporting target, since the target holder basket extends at least a support arm, and fixed on the support arm of the cleaning basket, the cleaning basket is arranged on the side of a gap, the gap from the top of the cleaning the edge extends to the basket basket base, the cleaning basket base hole can keep uniform pressure balance between the chip and the chip in the cleaning process of cleaning liquid. The utility model can better convenient for cleaning protection chip, the chip can be uniformly cleaned in the cleaning process, reduces the chip cleaning process into the accident, can effectively clean the chip, is beneficial to improve the efficiency of cleaning, cleaning in the chip.

【技術實現步驟摘要】
用于芯片清洗的花籃裝置
本專利技術屬于半導體行業超凈間清洗、腐蝕領域，特別是涉及一種用于芯片清洗、腐蝕的花籃裝置。
技術介紹
在半導體行業中，對于芯片、外延片的清洗工作都至關重要，而大部分清洗芯片的裝置又比較煩瑣，對于不熟悉清洗操作的工作人員來講，一般的芯片清洗操作過程容易把片子搞碎，使得成本無形中增加。
技術實現思路
本技術的目的在于提供一種用于芯片清洗的花籃裝置，以克服現有技術中的不足。為實現上述目的，本技術提供如下技術方案：本申請實施例公開一種用于芯片清洗的花籃裝置，包括一花籃托靶、自所述花籃托靶延伸的至少一個支撐臂、以及固定于所述支撐臂上的清洗花籃，所述清洗花籃的側邊開設有一缺口，該缺口自所述清洗花籃的頂邊緣延伸至底部，所述清洗花籃底座含有均勻圓孔。優選的，在上述的用于芯片清洗的花籃裝置中，所述花籃托靶和支撐臂之間可拆卸連接。優選的，在上述的用于芯片清洗的花籃裝置中，所述花籃托靶上凹設有凹槽，所述支撐臂的末端配合插置于所述凹槽內。優選的，在上述的用于芯片清洗的花籃裝置中，所述凹槽截面呈矩形。優選的，在上述的用于芯片清洗的花籃裝置中，所述花籃托靶和所有所述支撐臂位于同一平面內。優選的，在上述的用于芯片清洗的花籃裝置中，所述清洗花籃的底座上均勻開設有多個通孔。優選的，在上述的用于芯片清洗的花籃裝置中，所述清洗花籃形成于所述支撐臂的末端。優選的，在上述的用于芯片清洗的花籃裝置中，所述支撐臂與清洗花籃一體成型。優選的，在上述的用于芯片清洗的花籃裝置，其特征在于：所述支撐臂含有多個。優選的，在上述的用于芯片清洗的花籃裝置中，所述花籃托靶、支撐臂和清洗花籃材質選自聚四氟乙烯材料。與現有技術相比，本技術的優點在于：本新型裝置可以更好的的保護芯片，使得芯片在清洗過程中均勻清洗芯片，不讓芯片清洗過程中掉落，能夠有效清洗芯片，有利于有針對性的清洗，提高芯片在清洗中的效率。附圖說明為了更清楚地說明本申請實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本申請中記載的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1所示為本技術具體實施例中花籃托靶的結構示意圖；圖2所示為本技術具體實施例中花籃托靶上凹槽的結構示意圖；圖3所示為本技術具體實施例中清洗花籃的俯視圖。具體實施方式下面將結合本技術實施例中的附圖，對本技術實施例中的技術方案進行詳細的描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本技術一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本技術中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本技術保護的范圍。結合圖1所示，用于芯片清洗的花籃裝置，包括一花籃托靶1、自花籃托靶1延伸的至少一個支撐臂2、以及固定于支撐臂2上的清洗花籃3。結合圖3所示，清洗花籃3的側邊開設有一缺口5，該缺口5自清洗花籃的頂邊緣延伸至底部。該技術方案中，花籃底座邊緣設有缺口，可以在鑷子夾芯片放入底座中沒有花籃邊緣抵擋。在一實施例中，花籃托靶1和支撐臂2之間可拆卸連接。優選的，結合圖2所示，花籃托靶1上凹設有凹槽4，支撐臂2的末端配合插置于凹槽4內。更優選的，凹槽4截面呈矩形。在一優選實施例中，花籃托靶有三個缺口，可以同時安放三個支撐臂和清洗花籃，同時清洗多個芯片；若片子數量少數時可只使用一個支撐臂和清洗花籃，可靈活裝載拆卸。在一實施例中，清洗花籃3的底座上均勻開設有多個通孔6。該技術方案中，花籃底座均勻分布有多個圓孔，在芯片清洗過程中保持壓力平衡防止芯片清洗中液體與芯片之間的吸引力使得花籃底座吸住芯片，使得清洗均勻性大大提高。在一實施例中，清洗花籃3形成于支撐臂2的末端。在一實施例中，支撐臂2與清洗花籃3一體成型。在一實施例中，花籃托靶1、支撐臂2和清洗花籃3材質選自聚四氟乙烯材料。該技術方案中，使用聚四氟乙烯材料制作，可以抵制各種有機、無機化藥的腐蝕，有效的完成芯片的清洗、腐蝕工作。本新型花籃適用于2寸片以下的清洗，用鑷子將芯片輕放于花籃底座上，放入特定的清洗液中，進行清洗即可，當清洗完成后進一步吹干片子表面。需要說明的是，在本文中，術語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下，由語句“包括一個……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過程、方法、物品或者設備中還存在另外的相同要素。以上所述僅是本申請的具體實施方式，應當指出，對于本
的普通技術人員來說，在不脫離本申請原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本申請的保護范圍。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種用于芯片清洗的花籃裝置，其特征在于，包括一花籃托靶、自所述花籃托靶延伸的至少一個支撐臂、以及固定于所述支撐臂上的清洗花籃，所述清洗花籃的側邊開設有一缺口，該缺口自所述清洗花籃的頂邊緣延伸至底部，所述清洗花籃底座含有均勻圓孔。

【技術特征摘要】
1.一種用于芯片清洗的花籃裝置，其特征在于，包括一花籃托靶、自所述花籃托靶延伸的至少一個支撐臂、以及固定于所述支撐臂上的清洗花籃，所述清洗花籃的側邊開設有一缺口，該缺口自所述清洗花籃的頂邊緣延伸至底部，所述清洗花籃底座含有均勻圓孔。2.根據權利要求1所述的用于芯片清洗的花籃裝置，其特征在于：所述花籃托靶和支撐臂之間可拆卸連接。3.根據權利要求2所述的用于芯片清洗的花籃裝置，其特征在于：所述花籃托靶上凹設有凹槽，所述支撐臂的末端配合插置于所述凹槽內。4.根據權利要求3所述的用于芯片清洗的花籃裝置，其特征在于：所述凹...

【專利技術屬性】
技術研發人員：袁正兵，史侯明，章勝，譚明，肖夢，王夢雪，楊文獻，代盼，吳淵淵，黃寓洋，陸書龍，
申請(專利權)人：蘇州蘇納光電有限公司，
類型：新型
國別省市：江蘇,32