一種干式真空泵的排氣結(jié)構(gòu)制造技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)屬于干式真空泵領(lǐng)域，具體地說是一種干式真空泵的排氣結(jié)構(gòu)，該干式真空泵包括多級(jí)泵腔，多級(jí)泵腔中的一級(jí)泵腔上開有進(jìn)氣口，最后一級(jí)泵腔上開有排氣口，在最后一級(jí)泵腔的前一級(jí)泵腔上開有安全排氣口，安全排氣口處設(shè)有安全閥；安全閥包括閥體、芯軸、滑套及閥瓣，閥體安裝在安全排氣口外，在閥體上設(shè)有套有滑套的芯軸，閥瓣與芯軸相鉸接、可繞芯軸轉(zhuǎn)動(dòng)，閥瓣與閥體處于閉合狀態(tài)時(shí)密封接觸。本發(fā)明專利技術(shù)在排氣口所在級(jí)泵腔的前一級(jí)泵腔設(shè)置了安全排氣口，并在安全排氣口處安裝了安全閥，當(dāng)排氣口所在級(jí)泵腔排氣壓力過大時(shí)，安全閥會(huì)自動(dòng)打開從安全排氣口出排氣，避免因負(fù)載過大導(dǎo)致電機(jī)損壞或排氣級(jí)轉(zhuǎn)子與泵腔熱膨脹卡死的現(xiàn)象發(fā)生。

Exhaust structure of dry vacuum pump

The invention belongs to the field of dry vacuum pump, in particular to the exhaust structure of a dry vacuum pump, the dry vacuum pump comprises a pump cavity, a pump cavity pump in the cavity is provided with an air inlet, a pump cavity is provided with an exhaust port, at the end of a pump cavity before the pump cavity is provided with a safety vent and the safety vent is provided with a safety valve; the safety valve comprises a valve body, a core shaft, a sliding sleeve and a valve, safety valve installed in the exhaust port, in the valve body is provided with a core shaft sleeve of the sliding sleeve, and the valve core shaft is hinged and can rotate around the core shaft valve, valve and valve in the closed state of sealing contact. The present invention in the exhaust port where the level of pump cavity before a pump cavity is provided with a safety vent, and the safety vent installed a safety valve, when the exhaust pump cavity where the exhaust pressure is too large, the safety valve will automatically open the exhaust from the safety vent, to avoid excessive load Guide caused by motor damage or exhaust rotor and the pump cavity thermal expansion card dead phenomenon.

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
一種干式真空泵的排氣結(jié)構(gòu)
本專利技術(shù)屬于干式真空泵領(lǐng)域，具體地說是一種干式真空泵的排氣結(jié)構(gòu)。
技術(shù)介紹
干式真空泵是一種泵內(nèi)不用油類(或液體)密封的變?nèi)菡婵毡谩Ｓ捎诟墒秸婵毡帽们粌?nèi)不需要工作液體，因此，適用于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、制藥工業(yè)及食品行業(yè)等需要無油清潔真空環(huán)境的工藝場(chǎng)合。隨著半導(dǎo)體工業(yè)、電子工業(yè)的蓬勃興起，對(duì)于真空環(huán)境的要求越來越多、越來越嚴(yán)格。由于由普通的油封機(jī)械泵、擴(kuò)散泵所組成的真空系統(tǒng)易于向真空室中返油，真空室中的油分子會(huì)在硅片晶體上沉積，使硅晶體成為廢品。所以，這樣的真空系統(tǒng)在半導(dǎo)體工業(yè)、電子工業(yè)中的應(yīng)用受到了限制。相反，由于干式真空泵不需要潤(rùn)滑油來潤(rùn)滑密封，做到了無油蒸汽污染，而且對(duì)被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感。所以，由干式真空泵組成的真空系統(tǒng)得到了廣泛的應(yīng)用，并在半導(dǎo)體工業(yè)、電子工業(yè)的發(fā)展過程中起到了推動(dòng)的作用。由于在實(shí)際中，真空泵常常處于大負(fù)載的工況下；氣體流經(jīng)多級(jí)泵腔經(jīng)過逐級(jí)壓縮，最后經(jīng)泵的排氣口排出。傳統(tǒng)干式真空泵只設(shè)置一個(gè)排氣口，轉(zhuǎn)子與腔體間隙逐級(jí)減小，因此，當(dāng)氣載過大時(shí)會(huì)造成真空泵功率增加，導(dǎo)致電機(jī)損壞或排氣級(jí)轉(zhuǎn)子與腔體卡死。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
為了解決多級(jí)干式真空泵在大負(fù)載下工作時(shí)電機(jī)損壞或排氣級(jí)轉(zhuǎn)子與泵腔卡死的問題，本專利技術(shù)的目的在于提供一種干式真空泵的排氣結(jié)構(gòu)。本專利技術(shù)的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的：本專利技術(shù)的干式真空泵包括多級(jí)泵腔；所述多級(jí)泵腔中的一級(jí)泵腔上開有進(jìn)氣口，最后一級(jí)泵腔上開有排氣口，在所述最后一級(jí)泵腔的前一級(jí)泵腔上開有安全排氣口，該安全排氣口處設(shè)有安全閥。其中：所述安全閥包括閥體、芯軸、滑套及閥瓣，閥體安裝在所述安全排氣口外，在所述閥體上設(shè)有套有滑套的芯軸，所述閥瓣與芯軸相鉸接、可繞所述芯軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述閥瓣與閥體處于閉合狀態(tài)時(shí)密封接觸；所述閥體中間開孔，孔內(nèi)安裝有O型密封圈，所述閥瓣通過該O型密封圈在與閥體處于閉合狀態(tài)時(shí)密封接觸。本專利技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)與積極效果為：1.本專利技術(shù)在排氣口所在級(jí)泵腔的前一級(jí)泵腔設(shè)置了安全排氣口，并在安全排氣口處安裝了安全閥，當(dāng)排氣口所在級(jí)泵腔排氣壓力過大時(shí)，安全閥會(huì)自動(dòng)打開從安全排氣口出排氣，避免因負(fù)載過大導(dǎo)致電機(jī)損壞或排氣級(jí)轉(zhuǎn)子與泵腔熱膨脹卡死的現(xiàn)象發(fā)生。2.本專利技術(shù)的完全閥為機(jī)械式，不涉及到復(fù)雜的電氣控制部分，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低。附圖說明圖1為干式真空泵的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本專利技術(shù)的結(jié)構(gòu)原理圖；圖3為本專利技術(shù)安全閥的結(jié)構(gòu)示意圖；其中：1為電機(jī)，2為進(jìn)氣口，3為排氣口，4為隔板，5為一級(jí)泵腔，6為二級(jí)泵腔，7為三級(jí)泵腔，8為四級(jí)泵腔，9為五級(jí)泵腔，10為安全排氣口，11為安全閥，12為閥體，13為芯軸，14為滑套，15為閥瓣，16為O型密封圈。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖對(duì)本專利技術(shù)作進(jìn)一步詳述。如圖1、圖2所示，多級(jí)干式真空泵包括多級(jí)泵腔和位于各級(jí)泵腔中的主動(dòng)軸、從動(dòng)軸、轉(zhuǎn)子、隔板4及軸套，主動(dòng)軸由電機(jī)1驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)，通過主動(dòng)軸及從動(dòng)軸上的轉(zhuǎn)子相互嚙合，各級(jí)泵腔之間通過隔板4隔成獨(dú)立的單元。多級(jí)泵腔中的一級(jí)泵腔上開有進(jìn)氣口2，最后一級(jí)泵腔上開有排氣口3。本實(shí)施例分為五級(jí)泵腔，分別為一級(jí)泵腔5、二級(jí)泵腔6、三級(jí)泵腔7、四級(jí)泵腔8及五級(jí)泵腔9，一級(jí)泵腔5上開有進(jìn)氣口2，五級(jí)泵腔9上開有排氣口3。在排氣口3所在級(jí)泵腔(本實(shí)施例為五級(jí)泵腔9)的前一級(jí)泵腔(本實(shí)施例為四級(jí)泵腔8)上開有安全排氣口10，該安全排氣口10處設(shè)有安全閥11。本專利技術(shù)的安全閥為機(jī)械式，無需電控操作。如圖3所示，安全閥11包括閥體12、芯軸13、滑套14及閥瓣15，其中閥體12安裝在安全排氣口10外，閥體12為直徑大小不等的兩個(gè)圓柱，中間開孔，孔內(nèi)安裝有O型密封圈16。在閥體12朝外側(cè)的表面上安裝有芯軸13，滑套14套在芯軸13上。閥瓣15與芯軸13相鉸接、可繞芯軸13轉(zhuǎn)動(dòng)；閥瓣15呈圓盤狀，內(nèi)表面中間設(shè)有凸起。閥瓣15與閥體12處于閉合狀態(tài)時(shí)，通過O型密封圈16與閥體12密封接觸。本專利技術(shù)的工作原理為：當(dāng)多級(jí)干式真空泵工作運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，閥瓣15與閥體12通過O型密封圈16密封。當(dāng)多級(jí)干式真空泵負(fù)載過大時(shí)，排氣口3所在級(jí)泵腔的排氣壓力過大，安全閥11在氣體壓力的作用下閥瓣15會(huì)自動(dòng)繞芯軸13、滑套14轉(zhuǎn)動(dòng)，安全閥11打自動(dòng)打開，從安全排氣口10處排氣。多級(jí)干式真空泵負(fù)載小、安全閥11關(guān)閉時(shí)，安全閥11被安全排氣口10所在級(jí)泵腔內(nèi)部真空吸附，處于密封狀態(tài)，不影響多級(jí)干式真空泵的真空度。本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種干式真空泵的排氣結(jié)構(gòu)，該干式真空泵包括多級(jí)泵腔；其特征在于：所述多級(jí)泵腔中的一級(jí)泵腔上開有進(jìn)氣口(2)，最后一級(jí)泵腔上開有排氣口(3)，在所述最后一級(jí)泵腔的前一級(jí)泵腔上開有安全排氣口(10)，該安全排氣口(10)處設(shè)有安全閥(11)。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種干式真空泵的排氣結(jié)構(gòu)，該干式真空泵包括多級(jí)泵腔；其特征在于：所述多級(jí)泵腔中的一級(jí)泵腔上開有進(jìn)氣口(2)，最后一級(jí)泵腔上開有排氣口(3)，在所述最后一級(jí)泵腔的前一級(jí)泵腔上開有安全排氣口(10)，該安全排氣口(10)處設(shè)有安全閥(11)。2.按權(quán)利要求1所述干式真空泵的排氣結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述安全閥(11)包括閥體(12)、芯軸(13)、滑套(14)及閥瓣(15)，其中閥體(12)安...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：王光玉，于明鶴，張振厚，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：遼寧,21