一種氣氛爐氬氣回收純化系統技術方案

本實用新型專利技術涉及氬氣回收技術領域，具體公開一種氣氛爐氬氣回收純化系統，包括一用于儲存來自于氣氛爐被污染的氬氣的氬氣柜，所述氬氣柜與氣氛爐出口連接；在所述氬氣柜之后依次相連有第一過濾器、低壓渦旋無油螺桿機、第二過濾器、干燥器、第一減壓閥組、內循環純化系統；所述內循環純化系統包括純化器、依次連接于純化器之后的第二減壓閥組、緩沖罐、高壓壓縮機、儲氣瓶組，所述儲氣瓶組連接有一旁通管道，旁通管道上設有一旁通閥門和第三減壓閥組，所述第三減壓閥組與純化器連接。本實用新型專利技術的優點是，保證高效率的回收率，進一步減少壓力容器中的氣體與外界空氣的接觸，高效的過濾系統和純化系統，有效保證氣體再次應用，降低氬氣損耗，降低成本。

Argon recovery and purification system for atmosphere furnace

The utility model relates to the technical field of argon recovery, the argon recovery discloses a furnace atmosphere purification system, including one for argon argon cabinet storage from pollution to atmosphere furnace, the argon gas holder and atmosphere furnace outlet connection; after the holder is connected with the first filter, argon low-pressure vortex machine, oil-free screw second filter, dryer, the first valve group, internal circulation purification system successively; the internal circulation purification system includes purification device, are connected to the purification device after the second valve group, a buffer tank, a high-pressure compressor, cylinder group, the gas bottle group is connected with a by-pass pipe and a by-pass pipe the bypass valve and the third valve group, the third valve group is connected with the purification. The utility model has the advantages of high efficiency, ensure the recovery rate, to further reduce the gas pressure in the container with the outside air, efficient filtration system and purification system, effectively guarantee the application of argon gas again, reduce losses, reduce costs.

【技術實現步驟摘要】
一種氣氛爐氬氣回收純化系統
本技術涉及氬氣回收
，特別是指一種氣氛爐氬氣回收純化系統。
技術介紹
氣氛爐在使用時經常會向其爐膛內通入氬氣，由于工件在高溫情況下會發生氧化，而通入氬氣主要為了起到抗氧化作用，同時在特殊的產品情況下通入氬氣，則是作為一種催化輔料的作用，而且，由于高純氬氣經過實驗后所排放的氬氣中，含有微量的雜質、碳粉塵、一氧化碳及二氧化碳等，對環境污染較大。為解決上述問題，就需要對排放出來的氬氣進行回收再利用。申請號為201210078306.X的專利公開了一種單晶硅生產中氬氣回收純化的方法與裝置，先對來自單晶爐回收的氬氣進行粗除油，再經壓縮冷卻后高精度除油除塵；接著通過高溫催化反應使甲烷等烴類和一氧化碳同氧氣反應生成水和二氧化碳，催化反應中保證氧氣過量；再通過冷卻后在催化劑作用下使過量氧氣同加入的氫氣反應生成水，經過兩次催化反應之后的氬氣經過常溫吸附單元以便吸附水和二氧化碳；將上述氬氣冷卻后送入低溫精餾塔，使氬氣與氮氣和氫氣產生精餾分離，得到純液氬，再經復熱后得到純氬產品。系統過于復雜，使用的設備價格高，經濟成本非常高，對后續提純設備要求很高，且氫氣用量大，增加成本。
技術實現思路
本技術的目的是提供一種氣氛爐氬氣回收純化系統，保證高效率的回收率，進一步減少壓力容器中的氣體與外界空氣的接觸，高效的過濾系統和純化系統，有效保證氣體再次應用，降低氬氣損耗，降低成本。為了實現上述目的，本技術采用了以下的技術方案：一種氣氛爐氬氣回收純化系統，包括一用于儲存來自于氣氛爐被污染的氬氣的氬氣柜，所述氬氣柜與氣氛爐出口連接；在所述氬氣柜之后依次相連有第一過濾器、低壓渦旋無油螺桿機、第二過濾器、干燥器、第一減壓閥組、內循環純化系統；所述內循環純化系統包括純化器、依次連接于純化器之后的第二減壓閥組、緩沖罐、高壓壓縮機、儲氣瓶組，所述儲氣瓶組連接有一旁通管道，旁通管道上設有一旁通閥門和第三減壓閥組，所述第三減壓閥組與純化器連接；所述儲氣瓶組與氣氛爐的進氣閥連接。其中，所述低壓渦旋無油螺桿機與第二過濾器之間設有溫度傳感器和壓力傳感器，所述高壓壓縮機與儲氣瓶組之間設有溫度傳感器和壓力傳感器，所述溫度傳感器和壓力傳感器均連接一控制柜。其中，所述純化器包括至少一組吸附塔和催化塔，所述催化塔與第一減壓閥組及連接。其中，所述第一減壓閥組、第三減壓閥組與催化塔之間均設有閥門。其中，所述氣氛爐前端連接有補充氣源裝置。其中，所述補充氣源裝置包括液氬罐和氣化器，液氬罐通過氣化器與氣氛爐連接。本技術的有益效果在于：氬氣回收純化再次利用，保證了經濟成本和氬氣過度消耗，為企業帶來良好效益。本方案系統為全自動運行，可進行遠程監控和調試。此氬氣回收系統保證了90%的回收率，有效降低氬氣損耗！氬氣柜采用了水隔絕保護，減少氬氣和外界空氣接觸，大大減少氬氣使之泄露導致氣體純度迅速下降的故障。高效率的純化器，保證了被污染的氣體再次提純利用。采用德國過濾系統，使進入爐體的氣體中的油含量非常微小，避免爐體進行實驗產生的影響和危害。附圖說明為了更清楚地說明本技術實施例技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本技術為了更清楚地說明本技術實施例或現有技術中的技術方案，下面將對-實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本技術的結構示意圖。具體實施方式下面將結合本技術實施例中的附圖，對本技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本技術一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本技術中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本技術保護的范圍。如圖1所示的一種氣氛爐氬氣回收純化系統，包括一用于儲存來自于氣氛爐被污染的氬氣的氬氣柜，所述氬氣柜與氣氛爐出口連接；在所述氬氣柜之后依次相連有第一過濾器、低壓渦旋無油螺桿機、第二過濾器、干燥器、第一減壓閥組、內循環純化系統；所述內循環純化系統包括純化器、依次連接于純化器之后的第二減壓閥組、緩沖罐、高壓壓縮機、儲氣瓶組，所述儲氣瓶組連接有一旁通管道，旁通管道上設有一旁通閥門和第三減壓閥組，所述第三減壓閥組與純化器連接；所述儲氣瓶組與氣氛爐的進氣閥連接。所述純化器包括至少一組吸附塔和催化塔，所述催化塔與第一減壓閥組及連接，一開一備，防止發生故障，交替使用。所述低壓渦旋無油螺桿機與第二過濾器之間設有溫度傳感器和壓力傳感器，所述高壓壓縮機與儲氣瓶組之間設有溫度傳感器和壓力傳感器，所述溫度傳感器和壓力傳感器均連接一控制柜。實時將測得的數據傳給控制柜供工作人員查看。所述第一減壓閥組、第三減壓閥組與催化塔之間均設有閥門，用于控制管路之間的開閉狀態。所述氣氛爐前端連接有補充氣源裝置，所述補充氣源裝置包括液氬罐和氣化器，液氬罐通過氣化器與氣氛爐連接，用于給氣氛爐補充氬氣。把氣氛爐出口被污染的氬氣源匯集回收到連接的氬氣柜儲存，同時打開氬氣柜出口連接第一過濾器，進入低壓渦旋無油螺桿機的閥門，啟動低壓渦旋無油螺桿機至待定壓力，通過第二過濾器和干燥器除掉大量水分和雜質，同時通過第一減壓閥組減壓后進入純化器提純，監控氬氣源中的氮元素、氧元素和水露點是否達到設定值，然后減壓至常壓經不銹鋼緩沖罐緩沖進入高壓壓縮機，當經過純化器的氬氣源達不到設定要求值時，可先關閉進入氣氛爐的進氣閥，同時打開儲氣瓶組旁通至純化器的管道閥門，經減壓至純化器入口需求的壓力，再次循環，直到氬氣源純度達到標準后，再關閉旁通閥門，經高壓壓縮機至儲氣瓶組儲存，最后通過儲氣瓶組干凈的氬氣源再次進入氣氛爐，回收利用，以此循環。以上所述僅為本技術的較佳實施例而已，并不用以限制本技術，凡在本技術的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本技術的保護范圍之內。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種氣氛爐氬氣回收純化系統，其特征在于：包括一用于儲存來自于氣氛爐被污染的氬氣的氬氣柜，所述氬氣柜與氣氛爐出口連接；在所述氬氣柜之后依次相連有第一過濾器、低壓渦旋無油螺桿機、第二過濾器、干燥器、第一減壓閥組、內循環純化系統；所述內循環純化系統包括純化器、依次連接于純化器之后的第二減壓閥組、緩沖罐、高壓壓縮機、儲氣瓶組，所述儲氣瓶組連接有一旁通管道，旁通管道上設有一旁通閥門和第三減壓閥組，所述第三減壓閥組與純化器連接；所述儲氣瓶組與氣氛爐的進氣閥連接。

【技術特征摘要】
1.一種氣氛爐氬氣回收純化系統，其特征在于：包括一用于儲存來自于氣氛爐被污染的氬氣的氬氣柜，所述氬氣柜與氣氛爐出口連接；在所述氬氣柜之后依次相連有第一過濾器、低壓渦旋無油螺桿機、第二過濾器、干燥器、第一減壓閥組、內循環純化系統；所述內循環純化系統包括純化器、依次連接于純化器之后的第二減壓閥組、緩沖罐、高壓壓縮機、儲氣瓶組，所述儲氣瓶組連接有一旁通管道，旁通管道上設有一旁通閥門和第三減壓閥組，所述第三減壓閥組與純化器連接；所述儲氣瓶組與氣氛爐的進氣閥連接。2.根據權利要求1所述的一種氣氛爐氬氣回收純化系統，其特征在于：所述低壓渦旋無油螺桿機與第二過濾器之間設有溫度傳感器和壓力傳感器，...

【專利技術屬性】
技術研發人員：王加壯，羅宏，孟惟，何曉，孟偉，丁俊，
申請(專利權)人：華油天然氣廣安有限公司，
類型：新型
國別省市：四川,51