吊裝傳送機的抓手單元制造技術

本發明專利技術提供了一種吊裝傳送機的抓手單元。被固定至由所述吊裝傳送機中的抬升單元抬升的皮帶以裝載和卸載卡匣的所述抓手單元包括本體部分，其被固定至所述皮帶；感測部分，其被設置在所述本體部分上以測量所述本體部分的振動方向，在抬升被固定至所述皮帶的所述本體部分的同時發生振動；振動阻尼部分，其被設置在所述本體部分上以改變配重的位置，從而減少所述本體部分的振動；控制部分，其被配置成控制所述振動阻尼部分的操作以使得所述配重根據由所述感測部分測量的所述本體的所述振動方向改變位置；以及固定部分，其被設置在所述本體部分的底表面上以固定所述卡匣。因此，可減少當裝載和卸載所述卡匣時發生的所述振動。

【技術實現步驟摘要】
吊裝傳送機的抓手單元
技術介紹
本專利技術涉及一種吊裝傳送機的抓手單元，且更具體地涉及一種吊裝傳送機的抓手單元，其能夠在裝載和卸載卡匣時抓住卡匣。在基板上進行各種工藝以制造半導體裝置或液晶顯示器裝置。使用將基板轉移至進行工藝的加工裝置的吊裝傳送機。在這里，為了改進吊裝傳送機的轉移效率，基板被收納在能夠收納多個基板的卡匣中，且隨后在卡匣中裝載有基板的狀態中將卡匣轉移至吊裝傳送機。此外，卡匣可通過吊裝傳送機下降且隨后被裝載至加工裝置中的每一個的裝載口中，或可由吊裝傳送機從裝載口卸載卡匣以上升。在這里，吊裝傳送機可通過使用皮帶而固定抓手單元以固定卡匣，并通過使用抬升單元而允許皮帶上升，以進行卡匣的裝載和卸載。由于抓手單元是通過使用皮帶而固定的，當抬升抓手單元時，在抓手單元中可能會頻繁地發生振動。因此，由于振動，可能無法準確地裝載和卸載卡匣。可替代地，由于卡匣必須待機直到解決振動為止，因此需要很長時間來裝載和卸載卡匣。
技術實現思路
本專利技術提供一種抓手單元，用于在卡匣被吊裝傳送機中的皮帶固定的狀態下抬升卡匣以裝載和卸載卡匣時，減少所發生的振動。根據一個示例性實施例，一種被固定至由吊裝傳送機中的抬升單元抬升的皮帶以裝載和卸載卡匣的吊裝傳送機的抓手單元包括本體部分，其被固定至皮帶；感測部分，其被設置在本體部分上以測量本體部分的振動方向，該振動在抬升被固定至皮帶的本體部分時發生；振動阻尼部分，其被設置在本體部分上以改變配重的位置，從而減少本體部分的振動；控制部分，其被配置成控制振動阻尼部分的操作以使得配重根據由感測部分測量的本體的振動方向改變位置；以及固定部分，其被設置在本體部分的底表面上以固定卡匣。振動阻尼部分可包括配重，其被設置在本體部分的頂表面上以減少本體部分的振動；以及驅動馬達，其被連接至配重以繞旋轉軸的中心旋轉配重，從而改變配重的位置。振動阻尼部分還可包括扭轉彈簧和旋轉阻尼器，其被設置在驅動馬達的旋轉軸上以減少由于配重的旋轉而產生的振動。振動阻尼部分可包括第一和第二振動阻尼器，其是沿X軸線方向彼此對稱地進行設置的且X軸線方向對應于關于本體部分的中心點的左/右方向；以及第三和第四振動阻尼器，其是沿Y軸線方向彼此對稱地進行設置的且Y軸線方向對應于關于中心點的前/后方向。控制部分控制第三和第四振動阻尼器，以當沿X軸線方向在本體部分中發生振動時，使第三和第四振動阻尼器的配重改變位置，且控制部分控制第一和第二振動阻尼器，以當沿Y軸線方向在本體部分中發生振動時，使第一和第二振動阻尼器的配重改變位置。控制部分控制第一和第二振動阻尼器，以當在本體部分中發生偏航振動時，使第一和第二振動阻尼器的配重差異性地改變位置。附圖說明根據結合附圖的下列說明，將更詳細地理解示例性實施例，其中：圖1是用于解釋根據一個示例性實施例的吊裝傳送機的抓手單元的平面視圖；以及圖2是用于解釋圖1所示的抓手單元的側視圖。具體實施方式在下文中，將參考附圖詳細描述根據一個示例性實施例的一種吊裝傳送機的抓手單元。由于本專利技術可具有不同的修改實施例，因此在附圖中示出特定實施例并在本申請的具體實施方式中對其進行描述。然而，這并不將本專利技術限制在特定實施例內且應理解，本專利技術涵蓋了在本專利技術的思想和技術范圍內的所有修改、等同物和替換。在所有附圖中，相同的參考數字指代相同的元件。在附圖中，為了便于描述和清晰性，當與實際尺寸相比時，每個結構的尺寸均是放大的。將要理解的是，盡管在本文中使用術語如“第一”和“第二”以描述各種元件，但這些元件不應受這些術語的限制。這些術語僅用于將一個組件與其他組件區分開來。例如，在不脫離所附權利要求的范圍的情況下，在一個實施例中被稱為第一元件的第一元件可在另一個實施例中被稱為第二元件。在下列描述中，技術術語僅用于解釋特定示例性實施例而不用于限制本專利技術。單數形式的術語可以包括復數形式，除非提及相反的情況為止。“包括”或“包含”的含義指定特性、區域、固定數量、步驟、過程、元件和/或組件，但并不排除其他特性、區域、固定數量、步驟、過程、元件和/或組件。除非在本文中使用的術語具有不同的定義，否則術語可被解釋為本領域的技術人員已知的含義。術語，如通常所使用以及已收錄在詞典中的術語應被解釋為具有與本領域中的語境意義相匹配的含義。在該說明書中，除非明確地進行定義外，術語不會按理論被過度地解釋為其形式意義。圖1是用于解釋根據一個示例性實施例的吊裝傳送機的抓手單元的平面視圖，以及圖2是用于解釋圖1所示的抓手單元的側視圖。參考圖1和2，吊裝傳送機的抓手單元100被配置成在吊裝傳送機中固定卡匣10并被固定至由抬升單元(未示出)抬升的皮帶(未示出)。因此，抓手單元100在根據抬升單元的操作進行抬升的同時，將卡匣10的裝載至加工裝置的端口/從加工裝置的端口卸載卡匣10。抓手單元100包括本體部分110、感測部分120、振動阻尼部分130、控制部分140和固定部分150。本體部分110具有大致為平板的形狀，且皮帶的下端被固定至本體部分110的頂表面。特別地，本體部分110包括位于其頂表面上的多個皮帶固定構件112。可設有三個皮帶固定構件112以由皮帶穩定地固定本體部分110。然而，皮帶固定構件112的數量并不僅限于此。例如，根據需要，可設有四個皮帶固定構件112。感測部分120被設置在本體部分110上以測量本體部分110的振動方向，該振動在抬升被固定至皮帶的本體部分110時發生。特別地，一個感測部分120可被設置在本體部分110的頂表面的中心部分處，或四個感測部分120可分別設置在限定本體部分110的頂表面的四個側邊的中心部分處。或者，五個感測部分120可分別設置在本體部分110的頂表面的中心部分處以及限定本體部分110的頂表面的四個側邊的中心部分處。可設置包括加速度傳感器、陀螺儀傳感器、地磁傳感器等的慣性傳感器以作為感測部分120的實例。可使用慣性傳感器來確認本體部分110的振動方向和速度。振動阻尼部分130被設置在本體部分110以改變配重131、133、135和137的位置，從而對本體部分110的振動進行阻尼。振動阻尼部分130可包括第一振動阻尼器130a、第二振動阻尼器130b、第三振動阻尼器130c和第四振動阻尼器130d。第一和第二振動阻尼器130a和130b是沿X軸線方向彼此對稱地進行設置的且對應于關于本體部分110的頂表面的中心點的左/右方向。第三和第四振動阻尼器130c和130d是沿Y軸線方向彼此對稱地進行設置的且對應于關于本體部分110的頂表面的中心點的前/后方向。特別地，第一振動阻尼器130a包括第一配重131和第一驅動馬達132。第一配重配重131具有各種形狀，如球形和六面體形狀。第一配重配重131可具有根據本體部分110和卡匣10的重量而改變的重量。第一驅動馬達132被連接至第一配重131以繞第一驅動馬達132的旋轉軸旋轉第一配重131，從而改變第一配重131的位置。例如，第一驅動馬達132被設置在本體部分110的內部，以使其旋轉軸從本體部分110的頂表面突出。第一驅動馬達132的旋轉軸和第一配重131通過使用單獨的連接構件而彼此相連。當第一驅動馬達132的旋轉軸根據第一驅動馬達132的操作旋轉時，通過連接構件連接的第一配重131繞第一驅動馬達132的本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種吊裝傳送機的抓手單元，其被固定至由所述吊裝傳送機中的抬升單元抬升的皮帶以裝載和卸載卡匣，其包括：被固定至所述皮帶的本體部分；感測部分，所述感測部分被設置在所述本體部分上以測量所述本體部分的振動方向，該振動在抬升被固定至所述皮帶的所述本體部分時發生；振動阻尼部分，所述振動阻尼部分被設置在所述本體部分上以改變配重的位置，從而減少所述本體部分的振動；控制部分，其被配置成控制所述振動阻尼部分的操作以使得所述配重根據由所述感測部分測量的所述本體的所述振動方向改變位置；以及固定部分，其被設置在所述本體部分的底表面上以固定所述卡匣。

【技術特征摘要】
2015.10.29 KR 10-2015-01507341.一種吊裝傳送機的抓手單元，其被固定至由所述吊裝傳送機中的抬升單元抬升的皮帶以裝載和卸載卡匣，其包括：被固定至所述皮帶的本體部分；感測部分，所述感測部分被設置在所述本體部分上以測量所述本體部分的振動方向，該振動在抬升被固定至所述皮帶的所述本體部分時發生；振動阻尼部分，所述振動阻尼部分被設置在所述本體部分上以改變配重的位置，從而減少所述本體部分的振動；控制部分，其被配置成控制所述振動阻尼部分的操作以使得所述配重根據由所述感測部分測量的所述本體的所述振動方向改變位置；以及固定部分，其被設置在所述本體部分的底表面上以固定所述卡匣。2.根據權利要求1所述的抓手單元，其中所述振動阻尼部分包括：所述配重，其被設置在所述本體部分的頂表面上以減少所述本體部分的所述振動；以及驅動馬達，其被連接至所述配重以繞旋轉軸的中心旋轉所述配重，從而改變所述配重的所述位置。3.根據權利要求2所述的抓手單元，其中所述振動阻尼部分還包括...

【專利技術屬性】
技術研發人員：李男熙，李圣鉉，黃貴珍，
申請(專利權)人：細美事有限公司，
類型：發明
國別省市：韓國,KR