一種多軸膜厚檢測裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術(shù)涉及一種多軸膜厚檢測裝置，包括底板、框架、固定塊、檢測模塊、夾持組件、調(diào)節(jié)組件和進(jìn)給組件；底板上固定有框架，框架的上方側(cè)面固定有固定塊，固定塊的側(cè)面固定有檢測模塊；測試時，將工件放置在平臺上，工件的兩個側(cè)面與擋邊的內(nèi)側(cè)平面相貼合，然后壓緊塊在彈簧的推動下，頂住工件的對角處，從而將工件固定在平臺上，之后調(diào)節(jié)進(jìn)給組件到指定位置，然后再操作調(diào)節(jié)組件進(jìn)一步調(diào)平調(diào)正工件，最后就能通過檢測模塊對其進(jìn)行測試。本實用新型專利技術(shù)結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，調(diào)節(jié)功能全面，自動化程度高，測試效率高。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
一種多軸膜厚檢測裝置
本技術(shù)涉及一種測厚裝置，尤其涉及一種多軸膜厚檢測裝置。
技術(shù)介紹
當(dāng)今微電子薄膜，光學(xué)薄膜，抗氧化薄膜，巨磁電阻薄膜，高溫超導(dǎo)薄膜等在工業(yè)生產(chǎn)和人類生活中的不斷應(yīng)用，在工業(yè)生產(chǎn)的薄膜，其厚度是一個非常重要的參數(shù)，直接關(guān)系到該薄膜材料能否正常工作。目前的薄膜測量是選用國外已有的測試儀，這種測試儀的原理是：將薄膜放在載物盤上，啟動儀器電源，測試下壓，在于薄膜接觸后產(chǎn)生一定的壓力，將薄膜壓住，然后再技術(shù)或者測量厚度，然后減壓抬起測量桿，完成測量。該儀器完存在測量步驟多、測量時耗時過多、測量精度低等不足?，F(xiàn)有技術(shù)中，如專利號為201520924773.9，申請日為2015.11.19《一種測厚裝置》，該技術(shù)的上下探頭均可以隨時拆卸安裝，便于更換厚度放射源和檢修，測量厚度效果精準(zhǔn)，誤差小。但是該技術(shù)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，操作麻煩，調(diào)節(jié)功能欠缺，測試效率低，自動化程度欠佳，有待于進(jìn)一步改進(jìn)。
技術(shù)實現(xiàn)思路
針對上述現(xiàn)有技術(shù)的現(xiàn)狀，本技術(shù)所要解決的技術(shù)問題在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、調(diào)節(jié)功能全面、自動化程度高、測試效率高的多軸膜厚檢測裝置。本技術(shù)解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為：一種多軸膜厚檢測裝置，包括底板、框架、固定塊、檢測模塊、夾持組件、調(diào)節(jié)組件和進(jìn)給組件，其特征在于：所述底板上固定有框架，所述框架的上方側(cè)面固定有固定塊，所述固定塊的側(cè)面固定有檢測模塊；所述進(jìn)給組件包括橫軸板、第一滑軸器、第一滑塊、第一氣缸、縱軸板、第二氣缸、第二滑軸器和第二滑塊，所述橫軸板固定在底板上，所述橫軸板的上方固定有第一滑軸器，所述第一滑軸器的一端連接有第一氣缸，所述第一滑軸器的外側(cè)套設(shè)有第一滑塊；所述第一滑塊的上方固定有縱軸板，所述縱軸板的上方固定有第二滑軸器，所述第二滑軸器的一端連接有第二氣缸，所述第二滑軸器的外側(cè)套設(shè)有第二滑塊。進(jìn)一步地，所述調(diào)節(jié)組件包括連接板、第一氣壓座、第一進(jìn)氣頭、第二氣壓座、三角塊、第二進(jìn)氣頭、轉(zhuǎn)動座、調(diào)節(jié)螺釘、轉(zhuǎn)動塊、調(diào)節(jié)圈、第三進(jìn)氣頭、第一擺動塊、第二擺動塊、第三擺動塊、第四擺動塊、第四進(jìn)氣頭和T字型塊，所述連接板固定在第二滑塊的上方，所述連接板的上方固定有第一氣壓座，所述第一氣壓座上成型有第一凸塊，所述第一凸塊的上方中心開設(shè)有矩形沉孔，所述矩形沉孔中設(shè)置有三角塊。進(jìn)一步地，所述第一凸塊的外側(cè)成型有矩形塊，所述矩形塊的上端成型有兩個對稱分布的第一圓柱；所述第一凸塊的側(cè)面還成型有第一管口，所述第一管口中插入有第一進(jìn)氣頭。進(jìn)一步地，所述第二氣壓座上成型有第二凸塊，所述第二凸塊內(nèi)側(cè)開設(shè)有矩形槽，所述第二凸塊的上端成型有兩個對稱分布的第二圓柱；所述第二氣壓座上還成型有定位柱。進(jìn)一步地，所述第二氣壓座固定在第一氣壓座的上方，所述第一氣壓座上的矩形塊插入到第二氣壓座上的矩形槽中。進(jìn)一步地，所述第二氣壓座的上方固定有轉(zhuǎn)動座，所述轉(zhuǎn)動座的側(cè)面成型有長方塊，所述長方塊的側(cè)面開設(shè)有腰型孔；所述長方塊的兩個端面上分別成型有第二管口和內(nèi)螺紋柱，所述第二管口中插入有第二進(jìn)氣頭，所述內(nèi)螺紋柱中擰入有調(diào)節(jié)螺釘。進(jìn)一步地，所述轉(zhuǎn)動座的上方中心成型有第一圓形凸邊，所述第一圓形凸邊的中心開設(shè)有圓形沉孔，所述第一圓形凸邊的外側(cè)套設(shè)有調(diào)節(jié)圈，所述調(diào)節(jié)圈的側(cè)面固定有T字型塊，所述T字型塊的前端成型有銷柱，所述銷柱插入在腰型孔中；所述調(diào)節(jié)圈的上方固定有轉(zhuǎn)動塊，所述轉(zhuǎn)動塊的下方成型有第二圓形凸邊，所述第二圓形凸邊插入到轉(zhuǎn)動座上的圓形沉孔中；所述轉(zhuǎn)動塊的上方開設(shè)有圓孔，所述轉(zhuǎn)動塊的側(cè)面成型有長錐銷。進(jìn)一步地，所述轉(zhuǎn)動塊的上方固定有第一擺動塊，所述第一擺動塊的側(cè)面插入連接有第三進(jìn)氣頭；所述第一擺動塊的上方成型有圓弧形塊，所述第二擺動塊的下方成型有圓弧形槽，所述圓弧形塊和圓弧形槽相互配合且截面均呈梯形；所述第一擺動塊的上方固定有第二擺動塊，所述第二擺動塊的上方固定有第三擺動塊，所述第三擺動塊的上方固定有第四擺動塊；所述第三擺動塊的側(cè)面插入連接有第四進(jìn)氣頭。進(jìn)一步地，所述夾持組件包括平臺、夾緊座、頂緊柱、彈簧和壓緊塊，所述平臺固定在第四擺動塊的上方，所述平臺的上平面轉(zhuǎn)角處固定有夾緊座，所述夾緊座中插入并連接有頂緊柱，所述頂緊柱外套設(shè)有彈簧；所述彈簧位于夾緊座與頂緊柱之間；所述頂緊柱的前端固定有壓緊塊，所述壓緊塊的前側(cè)開設(shè)有三角形槽。進(jìn)一步地，所述平臺的相鄰兩條邊緣上成型有擋邊。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)在于：本技術(shù)結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，調(diào)節(jié)功能全面，自動化程度高，測試效率高。附圖說明圖1為本技術(shù)的結(jié)構(gòu)圖；圖2為本技術(shù)的調(diào)節(jié)組件的結(jié)構(gòu)圖；圖3為本技術(shù)的第二氣壓座的結(jié)構(gòu)圖。具體實施方式如圖1-3所示，一種多軸膜厚檢測裝置，包括底板1、框架2、固定塊3、檢測模塊4、夾持組件、調(diào)節(jié)組件和進(jìn)給組件；底板1上固定有框架2，框架2的上方側(cè)面固定有固定塊3，固定塊3的側(cè)面固定有檢測模塊4；進(jìn)給組件包括橫軸板10、第一滑軸器11、第一滑塊12、第一氣缸13、縱軸板14、第二氣缸16、第二滑軸器15和第二滑塊17，橫軸板10固定在底板1上，橫軸板10的上方固定有第一滑軸器11，第一滑軸器11的一端連接有第一氣缸13，第一滑軸器11的外側(cè)套設(shè)有第一滑塊12，第一氣缸13驅(qū)動第一滑軸器11來回移動，進(jìn)而帶動第一滑塊12來回移動；第一滑塊12的上方固定有縱軸板14，縱軸板14的上方固定有第二滑軸器15，第二滑軸器15的一端連接有第二氣缸16，第二滑軸器15的外側(cè)套設(shè)有第二滑塊17，第二氣缸16驅(qū)動第二滑軸器15來回移動，進(jìn)而帶動第二滑塊17來回移動；調(diào)節(jié)組件包括連接板18、第一氣壓座20、第一進(jìn)氣頭21、第二氣壓座22、三角塊23、第二進(jìn)氣頭24、轉(zhuǎn)動座25、調(diào)節(jié)螺釘26、轉(zhuǎn)動塊27、調(diào)節(jié)圈28、第三進(jìn)氣頭29、第一擺動塊30、第二擺動塊31、第三擺動塊32、第四擺動塊33、第四進(jìn)氣頭34和T字型塊35，連接板18固定在第二滑塊17的上方，連接板18的上方固定有第一氣壓座20，第一氣壓座20上成型有第一凸塊202，第一凸塊202的上方中心開設(shè)有矩形沉孔202，矩形沉孔202中設(shè)置有三角塊23；第一凸塊202的外側(cè)成型有矩形塊203，矩形塊203的上端成型有兩個對稱分布的第一圓柱205；第一凸塊202的側(cè)面還成型有第一管口204，第一管口204中插入有第一進(jìn)氣頭21；第二氣壓座22上成型有第二凸塊221，第二凸塊221內(nèi)側(cè)開設(shè)有矩形槽223，第二凸塊221的上端成型有兩個對稱分布的第二圓柱222；第二氣壓座22上還成型有定位柱224；第二氣壓座22固定在第一氣壓座20的上方，第一氣壓座20上的矩形塊203插入到第二氣壓座22上的矩形槽223中，使得兩者配合連接緊密；第二氣壓座22的上方固定有轉(zhuǎn)動座25，轉(zhuǎn)動座25的側(cè)面成型有長方塊251，長方塊251的側(cè)面開設(shè)有腰型孔253；長方塊251的兩個端面上分別成型有第二管口252和內(nèi)螺紋柱254，第二管口252中插入有第二進(jìn)氣頭24，內(nèi)螺紋柱254中擰入有調(diào)節(jié)螺釘26；轉(zhuǎn)動座25的上方中心成型有第一圓形凸邊255，第一圓形凸邊255的中心開設(shè)有圓形沉孔256，第一圓形凸邊255的外側(cè)套設(shè)有調(diào)節(jié)圈28，調(diào)節(jié)圈28的側(cè)面固定有T字型塊35，T字型塊35的前端成型有銷柱351，銷本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種多軸膜厚檢測裝置，包括底板、框架、固定塊、檢測模塊、夾持組件、調(diào)節(jié)組件和進(jìn)給組件，其特征在于：所述底板上固定有框架，所述框架的上方側(cè)面固定有固定塊，所述固定塊的側(cè)面固定有檢測模塊；所述進(jìn)給組件包括橫軸板、第一滑軸器、第一滑塊、第一氣缸、縱軸板、第二氣缸、第二滑軸器和第二滑塊，所述橫軸板固定在底板上，所述橫軸板的上方固定有第一滑軸器，所述第一滑軸器的一端連接有第一氣缸，所述第一滑軸器的外側(cè)套設(shè)有第一滑塊；所述第一滑塊的上方固定有縱軸板，所述縱軸板的上方固定有第二滑軸器，所述第二滑軸器的一端連接有第二氣缸，所述第二滑軸器的外側(cè)套設(shè)有第二滑塊。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種多軸膜厚檢測裝置，包括底板、框架、固定塊、檢測模塊、夾持組件、調(diào)節(jié)組件和進(jìn)給組件，其特征在于：所述底板上固定有框架，所述框架的上方側(cè)面固定有固定塊，所述固定塊的側(cè)面固定有檢測模塊；所述進(jìn)給組件包括橫軸板、第一滑軸器、第一滑塊、第一氣缸、縱軸板、第二氣缸、第二滑軸器和第二滑塊，所述橫軸板固定在底板上，所述橫軸板的上方固定有第一滑軸器，所述第一滑軸器的一端連接有第一氣缸，所述第一滑軸器的外側(cè)套設(shè)有第一滑塊；所述第一滑塊的上方固定有縱軸板，所述縱軸板的上方固定有第二滑軸器，所述第二滑軸器的一端連接有第二氣缸，所述第二滑軸器的外側(cè)套設(shè)有第二滑塊。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多軸膜厚檢測裝置，其特征在于：所述調(diào)節(jié)組件包括連接板、第一氣壓座、第一進(jìn)氣頭、第二氣壓座、三角塊、第二進(jìn)氣頭、轉(zhuǎn)動座、調(diào)節(jié)螺釘、轉(zhuǎn)動塊、調(diào)節(jié)圈、第三進(jìn)氣頭、第一擺動塊、第二擺動塊、第三擺動塊、第四擺動塊、第四進(jìn)氣頭和T字型塊，所述連接板固定在第二滑塊的上方，所述連接板的上方固定有第一氣壓座，所述第一氣壓座上成型有第一凸塊，所述第一凸塊的上方中心開設(shè)有矩形沉孔，所述矩形沉孔中設(shè)置有三角塊。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種多軸膜厚檢測裝置，其特征在于：所述第一凸塊的外側(cè)成型有矩形塊，所述矩形塊的上端成型有兩個對稱分布的第一圓柱；所述第一凸塊的側(cè)面還成型有第一管口，所述第一管口中插入有第一進(jìn)氣頭。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種多軸膜厚檢測裝置，其特征在于：所述第二氣壓座上成型有第二凸塊，所述第二凸塊內(nèi)側(cè)開設(shè)有矩形槽，所述第二凸塊的上端成型有兩個對稱分布的第二圓柱；所述第二氣壓座上還成型有定位柱。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種多軸膜厚檢測裝置，其特征在于：所述第二氣壓座固定在第一氣壓座的上方，所述第一氣壓座上的矩形塊插入到第二氣壓座上的矩形槽中。...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：張文龍，
申請(專利權(quán))人：張文龍，
類型：新型
國別省市：廣東,44