應用于掃描電子顯微鏡薄片樣品的夾持臺制造技術

本實用新型專利技術涉及一種應用于掃描電子顯微鏡薄片樣品的夾持臺，具體的說是一種應用于金屬材料及光伏材料的表面形貌分析、鍍膜厚度測試的夾持臺，屬于金屬材料及光伏材料測試設備技術領域。其包括樣品基座、中心定位座、螺釘固定座和緊固螺釘，中心定位座的每個定位側面對面設有一個螺釘固定座，螺釘固定座固定在樣品基座上，螺釘固定座上通過螺紋連接緊固螺釘，緊固螺釘前端表面面向定位側面，擰動緊固螺釘能夠將定位側面上的樣品壓緊。本實用新型專利技術樣品與中心定位座的定位側面直接接觸，接觸面積大，導電性良好，避免了由于樣品與導電膠未緊密粘貼而造成的掃描電子顯微鏡圖像偏移，使得圖像質量明顯改善；避免導電膠造成的污染，提高了設備的使用壽命。

【技術實現步驟摘要】
應用于掃描電子顯微鏡薄片樣品的夾持臺
本技術涉及一種應用于掃描電子顯微鏡薄片樣品的夾持臺，具體的說是一種應用于金屬材料及光伏材料的表面形貌分析、鍍膜厚度測試的夾持臺，屬于金屬材料及光伏材料測試設備

技術介紹
掃描電子顯微鏡（ScanningElectronMicroscope,簡稱SEM）是一種主要應用于材料表面形貌觀察成像的材料表征技術設備。它是按電子光學原理用電子束為光源，顯示樣本超微結構的顯微鏡。目前，用于金屬材料及光伏材料表面形貌分析、鍍膜厚度測量的SEM樣品座，材質為金屬，結構大致相同，由金屬平臺B和底座A兩部分組成，見圖1所示，底座A用緊固螺釘旋緊固定在金屬平臺B上。底座A用來與設備樣品臺（Stage）連接固定，底座A頂部的金屬平臺B用于放置樣品D。金屬平臺B是一個圓形平臺，用于放置樣品；圓形平臺底部是一個燕尾插槽，正好匹配及固定在SEM樣品臺上。被觀測的薄片樣品D是通過雙面導電膠C(如碳膠、銅膠、鋁膠)粘貼在樣品座上，如圖1所示，從而使樣品D與樣品座及樣品臺導通。上述操作方式有以下幾個不足：（1）雙面導電膠不是純金屬，由一定成分的有機膠組成，如果粘貼不緊密，導致樣品的穩定性差，且樣品導電不良，會發生SEM動態圖像漂移現象，影響正常的測量及形貌分析，拍攝時圖形傾斜，成像質量差；（2）電子束不可避免地掃描在碳雙面膠上，激發出碳元素，造成碳污染，這對能譜測試有影響；（3）SEM為高真空分析設備，真空等級和分析能力密切相關，導電膠含有大量的有機成分，在真空中易揮發造成污染，影響真空等級，最終引起設備壽命的減少；（4）導電膠價格貴，屬于易耗品，使用量較大，會消耗一大筆費用；（5）導電膠容易粘附灰塵，對SEM的真空倉會帶來污染。因此，如何獲得清晰穩定的圖像，又能減少碳污染的問題，成為該
亟待解決的課題。
技術實現思路
本技術的目的在于克服上述不足之處，從而提供一種應用于掃描電子顯微鏡薄片樣品的夾持臺，提高了導電性能，改善了SEM圖像的質量；避免了碳污染及導電膠殘留物清理，節約了人力成本，提高了工作效率。按照本技術提供的技術方案，應用于掃描電子顯微鏡薄片樣品的夾持臺包括樣品基座、中心定位座、螺釘固定座和緊固螺釘，其特征是：樣品基座的中心設有中心定位座，中心定位座的四個定位側面用于定位放置四個樣品；中心定位座的每個定位側面對面設有一個螺釘固定座，螺釘固定座固定在樣品基座上，螺釘固定座上通過螺紋連接緊固螺釘，緊固螺釘前端表面面向定位側面，擰動緊固螺釘能夠將定位側面上的樣品壓緊。進一步的，相鄰兩個所述定位側面之間設有過渡表面。進一步的，樣品基座為圓形。進一步的，中心定位座為長方形立柱結構。進一步的，樣品基座底部連接燕尾形插槽座，燕尾形插槽座上設有燕尾形插槽。進一步的，樣品基座、中心定位座、螺釘固定座和緊固螺釘均采用金屬材料制作。本技術與已有技術相比具有以下優點：本技術結構簡單、緊湊、合理，樣品與中心定位座的定位側面直接接觸，接觸面積大，導電性良好，避免了由于樣品與導電膠未緊密粘貼而造成的掃描電子顯微鏡圖像偏移，使得圖像質量明顯改善；避免導電膠造成的污染，提高了設備的使用壽命；避免了碳污染及導電膠殘留物清理，節約了人力成本，提高了工作效率。附圖說明圖1為現有技術中一種應用于掃描電子顯微鏡的樣品座的結構圖。圖2為本技術的結構圖。圖3為圖2的正視圖。附圖標記說明：1-燕尾形插槽座、2-燕尾形插槽、3-樣品基座、4-中心定位座、5-螺釘固定座、6-緊固螺釘、7-定位側面、A-底座、B-金屬平臺、C-雙面導電膠、D-樣品。具體實施方式下面本技術將結合附圖中的實施例作進一步描述：如圖2~3所示，本技術主要包括樣品基座3、中心定位座4、螺釘固定座5和緊固螺釘6。樣品基座3為圓形，樣品基座3的中心設有長方形立柱結構的中心定位座4，中心定位座4的四個定位側面7用于定位放置四個樣品。相鄰兩個定位側面7之間設有過渡表面8，過渡表面8的設置是為了隔開相鄰的兩個樣品。中心定位座4的每個定位側面7對面設有一個螺釘固定座5，螺釘固定座5固定在樣品基座3上，螺釘固定座5上通過螺紋連接緊固螺釘6，緊固螺釘6前端表面面向定位側面7，擰動緊固螺釘6能夠將定位側面7上的樣品壓緊。所述樣品基座3底部連接燕尾形插槽座1，燕尾形插槽座1上設有燕尾形插槽2，燕尾形插槽座1能夠將本技術連接在SEM的樣品臺上。所述樣品基座3、中心定位座4、螺釘固定座5和緊固螺釘6均采用金屬材料制作，起到良好的導電效果。本技術結構簡單、緊湊、合理，樣品與中心定位座的定位側面直接接觸，接觸面積大，導電性良好，避免了由于樣品與導電膠未緊密粘貼而造成的掃描電子顯微鏡圖像偏移，使得圖像質量明顯改善；避免導電膠造成的污染，提高了設備的使用壽命；避免了碳污染及導電膠殘留物清理，節約了人力成本，提高了工作效率。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種應用于掃描電子顯微鏡薄片樣品的夾持臺，包括樣品基座（3）、中心定位座（4）、螺釘固定座（5）和緊固螺釘（6），其特征是：樣品基座（3）的中心設有中心定位座（4），中心定位座（4）的四個定位側面（7）用于定位放置四個樣品；中心定位座（4）的每個定位側面（7）對面設有一個螺釘固定座（5），螺釘固定座（5）固定在樣品基座（3）上，螺釘固定座（5）上通過螺紋連接緊固螺釘（6），緊固螺釘（6）前端表面面向定位側面（7），擰動緊固螺釘（6）能夠將定位側面（7）上的樣品壓緊。

【技術特征摘要】
1.一種應用于掃描電子顯微鏡薄片樣品的夾持臺，包括樣品基座（3）、中心定位座（4）、螺釘固定座（5）和緊固螺釘（6），其特征是：樣品基座（3）的中心設有中心定位座（4），中心定位座（4）的四個定位側面（7）用于定位放置四個樣品；中心定位座（4）的每個定位側面（7）對面設有一個螺釘固定座（5），螺釘固定座（5）固定在樣品基座（3）上，螺釘固定座（5）上通過螺紋連接緊固螺釘（6），緊固螺釘（6）前端表面面向定位側面（7），擰動緊固螺釘（6）能夠將定位側面（7）上的樣品壓緊。2.如權利要求1所述的應用于掃描電子顯微鏡薄片樣品的夾持臺，其特征是：相鄰兩個所述定...

【專利技術屬性】
技術研發人員：朱曉紅，
申請(專利權)人：無錫市產品質量監督檢驗中心，
類型：新型
國別省市：江蘇,32